Revestimento de SiC/Substrato/Bandeja de grafite revestido para semicondutores

Revestimento de SiC/Substrato/Bandeja de Grafite Revestido para Semicondutor - Imagem em Destaque

Descrição curta:

O Susceptor de Grafite Revestido com SiC da VET Energy para Crescimento Epitaxial é um produto de alto desempenho projetado para proporcionar desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.

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Revestimento de SiC/revestimento de susceptor de grafite para semicondutor

OSubstrato de grafite revestido com SiCé uma solução altamente durável e eficiente, projetada para atender às rigorosas demandas da indústria de processamento de semicondutores. Apresentando uma camada de alta purezarevestimento de carboneto de silício (SiC), este substrato oferece estabilidade térmica excepcional, resistência à oxidação e vida útil prolongada, tornando-o ideal para aplicações em processos MOCVD, portadores de wafers de grafite e outros ambientes de alta temperatura.

Características:
· Excelente resistência ao choque térmico
· Excelente resistência física ao choque
· Excelente resistência química
· Super Alta Pureza
· Disponibilidade em formato complexo
·Utilizável em atmosfera oxidante

Aplicativo:

Características e vantagens do produto:

1. Resistência térmica superior:Com alta purezaRevestimento de SiC, o substrato resiste a temperaturas extremas, garantindo desempenho consistente em ambientes exigentes, como epitaxia e fabricação de semicondutores.

2. Maior durabilidade:Os componentes de grafite revestidos de SiC são projetados para resistir à corrosão química e à oxidação, aumentando a vida útil do substrato em comparação aos substratos de grafite padrão.

3. Grafite com revestimento vítreo:A estrutura vítrea única doRevestimento de SiCproporciona excelente dureza superficial, minimizando o desgaste durante o processamento em alta temperatura.

4. Revestimento de SiC de alta pureza:Nosso substrato garante contaminação mínima em processos de semicondutores sensíveis, oferecendo confiabilidade para indústrias que exigem pureza rigorosa do material.

5. Ampla aplicação no mercado:OSusceptor de grafite revestido de SiCO mercado continua a crescer à medida que a demanda por produtos avançados revestidos de SiC na fabricação de semicondutores aumenta, posicionando esse substrato como um participante importante tanto no mercado de suporte de wafers de grafite quanto no mercado de bandejas de grafite revestidas de carboneto de silício.

Propriedades típicas do material de grafite base:

Densidade aparente:	1,85 g/cm3
Resistividade elétrica:	11 μΩm
Resistência à flexão:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureza Shore:	58
Cinzas:	<5 ppm
Condutividade térmica:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do SiC CVDrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β da FCC
Densidade / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 / Grain SiZe	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 / Capacidade de Calor	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de Sublimação	2700℃
抗弯强度 / Resistência à Flexão	415 MPa RT 4 pontos
Módulo de Young	430 Gpa 4pt curva, 1300℃
导热系数 / Condutividade Térmica	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

A VET Energy é a verdadeira fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com diferentes revestimentos, como revestimento de SiC, revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., podendo fornecer diversas peças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica.

Nossa equipe técnica é formada por importantes instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados e desenvolvemos uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa ao descolamento.

Sejam bem-vindos para visitar nossa fábrica e vamos conversar mais!