Kev tso pa tshuaj lom neeg (CVD) yog ib txoj kev ua uas muaj cov yeeb yaj kiab khov kho rau ntawm qhov chaw ntawm silicon wafer los ntawm kev sib xyaw ua ke ntawm cov roj. Cov txheej txheem no tuaj yeem faib ua ntau yam khoom siv sib txawv uas tsim los ntawm ntau yam kev sib xyaw ua ke xws li siab thiab cov khoom ua ntej.
Ob lub cuab yeej no siv rau cov txheej txheem twg?Cov khoom siv PECVD (Plasma Enhanced) siv dav hauv daim ntawv thov xws li OX, Nitride, lub rooj vag hlau, thiab amorphous carbon. Ntawm qhov tod tes, LPCVD (Lub Zog Tsawg) feem ntau yog siv rau Nitride, poly, thiab TEOS.
Lub hauv paus ntsiab lus yog dab tsi?Cov thev naus laus zis PECVD sib xyaw ua ke lub zog plasma thiab CVD los ntawm kev siv cov plasma kub qis kom ua rau muaj kev tso tawm tshiab ntawm cathode ntawm chav ua haujlwm. Qhov no cia rau kev tswj cov tshuaj lom neeg thiab cov tshuaj lom neeg plasma los tsim cov yeeb yaj kiab khov kho ntawm qhov chaw ntawm cov qauv. Ib yam li ntawd, LPCVD npaj yuav ua haujlwm ntawm kev txo cov pa roj siab hauv lub reactor.
ua kom AI muaj tib neegKev siv Humanize AI hauv kev siv tshuab CVD tuaj yeem ua rau cov txheej txheem tso zaj duab xis ua haujlwm tau zoo dua thiab raug dua. Los ntawm kev siv AI algorithm, kev saib xyuas thiab kev kho cov parameter xws li ion parameter, roj ntws npaum li cas, kub, thiab zaj duab xis tuab tuaj yeem ua kom zoo dua rau cov txiaj ntsig zoo dua.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Hli-24-2024