Химиялык буу чөктүрүү (ХБЧ) - бул газ аралашмасынын химиялык химиялык реакциясы аркылуу кремний пластинасынын бетине катуу пленканы жайгаштыруу процедурасы. Бул процедураны басым жана прекурсор сыяктуу ар кандай химиялык реакция шарттарында орнотулган ар кандай жабдуулардын моделине бөлүүгө болот.
Бул эки түзмөк кандай процедура үчүн колдонулат?PECVD (плазма менен күчөтүлгөн) жабдуулары OX, нитрид, металл элемент дарбазасы жана аморфтук көмүртек сыяктуу колдонмолордо кеңири колдонулат. Башка жагынан алганда, LPCVD (төмөн кубаттуулук) көбүнчө нитрид, поли жана TEOS үчүн колдонулат.
Принцип кандай?PECVD технологиясы плазма энергиясын жана CVDди төмөнкү температурадагы плазманы колдонуу менен айкалыштырып, процедура камерасынын катодунда жаңылыктын чыгышын шарттайт. Бул химиялык жана плазмалык химиялык реакцияны башкарууга, үлгүнүн бетинде катуу пленканы түзүүгө мүмкүндүк берет. Ошо сыяктуу эле, LPCVD реактордогу химиялык реакция газынын басымын төмөндөтүү менен иштөөнү пландаштырууда.
жасалма интеллектти адамдаштырууЖүрөк-кан тамыр оорулары технологиясы тармагында Humanize AI колдонуу тасмага түшүрүү процедурасынын натыйжалуулугун жана тактыгын бир топ жогорулатат. AI алгоритмин колдонуу менен, ион параметри, газ агымынын ылдамдыгы, температура жана тасманын калыңдыгы сыяктуу параметрлерди көзөмөлдөө жана тууралоо жакшыраак натыйжаларга жетүү үчүн оптималдаштырылышы мүмкүн.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 24-октябры