Графитен носител за PECVD процес

Кратко описание:

Енергия за професионално образование и обучениеГрафитната лодка PECVD за слънчеви панели е усъвършенстван компонент, проектиран специално за производството на високопроизводителни слънчеви панели. Използвана в процесите на плазмено усилено химическо отлагане от пари (PECVD), тази графитна лодка осигурява оптимално боравене с материала и равномерно отлагане на тънки филми върху слънчевите клетки. Проектирана за прецизност и издръжливост, тя осигурява превъзходна топлопроводимост, висока устойчивост на корозия и минимално замърсяване, които са от съществено значение за производството на ефективни, висококачествени слънчеви панели.

Изпратете ни имейл Изтегляне като PDF

Детайли за продукта

Етикети на продукти

Енергия за професионално образование и обучениеГрафитният носител, използван при PECVD процес, е висококачествен консуматив, предназначен за PECVD (плазмено усилено химическо отлагане от газова фаза). Този графитен носител е изработен от високочист графитен материал с висока плътност, с отлична устойчивост на високи температури, устойчивост на корозия, размерна стабилност и други характеристики, и може да осигури стабилна платформа за PECVD процес, за да се гарантира равномерност и плоскост на отлагането на тънки филми.

Графитните носители за PECVD процеса имат следните характеристики:

▪ Висока чистота: изключително ниско съдържание на примеси, което избягва замърсяването на филма и гарантира качеството му.

▪ Висока плътност: висока плътност, висока механична якост, способна да издържи на висока температура и високо налягане в PECVD среда.

▪ Добра размерна стабилност: малка промяна в размерите при висока температура, осигуряваща стабилност на процеса.

▪ Отлична топлопроводимост: ефективно пренася топлината, за да предотврати прегряване на пластината.

▪ Силна устойчивост на корозия: способна да устои на ерозия от различни корозивни газове и плазма.

▪ Персонализирано обслужване: графитни носачи с различни размери и форми могат да бъдат персонализирани според нуждите на клиента.

Графитен материал от SGL:

Типичен параметър: R6510
Индекс	Стандарт за изпитване	Стойност	Единица
Среден размер на зърната	ISO 13320	10	μm
Насипна плътност	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Отворена порьозност	DIN66133	10	%
Среден размер на порите	DIN66133	1.8	μm
Пропускливост	ДИН 51935	0,06	см²/с
Твърдост по Рокуел HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Специфично електрическо съпротивление	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Якост на огъване	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Якост на натиск	ДИН 51910	130	МПа
Модул на Юнг	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Термично разширение (20-200℃)	ДИН 51909	4.2X10^-6	K^-1
Топлопроводимост (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Той е специално проектиран за производство на високоефективни слънчеви клетки, поддържайки обработка на големи пластини G12. Оптимизираният дизайн на носачите значително увеличава производителността, което позволява по-високи нива на добив и по-ниски производствени разходи.

Елемент	Тип	Номер на носител на пластина
PEVCD Grephite лодка - серия 156	156-13 грефитна лодка	144
	156-19 грефитова лодка	216
	156-21 грефитова лодка	240
	156-23 графитна лодка	308
PEVCD Grephite лодка - серия 125	125-15 грефитова лодка	196
	125-19 грефитова лодка	252
	125-21 графитна лодка	280