Ìṣàn ilana semikondactor-Ⅱ

Ẹ káàbọ̀ sí ojú-òpó wẹ́ẹ̀bù wa fún ìwífún nípa ọjà àti ìgbìmọ̀.

Oju opo wẹẹbu wa:https://www.vet-china.com/

 

Ìfọ́mọ́ra Poly àti SiO2:

Lẹ́yìn èyí, a ó yọ Poly àti SiO2 tí ó pọ̀ jù kúrò, ìyẹn ni pé, a ó yọ wọ́n kúrò. Ní àkókò yìí, a ó ṣe ìtọ́sọ́nàìfọ́mọ́lẹ̀ni a lò. Nínú ìpínsísọ ìfọ́, ìpínsísọ ìfọ́ ìtọ́sọ́nà àti ìfọ́ ìtọ́sọ́nà tí kò ní ìtọ́sọ́nà wà. Ìfọ́ ìtọ́sọ́nà túmọ̀ síìfọ́mọ́lẹ̀ní ọ̀nà kan pàtó, nígbà tí ìfọ́ tí kì í ṣe ìtọ́sọ́nà kì í ṣe ìtọ́sọ́nà (mo sọ púpọ̀ jù. Ní kúkúrú, ó jẹ́ láti yọ SiO2 kúrò ní ọ̀nà kan pàtó nípasẹ̀ àwọn ásíìdì àti ìpìlẹ̀ pàtó). Nínú àpẹẹrẹ yìí, a lo ìfọ́ tí a fi ń yípadà sí ìsàlẹ̀ láti yọ SiO2 kúrò, ó sì dà bí èyí.

Níkẹyìn, yọ photoresist náà kúrò. Ní àkókò yìí, ọ̀nà tí a fi ń yọ photoresist náà kúrò kì í ṣe ìṣiṣẹ́ nípasẹ̀ ìtànṣán ìmọ́lẹ̀ tí a mẹ́nu kàn lókè, ṣùgbọ́n nípasẹ̀ àwọn ọ̀nà mìíràn, nítorí a kò nílò láti ṣàlàyé ìwọ̀n pàtó kan ní àkókò yìí, bí kò ṣe láti yọ gbogbo photoresist náà kúrò. Níkẹyìn, ó di bí a ṣe fihàn nínú àwòrán tó tẹ̀lé e yìí.

Ni ọna yii, a ti ṣaṣeyọri idi ti idaduro ipo pato ti Poly SiO2.

 

Ìṣẹ̀dá orísun àti ìṣàn omi:

Níkẹyìn, ẹ jẹ́ ká gbé bí orísun àti ìṣàn omi ṣe ń ṣẹ̀dá yẹ̀ wò. Gbogbo ènìyàn ṣì rántí pé a ti sọ̀rọ̀ nípa rẹ̀ nínú ìtẹ̀jáde tó kọjá. Orísun àti ìṣàn omi náà ni a fi irú àwọn èròjà kan náà ṣe. Ní àkókò yìí, a lè lo photoresist láti ṣí ibi orísun/ìṣàn omi níbi tí a ti nílò láti fi irú N síbẹ̀. Níwọ́n ìgbà tí a bá fi NMOS nìkan ṣe àpẹẹrẹ, gbogbo àwọn ẹ̀yà ara tí ó wà nínú àwòrán tí ó wà lókè yìí ni a ó ṣí, gẹ́gẹ́ bí a ṣe fihàn nínú àwòrán tí ó tẹ̀lé e yìí.

Níwọ́n ìgbà tí a kò le fi apá tí a fi photoresist bo bò kò le fi sínú (ìmọ́lẹ̀ náà ti dí), a ó fi àwọn èròjà N-type sínú NMOS tí a nílò nìkan. Níwọ́n ìgbà tí poly àti SiO2 ti dí substrate tí ó wà lábẹ́ poly náà, a kò ní fi sínú rẹ̀, nítorí náà ó máa dà bí èyí.

Ní àkókò yìí, a ti ṣe àwòṣe MOS tí ó rọrùn. Ní ti èrò, tí a bá fi fólẹ́ẹ̀tì kún orísun, drain, poly àti substrate, MOS yìí lè ṣiṣẹ́, ṣùgbọ́n a kò le ṣe àgbéyẹ̀wò kan kí a sì fi fólẹ́ẹ̀tì kún orísun àti drain. Ní àkókò yìí, a nílò wáyà MOS, ìyẹn ni pé, lórí MOS yìí, so wáyà pọ̀ láti so ọ̀pọ̀ MOS pọ̀. Ẹ jẹ́ ká wo ìlànà wáyà náà.

 

Ṣiṣe nipasẹ VIA:

Igbesẹ akọkọ ni lati bo gbogbo MOS pẹlu fẹlẹfẹlẹ ti SiO2, gẹgẹ bi a ti fihan ninu aworan ni isalẹ:

Dájúdájú, CVD ló ṣe SiO2 yìí, nítorí pé ó yára gan-an, ó sì ń fi àkókò pamọ́. Èyí tó tẹ̀lé e yìí ṣì ni ìlànà fífi photoresist síta àti fífi hàn. Lẹ́yìn òpin, ó rí bí èyí.

Lẹ́yìn náà, lo ọ̀nà ìfọ́nrán láti gbẹ́ ihò kan sí orí SiO2, gẹ́gẹ́ bí a ṣe fihàn ní apá grẹ́yẹ́ nínú àwòrán ìsàlẹ̀. Jíjìn ihò yìí kan ojú Si náà ní tààrà.

Níkẹyìn, yọ photoresist náà kúrò kí o sì rí ìrísí tó tẹ̀lé e yìí.

Ní àkókò yìí, ohun tí ó yẹ kí a ṣe ni láti kún atọ́nà inú ihò yìí. Ní ti ohun tí atọ́nà yìí jẹ́? Ilé-iṣẹ́ kọ̀ọ̀kan yàtọ̀ síra, ọ̀pọ̀lọpọ̀ wọn jẹ́ àwọn alloy tungsten, nítorí náà báwo ni a ṣe lè kún ihò yìí? Ọ̀nà PVD (Physical Vapor Deposition) ni a lò, ìlànà náà sì jọ àwòrán tí ó wà ní ìsàlẹ̀ yìí.

Lo àwọn elekitironi tàbí àwọn ion tó ní agbára gíga láti fi bọ́m̀bù lu ohun tí a fẹ́, ohun tí a fẹ́ sì fọ́ yóò jábọ́ sí ìsàlẹ̀ ní ìrísí átọ̀mù, èyí á sì mú kí ó dà bí àwọ̀ tí a fẹ́ kí ó wà ní ìsàlẹ̀. Ohun tí a fẹ́ kí ó wà nínú ìròyìn tọ́ka sí ohun tí a fẹ́ kí ó wà níbí.
Lẹ́yìn tí ó ti kún ihò náà tán, ó rí bí èyí.

Dájúdájú, nígbà tí a bá kún ún, kò ṣeé ṣe láti ṣàkóso sisanra ti ìbòrí náà láti dọ́gba pẹ̀lú jíjìn ihò náà, nítorí náà yóò ní àfikún díẹ̀, nítorí náà a lo ìmọ̀-ẹ̀rọ CMP (Chemical Mechanical Polishing), èyí tí ó dún bí ohun gíga, ṣùgbọ́n ó jẹ́ lílọ, ó ń gé àwọn ẹ̀yà tí ó pọ̀ jù kúrò. Àbájáde rẹ̀ rí bẹ́ẹ̀.

Ní àkókò yìí, a ti parí iṣẹ́ àgbékalẹ̀ ti via kan. Dájúdájú, iṣẹ́ àgbékalẹ̀ via jẹ́ pàtàkì fún okùn irin tí ó wà lẹ́yìn.

 

Iṣelọpọ fẹlẹfẹlẹ irin:

Lábẹ́ àwọn ipò tí a kọ sí òkè yìí, a máa ń lo PVD láti fi ṣe àtúnṣe sí àwọn ìpele irin mìíràn. Irin yìí jẹ́ ohun èlò tí a fi bàbà ṣe ní pàtàkì.

Lẹ́yìn tí a bá ti fi ara hàn tí a sì ti fi ewé kùn ún, a máa rí ohun tí a fẹ́ gbà. Lẹ́yìn náà, a máa ń kóra jọ títí a ó fi tẹ́ àìní wa lọ́rùn.

Nígbà tí a bá ya àwòrán náà, a ó sọ fún ọ iye àwọn ìpele irin tí a lè kó jọ pọ̀ jùlọ àti nípasẹ̀ ìlànà tí a lò, èyí tí ó túmọ̀ sí iye ìpele tí a lè kó jọ.
Níkẹyìn, a gba ìṣètò yìí. Páàdì òkè ni páàdì ìṣẹ́ẹ̀rẹ yìí, lẹ́yìn tí a bá sì kó o jọ, ó di páàdì tí a lè rí (dájúdájú, mo yà á láìròtẹ́lẹ̀, kò sí ìtumọ̀ tó ṣe pàtàkì, fún àpẹẹrẹ).

Èyí ni ìlànà gbogbogbòò fún ṣíṣe ìṣẹ́po kan. Nínú àtẹ̀jáde yìí, a kọ́ nípa ìfarahàn pàtàkì jùlọ, ìfọ́, ìfàmọ́ra ion, àwọn ọ̀pá iná ààrò, CVD, PVD, CMP, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ nínú ilé ìfọ́mọdé semiconductor.