Хімічнае асаджэнне з паравой фазы (CVD) — гэта працэдура, якая ўключае нанясенне цвёрдай плёнкі на паверхню крэмніевай пласціны шляхам хімічнай рэакцыі з газавай сумессю. Гэтую працэдуру можна падзяліць на розныя мадэлі абсталявання, якія працуюць пры розных умовах хімічнай рэакцыі, такіх як ціск і папярэднік.
Для якой працэдуры выкарыстоўваюцца гэтыя дзве прылады?Абсталяванне PECVD (плазменна-ўзмоцненае) шырока выкарыстоўваецца ў такіх сферах, як OX, нітрыд, металічныя элементы затвора і аморфны вуглярод. З іншага боку, LPCVD (нізкая магутнасць) звычайна выкарыстоўваецца для нітрыду, поліацэтату і TEOS.
У чым прынцып?Тэхналогія PECVD спалучае энергію плазмы і CVD, выкарыстоўваючы нізкатэмпературную плазму для індуцыравання свежасці разраду на катодзе працэдурнай камеры. Гэта дазваляе кантраляваць хімічную і плазмахімічную рэакцыі для ўтварэння цвёрдай плёнкі на паверхні ўзору. Падобным чынам, LPCVD плануецца працаваць пры паніжаным ціску рэакцыйнага газу ў рэактары.
ачалавечваць штучны інтэлектВыкарыстанне штучнага інтэлекту Humanize ў галіне тэхналогіі CVD можа значна павысіць эфектыўнасць і дакладнасць працэдуры нанясення плёнкі. Дзякуючы выкарыстанню алгарытму штучнага інтэлекту, маніторынг і карэкціроўка такіх параметраў, як параметры іонаў, хуткасць патоку газу, тэмпература і таўшчыня плёнкі, могуць быць аптымізаваны для дасягнення лепшых вынікаў.
Час публікацыі: 24 кастрычніка 2024 г.