Химийн уурын тунадасжуулалт (ХУТ) нь хийн хольцын химийн химийн урвалаар цахиурын вафлийн гадаргуу дээр хатуу хальс үүсгэх процедур юм. Энэ процедурыг даралт болон урьдал бодис зэрэг янз бүрийн химийн урвалын нөхцөлд суурилуулсан төрөл бүрийн тоног төхөөрөмжийн загварт хувааж болно.
Эдгээр хоёр төхөөрөмжийг ямар процедурт ашигладаг вэ?PECVD (Plasm Enhanced) тоног төхөөрөмжийг OX, нитрид, металл элементийн хаалга, аморф нүүрстөрөгч зэрэг хэрэглээнд өргөн ашигладаг. Нөгөөтэйгүүр, LPCVD (Low Power)-ийг ихэвчлэн нитрид, поли болон TEOS-д ашигладаг.
Зарчим нь юу вэ?PECVD технологи нь бага температурт плазмыг ашиглан плазмын энерги болон CVD-г нэгтгэж, процедурын камерын катод дээр шинэлэг байдлыг бий болгодог. Энэ нь дээжийн гадаргуу дээр хатуу хальс үүсгэхийн тулд химийн болон плазмын химийн урвалыг хянах боломжийг олгодог. Үүнтэй адилаар LPCVD нь реактор дахь химийн урвалын хийн даралтыг бууруулахад ажиллахаар төлөвлөж байна.
хиймэл оюун ухааныг хүнлэгжүүлэхЗүрх судасны өвчний технологийн салбарт Humanize хиймэл оюун ухааныг ашиглах нь кино бичлэгийн процессын үр ашиг, нарийвчлалыг ихээхэн сайжруулж чадна. Хиймэл оюун ухааны алгоритмыг ашигласнаар ионы параметр, хийн урсгалын хурд, температур, киноны зузаан зэрэг параметрүүдийг хянах, тохируулах ажлыг оновчтой болгож, илүү сайн үр дүнд хүрч чадна.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 10-р сарын 24