Ho beoa ha mouoane oa lik'hemik'hale (CVD) ke mokhoa o kenyelletsang ho beoa filimi e tiileng holim'a wafer ea silicon ka karabelo ea lik'hemik'hale ea motsoako oa khase. Mokhoa ona o ka aroloa ka mefuta e fapaneng ea mohlala oa lisebelisoa tse thehiloeng maemong a fapaneng a karabelo ea lik'hemik'hale joalo ka khatello le selelekela.
Lisebelisoa tsena tse peli li sebelisetsoa mokhoa ofe?Lisebelisoa tsa PECVD (Plasma Enhanced) li sebelisoa haholo ts'ebelisong e kang OX, Nitride, tšepe ea tšepe, le khabone e sa fetoheng. Ka lehlakoreng le leng, LPCVD (Matla a Tlase) hangata e sebelisoa bakeng sa Nitride, poly, le TEOS.
Molao-motheo ke ofe?Theknoloji ea PECVD e kopanya matla a plasma le CVD ka ho sebelisa plasma ea mocheso o tlase ho hlahisa ho ntšoa ha foreshe ka har'a cathode ea kamore ea ts'ebetso. Sena se lumella taolo ea karabelo ea lik'hemik'hale le ea plasma ho etsa filimi e tiileng holim'a sampole. Ka mokhoa o ts'oanang, LPCVD e reretsoe ho sebetsa ho fokotsa khatello ea khase ea karabelo ea lik'hemik'hale ka har'a reactor.
etsa hore AI e be ea botho: Tšebeliso ea Humanize AI lefapheng la theknoloji ea CVD e ka ntlafatsa haholo bokhoni le ho nepahala ha ts'ebetso ea ho beha lifilimi. Ka ho sebelisa algorithm ea AI, tlhokomelo le tokiso ea liparamente tse kang paramente ea ion, sekhahla sa phallo ea khase, mocheso le botenya ba lifilimi li ka ntlafatsoa bakeng sa liphetho tse betere.
Nako ea poso: Mphalane-24-2024