Đặc trưng:
· Khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời
· Khả năng chống va đập vật lý tuyệt vời
· Khả năng kháng hóa chất tuyệt vời
· Độ tinh khiết cực cao
· Có sẵn trong hình dạng phức tạp
·Sử dụng được trong môi trường oxy hóa
Ứng dụng:
Tính năng và ưu điểm của sản phẩm:
1. Khả năng chịu nhiệt cao:Với độ tinh khiết caoLớp phủ SiC, chất nền chịu được nhiệt độ khắc nghiệt, đảm bảo hiệu suất ổn định trong các môi trường khắc nghiệt như chế tạo epitaxy và bán dẫn.
2. Độ bền được cải thiện:Các thành phần than chì phủ SiC được thiết kế để chống ăn mòn hóa học và oxy hóa, giúp tăng tuổi thọ của chất nền so với chất nền than chì tiêu chuẩn.
3. Graphite tráng thủy tinh:Cấu trúc thủy tinh độc đáo củaLớp phủ SiCcung cấp độ cứng bề mặt tuyệt vời, giảm thiểu hao mòn trong quá trình xử lý ở nhiệt độ cao.
4. Lớp phủ SiC có độ tinh khiết cao:Chất nền của chúng tôi đảm bảo mức độ ô nhiễm tối thiểu trong các quy trình bán dẫn nhạy cảm, mang lại độ tin cậy cho các ngành công nghiệp đòi hỏi độ tinh khiết vật liệu nghiêm ngặt.
5. Ứng dụng rộng rãi trên thị trường:CácChất dẫn điện graphite phủ SiCthị trường tiếp tục tăng trưởng khi nhu cầu về các sản phẩm phủ SiC tiên tiến trong sản xuất chất bán dẫn tăng lên, đưa chất nền này trở thành một nhân tố chủ chốt trong cả thị trường vật liệu mang wafer graphite và thị trường khay graphite phủ silicon carbide.
Tính chất điển hình của vật liệu than chì cơ bản:
| Mật độ biểu kiến: | 1,85g/cm3 |
| Điện trở suất: | 11μΩm |
| Độ bền uốn: | 49MPa (500kgf/cm2) |
| Độ cứng bờ: | 58 |
| Tro: | <5ppm |
| Độ dẫn nhiệt: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 / Giá trị điển hình |
| 晶体结构 / Cấu trúc tinh thể | FCC giai đoạn β 多晶,主要为（111)取向 |
| 密度 / Mật độ | 3,21g/cm³ |
| 硬度 / Độ cứng | 2500 维氏硬度(tải 500g) |
| 晶粒大小 / Kích thước hạt | 2~10μm |
| 纯度 / Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
| 热容 / Công suất nhiệt | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
| 杨氏模量 / Mô đun của Young | 430 Gpa 4pt uốn cong, 1300℃ |
| 导热系数 / Độ dẫn nhiệt | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt(CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy là nhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và silicon carbide tùy chỉnh với nhiều lớp phủ khác nhau như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinh, lớp phủ carbon nhiệt phân, v.v., có thể cung cấp nhiều bộ phận tùy chỉnh khác nhau cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu tiên tiến hơn và đã tạo ra một công nghệ độc quyền được cấp bằng sáng chế, có thể làm cho liên kết giữa lớp phủ và chất nền chặt chẽ hơn và ít bị bong tróc hơn.
Chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!
