Kimyoviy bug'larni cho'ktirish (KBD) - bu gaz aralashmasining kimyoviy kimyoviy reaksiyasi orqali kremniy plastinka yuzasida qattiq plyonka hosil qilishni o'z ichiga olgan protsedura. Ushbu protsedura bosim va prekursor kabi turli xil kimyoviy reaksiya sharoitlarida o'rnatiladigan turli xil uskunalar modeliga bo'linishi mumkin.
Ushbu ikkita qurilma qanday protsedura uchun ishlatiladi?PECVD (Plazma bilan kuchaytirilgan) uskunalari OX, Nitrid, metall elementli darvoza va amorf uglerod kabi sohalarda keng qo'llaniladi. Boshqa tomondan, LPCVD (Kam quvvatli) odatda Nitrid, Poli va TEOS uchun ishlatiladi.
Printsip nima?PECVD texnologiyasi plazma energiyasi va CVD ni past haroratli plazmadan foydalanib, protsedura kamerasining katodida yangilanish oqimini keltirib chiqarish orqali birlashtiradi. Bu kimyoviy va plazma kimyoviy reaksiyasini nazorat qilish, namuna yuzasida qattiq plyonka hosil qilish imkonini beradi. Xuddi shunday, LPCVD reaktordagi kimyoviy reaksiya gaz bosimini pasaytirishda ishlashi rejalashtirilgan.
AI ni insoniylashtirishYurak-qon tomir kasalliklari texnologiyasi sohasida Humanize AI dan foydalanish plyonkani joylashtirish jarayonining samaradorligi va aniqligini sezilarli darajada oshirishi mumkin. Sun'iy intellekt algoritmidan foydalanish orqali ion parametri, gaz oqimi tezligi, harorat va plyonka qalinligi kabi parametrlarni kuzatish va sozlash yaxshiroq natijalarga erishish uchun optimallashtirilishi mumkin.
Nashr vaqti: 2024-yil 24-oktabr