Poukisa li nesesè pou eklèsi?

Nan etap pwosesis dèyè a, lawaflèt (waf silikon(ak sikui sou devan an) bezwen yon kouch eklèsi sou do a anvan koupe an ti moso, soude ak anbalaj ki vin apre pou diminye wotè montaj pake a, diminye volim pake chip la, amelyore efikasite difizyon tèmik chip la, pèfòmans elektrik, pwopriyete mekanik epi diminye kantite koupe an ti moso. Broyaj dèyè a gen avantaj efikasite segondè ak pri ki ba. Li ranplase pwosesis tradisyonèl grave mouye ak grave iyon pou l vin teknoloji eklèsi dèyè ki pi enpòtan an.

Gofr mens lan

Kijan pou vin mens?

Pwosesis prensipal pou diminye wafer nan pwosesis anbalaj tradisyonèl la

Etap espesifik yo nanwaflètEklèsiman an se pou kole waf la ki pral trete a sou fim eklèsi a, epi answit sèvi ak yon vakyòm pou absòbe fim eklèsi a ak chip ki sou li a sou tab waf seramik pore a, ajiste liy sant sikilè enteryè ak ekstèn sifas travay wou fanm dyaman ki gen fòm tas la ak sant waf Silisyòm nan, epi waf Silisyòm nan ak wou fanm nan Thorne alantou aks respektif yo pou fanm koupe. Fann gen ladan twa etap: fanm brit, fanm byen file ak polisaj.

Wafer ki soti nan faktori wafer la, yo poli l sou do pou l vin mens pou l rive nan epesè ki nesesè pou anbalaj la. Lè w ap poli wafer la, ou bezwen kole tep sou devan an (Zòn Aktif la) pou pwoteje zòn sikwi a, epi yo poli bò dèyè a an menm tan. Apre poli a, retire tep la epi mezire epesè a.
Pwosesis fanm k'ap pile ki te aplike avèk siksè nan preparasyon waf Silisyòm yo enkli fanm k'ap pile ak tab wotasyon,waf silikonfanm k'ap pile wotasyon, fanm k'ap pile doub-fas, elatriye. Avèk amelyorasyon plis nan kondisyon kalite sifas waf silikon kristal sèl, nouvo teknoloji fanm k'ap pile yo toujou ap pwopoze, tankou fanm k'ap pile TAIKO, fanm k'ap pile chimik mekanik, fanm k'ap pile polisaj ak fanm k'ap pile disk planetè.

Broyage tab wotasyon:

Broyaj ak tab wotasyon (broyaj ak tab wotasyon) se yon pwosesis broyaj byen bonè yo itilize nan preparasyon ak eklèsi plak Silisyòm. Prensip li montre nan Figi 1. Plak Silisyòm yo fiks sou ventouz tab wotasyon an, epi yo vire senkronize anba kontwòl tab wotasyon an. Plak Silisyòm yo pa vire toutotou aks yo; wou broyaj la ap manje sou aks pandan l ap vire ak gwo vitès, epi dyamèt wou broyaj la pi gwo pase dyamèt plak Silisyòm lan. Gen de kalite broyaj ak tab wotasyon: broyaj plonje fas ak broyaj tanjansyèl fas. Nan broyaj plonje fas, lajè wou broyaj la pi gwo pase dyamèt plak Silisyòm lan, epi aks wou broyaj la ap manje kontinyèlman sou direksyon aks li jiskaske depase a trete, epi apre sa plak Silisyòm lan vire anba kondwi tab wotasyon an; nan broyaj tanjansyèl fas, wou broyaj la ap manje sou direksyon aks li, epi plak Silisyòm lan ap vire kontinyèlman anba kondwi disk wotasyon an, epi broyaj la fini pa yon manje resipwòk (resipwòkasyon) oswa yon manje trennen (kreepfeed).

Figi 1, dyagram eskematik prensip fanm k'ap pile tab wotasyon (tanjansyèl fas)

Konpare ak metòd fanm k'ap pile a, fanm k'ap pile ak tab wotasyon an gen avantaj tankou yon gwo pousantaj retire, ti domaj sou sifas la, ak yon automatisation fasil. Sepandan, zòn fanm k'ap pile aktyèl la (fanm k'ap pile aktif) B ak ang koupe θ a (ang ki genyen ant sèk ekstèn wou fanm k'ap pile a ak sèk ekstèn plak silikon an) nan pwosesis fanm k'ap pile a chanje ak chanjman pozisyon koupe wou fanm k'ap pile a, sa ki lakòz yon fòs fanm k'ap pile enstab, sa ki fè li difisil pou jwenn presizyon sifas ideyal la (valè TTV ki wo), epi ki fasil pou lakòz domaj tankou efondreman kwen ak efondreman kwen. Teknoloji fanm k'ap pile ak tab wotasyon an sitou itilize pou trete plak silikon monokristal ki anba 200mm. Ogmantasyon nan gwosè plak silikon monokristal yo te mete pi gwo egzijans pou presizyon sifas ak presizyon mouvman ekipman travay la, kidonk fanm k'ap pile ak tab wotasyon an pa apwopriye pou fanm k'ap pile plak silikon monokristal ki pi wo pase 300mm.
Pou amelyore efikasite fanm k'ap pile a, ekipman fanm k'ap pile tanjansyèl plan komèsyal yo anjeneral adopte yon estrikti milti-wou fanm k'ap pile. Pa egzanp, yo ekipe yon seri wou fanm k'ap pile ki graj ak yon seri wou fanm k'ap pile amann sou ekipman an, epi tab wotasyon an vire yon sèk pou konplete fanm k'ap pile ki graj ak fanm k'ap pile amann nan youn apre lòt. Kalite ekipman sa a gen ladan G-500DS Konpayi GTI Ameriken an (Figi 2).

Figi 2, Ekipman fanm k'ap pile tab wotasyon G-500DS nan konpayi GTI Ozetazini.

Broyage wotasyon wafer Silisyòm:

Pou satisfè bezwen preparasyon gwo plak silikon ak pwosesis eklèsi, epi pou jwenn presizyon sifas ak bon valè TTV, an 1988, yon entelektyèl Japonè Matsui te pwopoze yon metòd fanm k'ap pile wotasyon plak silikon (fanm k'ap pile an feed). Prensip li montre nan Figi 3. Plak silikon monokristal la ak wou fanm k'ap pile dyaman ki gen fòm tas ki adsorbe sou atelye a vire toutotou aks respektif yo, epi wou fanm k'ap pile a kontinye ap manje sou direksyon aks la an menm tan. Pami yo, dyamèt wou fanm k'ap pile a pi gwo pase dyamèt plak silikon ki trete a, epi sikonferans li pase nan sant plak silikon an. Pou diminye fòs fanm k'ap pile a epi diminye chalè fanm k'ap pile a, yo anjeneral koupe gode aspirasyon an nan yon fòm konvèks oswa konkav oswa yo ajiste ang ki genyen ant aks wou fanm k'ap pile a ak aks gode aspirasyon an pou asire yon fanm k'ap pile semi-kontak ant wou fanm k'ap pile a ak plak silikon an.

Figi 3, Dyagram eskematik prensip fanm k'ap pile rotary wafer silikon an

Konpare ak fanm k'ap pile ak tab wotasyon, fanm k'ap pile wotasyon ak yon sèl wafer gen avantaj sa yo: ① Fanm k'ap pile yon sèl wafer yon sèl fwa ka trete wafer silikon gwo gwosè plis pase 300mm; ② Zòn fanm k'ap pile aktyèl la B ak ang koupe θ a konstan, epi fòs fanm k'ap pile a relativman estab; ③ Lè w ajiste ang enklinasyon ant aks wou fanm k'ap pile a ak aks wafer silikon an, fòm sifas wafer silikon monokristal la ka kontwole aktivman pou jwenn yon pi bon presizyon fòm sifas. Anplis de sa, zòn fanm k'ap pile a ak ang koupe θ nan fanm k'ap pile wotasyon ak yon sèl kristal genyen tou avantaj fanm k'ap pile ak gwo maj, fasil pou detekte ak kontwole epesè sou entènèt ak kalite sifas, estrikti ekipman kontra enfòmèl ant, fasil pou fanm k'ap pile entegre ak plizyè estasyon, ak gwo efikasite fanm k'ap pile.
Pou amelyore efikasite pwodiksyon an epi satisfè bezwen liy pwodiksyon semi-kondiktè yo, ekipman fanm k'ap pile komèsyal ki baze sou prensip fanm k'ap pile rotary Silisyòm wafer la adopte yon estrikti milti-mandrin milti-estasyon, ki ka konplete fanm k'ap pile brit ak fanm k'ap pile amann nan yon sèl chajman ak dechajman. Ansanm ak lòt enstalasyon oksilyè, li ka reyalize fanm k'ap pile konplètman otomatik wafer Silisyòm monokristal "seche/seche" ak "kaset an kaset".

Broyage sou de bò:

Lè machin pou fanm silisyòm nan ap travay sou sifas anwo ak anba machin nan, li nesesè pou vire pyès la epi fè l etap pa etap, sa ki limite efikasite a. An menm tan, machin pou fanm silisyòm nan gen erè kopi sou sifas la (kopi) ak mak fanm silisyòm (mak fanm silisyòm), epi li enposib pou retire domaj tankou ondilasyon ak konik sou sifas machin nan apre koupe fil la (milti-saw), jan yo montre nan Figi 4. Pou simonte domaj ki anwo yo, teknoloji fanm silisyòm doub-fas (doublesidegrinding) te parèt nan ane 1990 yo, epi prensip li montre nan Figi 5. Kranpon yo distribye simetrikman sou tou de bò yo bloke machin nan nan bag retansyon an epi yo vire dousman anba kontwòl woulo a. Yon pè wou fanm silisyòm ki gen fòm tas sitiye relativman sou tou de bò machin nan. Anba kontwòl aks elektrik ki pote lè a, yo vire nan direksyon opoze epi yo manje sou aks pou reyalize fanm silisyòm doub-fas la nan machin nan. Jan nou ka wè nan figi a, fanm k'ap pile de bò ka efektivman retire ondilasyon ak konikasyon sou sifas waf silikon monokristal la apre koupe fil la. Selon direksyon aranjman aks wou fanm k'ap pile a, fanm k'ap pile de bò ka orizontal ak vètikal. Pami yo, fanm k'ap pile orizontal de bò ka efektivman diminye enfliyans defòmasyon waf silikon ki koze pa pwa mò waf silikon an sou kalite fanm k'ap pile a, epi li fasil pou asire ke kondisyon pwosesis fanm k'ap pile yo sou tou de bò waf silikon monokristal la se menm bagay la, epi patikil abrazif yo ak ti moso fanm k'ap pile yo pa fasil pou rete sou sifas waf silikon monokristal la. Li se yon metòd fanm k'ap pile relativman ideyal.

Figi 4, "Erè kopi" ak domaj mak mete nan fanm k'ap pile wotasyon waf silikon an

Figi 5, dyagram eskematik prensip fanm k'ap pile doub-fas la

Tablo 1 an montre konparezon ant fanm k'ap pile ak fanm k'ap pile de bò twa kalite waf silikon monokristal ki anwo yo. Fanm k'ap pile de bò yo sitou itilize pou pwosesis waf silikon anba 200mm, epi li gen yon gwo rannman waf. Akòz itilizasyon wou fanm k'ap pile abrazif fiks, fanm k'ap pile waf silikon monokristal yo ka jwenn yon kalite sifas pi wo pase fanm k'ap pile de bò. Se poutèt sa, tou de fanm k'ap pile wotasyon waf silikon ak fanm k'ap pile de bò ka satisfè egzijans kalite pwosesis waf silikon 300mm endikap yo, epi yo se metòd pwosesis aplatisman ki pi enpòtan kounye a. Lè w ap chwazi yon metòd pwosesis aplatisman waf silikon, li nesesè pou konsidere an pwofondè egzijans gwosè dyamèt, kalite sifas, ak teknoloji pwosesis waf polisaj waf silikon monokristal la. Pou eklèsi dèyè waf la, ou ka sèlman chwazi yon metòd pwosesis yon sèl bò, tankou metòd fanm k'ap pile wotasyon waf silikon an.

Anplis seleksyon metòd fanm k'ap pile a nan fanm k'ap pile waf Silisyòm, li nesesè tou pou detèmine seleksyon paramèt pwosesis rezonab tankou presyon pozitif, gwosè grenn wou fanm k'ap pile a, lyan wou fanm k'ap pile a, vitès wou fanm k'ap pile a, vitès waf Silisyòm, viskozite likid fanm k'ap pile a ak to koule a, elatriye, epi detèmine yon wout pwosesis rezonab. Anjeneral, yo itilize yon pwosesis fanm k'ap pile segmenté ki gen ladan fanm k'ap pile ki graj, fanm k'ap pile semi-fini, fanm k'ap pile fini, fanm k'ap pile san etensèl ak fanm k'ap pile dousman pou jwenn waf Silisyòm monokristal ki gen gwo efikasite pwosesis, gwo planè sifas ak ti domaj sifas.