Nnọọ na weebụsaịtị anyị maka ozi gbasara ngwaahịa na ndụmọdụ.
Weebụsaịtị anyị:https://www.vet-china.com/
Ịcha Poly na SiO2:
Mgbe nke a gasịrị, a na-ewepụ Poly na SiO2 karịrị akarị, ya bụ, ewepụ ha. N'oge a, a na-ewepụ ha n'ụzọ nduzi.ịkụ ihea na-eji ya. N'ime nhazi nke ịkpụcha, e nwere nhazi nke ịkpụcha ntụziaka na ịkpụcha na-abụghị ntụziaka. Ịkpụcha ntụziaka na-ezo aka naịkụ ihen'otu ụzọ, ebe ịgbapụ ihe na-abụghị nke ntụziaka abụghị nke ntụziaka (ekwuru m ọtụtụ ihe n'amaghị ama. Na nkenke, ọ bụ iwepụ SiO2 n'otu ụzọ ụfọdụ site na asịd na ntọala ụfọdụ). N'ihe atụ a, anyị na-eji ịgbapụ ihe na-agbadata iji wepụ SiO2, ọ na-aghọkwa otu a.
N'ikpeazụ, wepụ onye na-egbochi foto. N'oge a, ụzọ isi wepụ onye na-egbochi foto abụghị ịgbalite site na ìhè ọkụ nke e kwuru n'elu, kama site na ụzọ ndị ọzọ, n'ihi na ọ dịghị mkpa ka anyị kọwaa nha kpọmkwem n'oge a, kama ọ bụ iwepụ onye na-egbochi foto niile. N'ikpeazụ, ọ na-aghọ dịka egosiri na foto na-esonụ.
N'ụzọ dị otu a, anyị emezuola ebumnuche nke idobe ebe kpọmkwem nke Poly SiO2 dị.
Nhazi nke isi iyi na mmiri ozuzo:
N'ikpeazụ, ka anyị tụlee otu esi emepụta isi iyi na mmiri ozuzo. Onye ọ bụla ka na-echeta na anyị kwuru maka ya na mbipụta ikpeazụ. A na-etinye isi iyi na mmiri ozuzo na ion na otu ụdị ihe. N'oge a, anyị nwere ike iji photoresist mepee ebe isi iyi/mmiri ozuzo ebe a ga-etinye ụdị N. Ebe ọ bụ na anyị na-ewere naanị NMOS dị ka ihe atụ, a ga-emepe akụkụ niile dị na eserese dị n'elu, dịka egosiri na eserese na-esote.
Ebe ọ bụ na akụkụ nke photoresist kpuchiri enweghị ike itinye (a na-egbochi ìhè ahụ), a ga-etinye ihe ndị dị ka ụdị N naanị na NMOS achọrọ. Ebe ọ bụ na poly na SiO2 na-egbochi substrate dị n'okpuru poly ahụ, a gaghị etinye ya, yabụ ọ na-adị ka nke a.
Ugbu a, e mepụtala ụdị MOS dị mfe. N'echiche, ọ bụrụ na etinyere voltaji na isi iyi, drain, poly na substrate, MOS a nwere ike ịrụ ọrụ, mana anyị enweghị ike iji nyocha wee tinye voltaji ozugbo na isi iyi na drain. N'oge a, a chọrọ waya MOS, ya bụ, na MOS a, jikọọ waya iji jikọọ ọtụtụ MOS ọnụ. Ka anyị leba anya na usoro waya ahụ.
Ime VIA:
Nzọụkwụ mbụ bụ ikpuchi MOS dum na oyi akwa nke SiO2, dịka egosiri na foto dị n'okpuru:
N'ezie, CVD na-emepụta SiO2 a, n'ihi na ọ na-adị ngwa ngwa ma na-echekwa oge. Ihe na-esonụ ka bụ usoro nke itinye photoresist na ikpughe ya. Mgbe njedebe gasịrị, ọ dị ka nke a.
Mgbe ahụ jiri usoro etching mee ka oghere dị na SiO2 dị ka egosiri na akụkụ isi awọ dị na eserese dị n'okpuru. Omimi nke oghere a na-emetụ aka kpọmkwem n'elu Si.
N'ikpeazụ, wepụ ihe na-egbochi fotoresist ahụ wee hụ ọdịdị na-esote.
N'oge a, ihe a ga-eme bụ ijupụta ihe nduzi dị n'olulu a. Banyere ihe onye nduzi a bụ? Ụlọ ọrụ ọ bụla dị iche, ọtụtụ n'ime ha bụ tungsten alloys, yabụ kedu ka esi ejupụta oghere a? A na-eji usoro PVD (Physical Vapor Deposition) eme ihe, ụkpụrụ ahụ yikwara nke dị n'okpuru.
Jiri elektrọn ma ọ bụ ion ndị nwere ike dị elu tụọ ihe ahụ a na-achọ, ihe ahụ gbawara agbawa ga-ada n'ala n'ụdị atọm, si otú a na-emepụta mkpuchi dị n'okpuru. Ihe ahụ a na-achọkarị n'akụkọ na-ezo aka na ihe ahụ a na-achọ ebe a.
Mgbe o jupụtachara oghere ahụ, ọ dị ka nke a.
N'ezie, mgbe anyị na-ejupụta ya, ọ gaghị ekwe omume ịchịkwa ọkpụrụkpụ nke mkpuchi ahụ ka ọ hà nhata kpọmkwem na omimi nke oghere ahụ, yabụ enwere oke ihe karịrị akarị, yabụ anyị na-eji teknụzụ CMP (Chemical Mechanical Polishing), nke na-ada ụda dị oke mma, mana n'ezie ọ na-egweri, na-egweri akụkụ ndị fọdụrụ. Nsonaazụ ya dị ka nke a.
Ugbu a, anyị emechaala mmepụta nke oyi akwa nke via. N'ezie, mmepụta nke via bụ maka waya nke oyi akwa ígwè dị n'azụ.
Mmepụta oyi akwa ígwè:
N'okpuru ọnọdụ ndị dị n'elu, anyị na-eji PVD ewepụ ihe mkpuchi ígwè ọzọ. Ígwè a bụ ihe e ji ọla kọpa mee.
Mgbe anyị kpughechara ihe anyị chọrọ ma kpụchaa ya, anyị na-enweta ihe anyị chọrọ. Mgbe ahụ, anyị na-aga n'ihu na-agbakọta ruo mgbe anyị ga-emezu ihe anyị chọrọ.
Mgbe anyị sere nhazi ahụ, anyị ga-agwa gị ọnụọgụgụ nke ígwè na site na usoro ejiri mee ihe enwere ike ịchịkọta ya karịa, nke pụtara ọnụọgụgụ nke ya.
N'ikpeazụ, anyị na-enweta nhazi a. Pad dị n'elu bụ pin nke chip a, mgbe ejiri ya mechie, ọ na-aghọ pin anyị nwere ike ịhụ (n'ezie, esere m ya n'usoro, ọ dịghị ihe bara uru, dịka ọmụmaatụ).
Nke a bụ usoro izugbe nke imepụta mgbawa. N'ime mbipụta a, anyị mụtara maka ihe kachasị mkpa e ji ekpughe ihe, ịcha ihe, itinye ion n'ime ọkpọkọ ọkụ, CVD, PVD, CMP, wdg. na semiconductor foundry.
Oge ozi: Ọgọst-23-2024