வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) என்பது ஒரு வாயு கலவையின் வேதியியல் வேதியியல் எதிர்வினை மூலம் ஒரு சிலிக்கான் வேஃபரின் மேற்பரப்பில் ஒரு திடமான படலத்தை பதிய வைக்கும் ஒரு செயல்முறையாகும். இந்த செயல்முறை அழுத்தம் மற்றும் முன்னோடி போன்ற வெவ்வேறு வேதியியல் எதிர்வினை நிலைமைகளின் அடிப்படையில் பல்வேறு உபகரண மாதிரிகளாகப் பிரிக்கப்படலாம்.
இந்த இரண்டு சாதனங்களும் எந்த நடைமுறைக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன?PECVD (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட) உபகரணங்கள் OX, நைட்ரைடு, உலோக உறுப்பு வாயில் மற்றும் உருவமற்ற கார்பன் போன்ற பயன்பாடுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. மறுபுறம், LPCVD (குறைந்த சக்தி) பொதுவாக நைட்ரைடு, பாலி மற்றும் TEOS க்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.
கொள்கை என்ன?PECVD தொழில்நுட்பம், குறைந்த வெப்பநிலை பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தி பிளாஸ்மா ஆற்றலையும் CVDயையும் இணைத்து, செயல்முறை அறையின் கேத்தோடில் புத்துணர்ச்சி வெளியேற்றத்தைத் தூண்டுகிறது. இது மாதிரி மேற்பரப்பில் ஒரு திடமான படலத்தை உருவாக்க வேதியியல் மற்றும் பிளாஸ்மா வேதியியல் எதிர்வினையைக் கட்டுப்படுத்த அனுமதிக்கிறது. இதேபோல், LPCVD அணு உலையில் குறைந்த வேதியியல் எதிர்வினை வாயு அழுத்தத்தில் செயல்பட திட்டமிடப்பட்டுள்ளது.
AI ஐ மனிதாபிமானமாக்குங்கள்: CVD தொழில்நுட்பத் துறையில் Humanize AI இன் பயன்பாடு திரைப்பட படிவு செயல்முறையின் செயல்திறனையும் துல்லியத்தையும் பெரிதும் மேம்படுத்தும். லீவரேஜ் AI வழிமுறை மூலம், அயன் அளவுரு, வாயு ஓட்ட விகிதம், வெப்பநிலை மற்றும் திரைப்பட தடிமன் போன்ற அளவுருக்களின் கண்காணிப்பு மற்றும் சரிசெய்தல் சிறந்த முடிவுகளுக்கு மேம்படுத்தப்படலாம்.
இடுகை நேரம்: அக்டோபர்-24-2024