Kahe o ke kaʻina hana semiconductor-Ⅱ

Welina mai i kā mākou pūnaewele no ka ʻike huahana a me ke kūkākūkā ʻana.

ʻO kā mākou pūnaewele:https://www.vet-china.com/

 

Ka ʻoki ʻana o Poly a me SiO2:

Ma hope o kēia, ua ʻoki ʻia ka Poly a me SiO2 keu, ʻo ia hoʻi, ua wehe ʻia. I kēia manawa, kuhikuhikālai ʻanahoʻohana ʻia. I ka hoʻokaʻawale ʻana o ke kālai ʻana, aia kahi hoʻokaʻawale ʻana o ke kālai kuhikuhi a me ke kālai ʻole kuhikuhi. Pili ke kālai kuhikuhi ikālai ʻanama kekahi kuhikuhi, ʻoiai ʻo ke kālai ʻana ʻole-kuhikuhi he kuhikuhi ʻole ia (ua ʻōlelo nui wau. I ka pōkole, ʻo ia ka wehe ʻana i ka SiO2 ma kekahi kuhikuhi ma o nā waikawa a me nā kumu kikoʻī). Ma kēia laʻana, hoʻohana mākou i ke kālai ʻana i lalo e wehe i ka SiO2, a lilo ia e like me kēia.

ʻO ka mea hope loa, e wehe i ka photoresist. I kēia manawa, ʻo ke ʻano o ka wehe ʻana i ka photoresist ʻaʻole ia ka hoʻāla ʻana ma o ka hoʻomālamalama ʻana i ʻōlelo ʻia ma luna, akā ma o nā ʻano hana ʻē aʻe, no ka mea, ʻaʻole pono mākou e wehewehe i kahi nui kikoʻī i kēia manawa, akā e wehe i nā photoresist āpau. ʻO ka mea hope loa, lilo ia e like me ka mea i hōʻike ʻia ma ke kiʻi aʻe.

Ma kēia ʻano, ua hoʻokō mākou i ke kumu o ka mālama ʻana i kahi kikoʻī o ka Poly SiO2.

 

Ke kūkulu ʻia ʻana o ke kumu a me ka ʻauwai:

ʻO ka mea hope loa, e noʻonoʻo kākou pehea i hoʻokumu ʻia ai ke kumu a me ka ʻauwai. Hoʻomanaʻo mau nā mea a pau ua kamaʻilio mākou e pili ana i ia mea ma ka puke hope loa. Hoʻokomo ʻia ke kumu a me ka ʻauwai me ka ion me nā ʻano mea like. I kēia manawa, hiki iā mākou ke hoʻohana i ka photoresist e wehe i ka wahi kumu/ʻauwai kahi e pono ai ke hoʻokomo ʻia ke ʻano N. ʻOiai ʻo NMOS wale nō kā mākou e lawe ai ma ke ʻano he laʻana, e wehe ʻia nā ʻāpana a pau ma ke kiʻi ma luna, e like me ka mea i hōʻike ʻia ma ke kiʻi aʻe.

ʻOiai ʻaʻole hiki ke hoʻokomo ʻia ka ʻāpana i uhi ʻia e ka photoresist (ua ālai ʻia ke kukui), e hoʻokomo wale ʻia nā mea ʻano-N ma ka NMOS e pono ai. ʻOiai ua ālai ʻia ka substrate ma lalo o ka poly e ka poly a me SiO2, ʻaʻole ia e hoʻokomo ʻia, no laila e like me kēia.

I kēia manawa, ua hana ʻia kahi kumu hoʻohālike MOS maʻalahi. Ma ke kumumanaʻo, inā hoʻohui ʻia ka uila i ke kumu, ka ʻauwai, ka poly a me ke substrate, hiki i kēia MOS ke hana, akā ʻaʻole hiki iā mākou ke lawe wale i kahi probe a hoʻohui pololei i ka uila i ke kumu a me ka ʻauwai. I kēia manawa, pono ka uwea MOS, ʻo ia hoʻi, ma kēia MOS, e hoʻohui i nā uwea e hoʻohui i nā MOS he nui. E nānā kākou i ke kaʻina hana uwea.

 

Ke hana nei iā VIA:

ʻO ka hana mua, ʻo ia ke uhi i ka MOS holoʻokoʻa me kahi papa o SiO2, e like me ka mea i hōʻike ʻia ma ke kiʻi ma lalo nei:

ʻOiaʻiʻo, ua hana ʻia kēia SiO2 e CVD, no ka mea, he wikiwiki loa ia a mālama i ka manawa. Eia ke kaʻina hana o ke kau ʻana i ka photoresist a me ka hōʻike ʻana. Ma hope o ka hopena, penei ke ʻano.

A laila e hoʻohana i ke ʻano hana kālai ʻana e kālai i kahi lua ma ka SiO2, e like me ka mea i hōʻike ʻia ma ka ʻāpana hina ma ke kiʻi ma lalo. Hoʻopili pololei ka hohonu o kēia lua i ka ʻili Si.

ʻO ka hope loa, wehe i ka photoresist a loaʻa ke ʻano penei.

I kēia manawa, ʻo ka mea e pono ai ke hana ʻia, ʻo ia ke hoʻopiha i ke alakaʻi i loko o kēia lua. No ke aha kēia alakaʻi? He ʻokoʻa kēlā me kēia hui, ʻo ka hapa nui o lākou he mau mea hoʻohui tungsten, no laila pehea e hiki ai ke hoʻopiha ʻia kēia lua? Hoʻohana ʻia ke ʻano PVD (Physical Vapor Deposition), a ua like ke kumu me ke kiʻi ma lalo nei.

E hoʻohana i nā electrons a i ʻole nā ​​​​iona ikehu kiʻekiʻe e hoʻouka i ka mea i manaʻo ʻia, a e hāʻule ka mea i manaʻo ʻia i lalo ma ke ʻano o nā ʻātoma, a laila e hana ana i ka uhi ma lalo. ʻO ka mea i manaʻo ʻia a mākou e ʻike pinepine ai ma ka nūhou e pili ana i ka mea i manaʻo ʻia ma aneʻi.
Ma hope o ka hoʻopiha ʻana i ka lua, penei ke ʻano.

ʻOiaʻiʻo, ke hoʻopiha mākou iā ia, ʻaʻole hiki ke kāohi i ka mānoanoa o ka uhi e like pono me ka hohonu o ka lua, no laila e loaʻa kekahi keu, no laila hoʻohana mākou i ka ʻenehana CMP (Chemical Mechanical Polishing), kahi kani kiʻekiʻe loa, akā ʻo ka ʻoiaʻiʻo, ke wili nei ia, ke wili nei i nā ʻāpana keu. Penei ka hopena.

I kēia manawa, ua hoʻopau mākou i ka hana ʻana o kahi papa o via. ʻOiaʻiʻo, ʻo ka hana ʻana o via no ka uea ʻana o ka papa metala ma hope.

 

Ka hana ʻana o ka papa metala:

Ma lalo o nā kūlana i luna, hoʻohana mākou i ka PVD e hoʻokahe i kahi papa metala ʻē aʻe. ʻO kēia metala he metala keleawe nui ia.

A laila ma hope o ka hōʻike ʻana a me ke kālai ʻana, loaʻa iā mākou ka mea a mākou e makemake ai. A laila e hoʻomau i ka hoʻopili ʻana a hiki i ka hoʻokō ʻana i kā mākou mau pono.

Ke kahakiʻi mākou i ka hoʻonohonoho ʻana, e haʻi mākou iā ʻoe i ka nui o nā papa metala a ma o ke kaʻina hana i hoʻohana ʻia e hiki ke hoʻopili ʻia ma ka nui loa, ʻo ia hoʻi ka nui o nā papa e hiki ke hoʻopili ʻia.
ʻO ka mea hope loa, loaʻa iā mākou kēia ʻano. ʻO ka papa luna ka pine o kēia ʻāpana, a ma hope o ka hoʻopili ʻana, lilo ia i pine hiki iā mākou ke ʻike (ʻoiaʻiʻo, ua kahakiʻi au iā ia ma ke ʻano maʻamau, ʻaʻohe manaʻo kūpono, no ka laʻana wale nō).

ʻO kēia ke kaʻina hana maʻamau o ka hana ʻana i kahi ʻāpana. Ma kēia pukana, ua aʻo mākou e pili ana i ka hōʻike koʻikoʻi, ka etching, ka hoʻokomo ʻana o ka ion, nā ʻōmole umu, CVD, PVD, CMP, a pēlā aku i loko o ka hale hana semiconductor.