Himiki bug çökündisi (HBÇ) gaz garyndysynyň himiki himiki reaksiýasy arkaly kremniý plastinkasynyň ýüzünde berk plýonkany ýerleşdirmegi öz içine alýan proseduradyr. Bu prosedura basyş we prekursor ýaly dürli himiki reaksiýa şertlerinde gurnalýan dürli enjam modellerine bölünip bilner.
Bu iki enjam nähili amal üçin ulanylýar?PECVD (Plazma güýçlendirilen) enjamlary OX, Nitrid, metal element derwezesi we amorf uglerod ýaly ulgamlarda giňden ulanylýar. Beýleki tarapdan, LPCVD (Pes kuwwatly) adatça Nitrid, poli we TEOS üçin ulanylýar.
Prinsip näme?PECVD tehnologiýasy prosedura kamerasynyň katodynda täzelik çykarylyşyny döretmek üçin pes temperaturaly plazmany ulanmak arkaly plazma energiýasyny we CVD-ni birleşdirýär. Bu bolsa, nusganyň ýüzünde berk plýonka emele getirmek üçin himiki we plazma himiki reaksiýasynyň gözegçiligini üpjün etmäge mümkinçilik berýär. Şonuň ýaly-da, LPCVD reaktordaky himiki reaksiýa gaz basyşyny peseltmek bilen işlemegi meýilleşdirilýär.
AI-ni ynsanperwerleşdirmekÝürek-damar keseliniň tehnologiýasy ulgamynda Humanize AI-niň ulanylmagy film ýerleşdirmek prosesiniň netijeliligini we takyklygyny ep-esli ýokarlandyryp biler. AI algoritmini ulanmak arkaly ion parametri, gaz akymynyň tizligi, temperatura we filmiň galyňlygy ýaly parametrleriň gözegçiligini we sazlanmagyny has gowy netijeler üçin optimizirläp bolýar.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 24-nji oktýabry