Буғгузории кимиёвӣ (CVD) равандест, ки тавассути реаксияи кимиёвии омехтаи газӣ дар сатҳи пластинаи кремний плёнкаи сахтро дар бар мегирад. Ин равандро метавон ба моделҳои гуногуни таҷҳизот, ки дар шароити гуногуни реаксияи кимиёвӣ, ба монанди фишор ва прекурсор насб карда шудаанд, тақсим кард.
Ин ду дастгоҳ барои кадом раванд истифода мешаванд?Таҷҳизоти PECVD (Plasma Enhanced) дар соҳаҳои гуногун, аз қабили OX, нитрид, дарвозаи элементҳои металлӣ ва карбони аморфӣ васеъ истифода мешавад. Аз тарафи дигар, LPCVD (Low Power) одатан барои нитридҳо, полимерҳо ва TEOS истифода мешавад.
Принсип чист?Технологияи PECVD энергияи плазма ва CVD-ро бо истифода аз плазмаи ҳарорати паст муттаҳид мекунад, то ихроҷи тару тозаро дар катоди камераи амалиёт ба вуҷуд орад. Ин имкон медиҳад, ки реаксияи кимиёвӣ ва плазмавии химиявӣ назорат карда шавад, то дар сатҳи намуна плёнкаи сахт ба вуҷуд ояд. Ба ҳамин монанд, LPCVD бояд бо фишори пасти гази реаксияи кимиёвӣ дар реактор кор кунад.
инсонӣ кардани зеҳни сунъӣИстифодаи зеҳни сунъии Humanize дар соҳаи технологияи CVD метавонад самаранокӣ ва дақиқии тартиби ҷойгиркунии филмро ба таври назаррас афзоиш диҳад. Бо истифода аз алгоритми зеҳни сунъӣ, назорат ва танзими параметрҳо ба монанди параметри ион, суръати ҷараёни газ, ҳарорат ва ғафсии филмро барои натиҷаҳои беҳтар оптимизатсия кардан мумкин аст.
Вақти нашр: 24 октябри соли 2024