PECVD графитна подложка за пластини

Поддръжка на графитна пластина PECVD, представено изображение

Кратко описание:

Проектирана за прецизност и производителност, графитната подложка за пластини на VET Energy е идеалният материал за употреба в усъвършенствана обработка на пластини, където високата термична стабилност и постоянната производителност са от решаващо значение. Независимо дали работите с полупроводникови пластини или други деликатни подложки, тази висококачествена графитна подложка ще подобри надеждността на процеса и качеството на продукта, което я прави незаменим компонент за съвременното производство.

Изпратете ни имейл Изтегляне като PDF

Детайли за продукта

Етикети на продукти

Графитната подложка за PECVD процес на VET Energy е консуматив за сърцевина, предназначен за PECVD (плазмено усилено химическо отлагане от пари). Този продукт е изработен от високочист графитен материал с висока плътност и устойчивост на високи температури, устойчивост на корозия, размерна стабилност и други характеристики, може да осигури стабилна опорна платформа за PECVD процеса, за да се гарантира равномерност и плоскост на отлагането на филма.

Дизайнът с „графитна опора“ на графитната опора за пластини VET Energy може не само ефективно да поддържа пластината, но и да осигури термична стабилност в PECVD среда с висока температура и високо налягане, за да се гарантира стабилността на процеса.

Графитната подложка от VET Energy PECVD процес има следните характеристики:

▪Висока чистота:изключително ниско съдържание на примеси, избягвайте замърсяване на филма, за да гарантирате качеството на филма.

▪Висока плътност:висока плътност, висока механична якост, може да издържи на висока температура и високо налягане в PECVD среда.

▪Добра размерна стабилност:малки промени в размерите при висока температура, за да се осигури стабилност на процеса.

▪Отлична топлопроводимост:ефективно пренасят топлината, за да предотвратят прегряване на пластината.

▪Силна устойчивост на корозия:Способен да устои на ерозия от различни корозивни газове и плазма.

▪Персонализирано обслужване:Графитните опорни маси с различни размери и форми могат да бъдат персонализирани според нуждите на клиента.

Графитен материал от SGL:

Типичен параметър: R6510
Индекс	Стандарт за изпитване	Стойност	Единица
Среден размер на зърната	ISO 13320	10	μm
Насипна плътност	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Отворена порьозност	DIN66133	10	%
Среден размер на порите	DIN66133	1.8	μm
Пропускливост	ДИН 51935	0,06	см²/с
Твърдост по Рокуел HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Специфично електрическо съпротивление	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Якост на огъване	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Якост на натиск	ДИН 51910	130	МПа
Модул на Юнг	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Термично разширение (20-200℃)	ДИН 51909	4.2X10^-6	K^-1
Топлопроводимост (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Той е специално проектиран за производство на високоефективни слънчеви клетки, поддържайки обработка на големи пластини G12. Оптимизираният дизайн на носачите значително увеличава производителността, което позволява по-високи нива на добив и по-ниски производствени разходи.

Елемент	Тип	Номер на носител на пластина
PEVCD Grephite лодка - серия 156	156-13 грефитна лодка	144
	156-19 грефитова лодка	216
	156-21 грефитова лодка	240
	156-23 графитна лодка	308
PEVCD Grephite лодка - серия 125	125-15 грефитова лодка	196
	125-19 грефитова лодка	252
	125-21 графитна лодка	280