ʻO ka hoʻokaʻawale ʻana o ka mahu kemika (CVD) kahi hana e pili ana i ka waiho ʻana i kahi kiʻiʻoniʻoni paʻa ma luna o ka ʻili o ka wafer silicon ma o kahi hopena kemika o kahi hui kinoea. Hiki ke hoʻokaʻawale ʻia kēia kaʻina hana i nā ʻano lako like ʻole i hoʻokumu ʻia ma nā kūlana hopena kemika like ʻole e like me ke kaomi a me ka precursor.
He aha ke kaʻina hana e hoʻohana ʻia ai kēia mau mea hana ʻelua?Hoʻohana nui ʻia nā lako PECVD (Plasma Enhanced) i nā noi e like me OX, Nitride, metallic element gate, a me ke kalapona amorphous. Ma ka ʻaoʻao ʻē aʻe, hoʻohana pinepine ʻia ka LPCVD (Low Power) no Nitride, poly, a me TEOS.
He aha ke kumumanaʻo?Hoʻohui ka ʻenehana PECVD i ka ikehu plasma a me CVD ma o ka hoʻohana ʻana i ka plasma haʻahaʻa haʻahaʻa e hoʻoulu i ka hoʻokuʻu hou ʻana ma ka cathode o ke keʻena hana. ʻAe kēia i ka hoʻomalu ʻana i ka hopena kemika a me ka hopena kemika plasma e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni paʻa ma ka ʻili o ka laʻana. Pēlā nō, hoʻolālā ʻia ʻo LPCVD e hana ma ka hoʻemi ʻana i ke kaomi kinoea hopena kemika i loko o ka reactor.
hoʻokanaka i ka AIʻO ka hoʻohana ʻana o Humanize AI ma ke kahua o ka ʻenehana CVD hiki ke hoʻonui nui i ka pono a me ka pololei o ke kaʻina hana waiho kiʻiʻoniʻoni. Ma ka hoʻohana ʻana i ka algorithm AI, hiki ke hoʻomaikaʻi ʻia ka nānā ʻana a me ka hoʻoponopono ʻana i nā palena e like me ka palena ion, ka nui o ke kahe kinoea, ka mahana, a me ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni no nā hopena maikaʻi aʻe.
Ka manawa hoʻouna: ʻOkakopa-24-2024