ហេតុអ្វីបានជាត្រូវការការស្តើង?

នៅក្នុងដំណាក់កាលដំណើរការផ្នែកខាងក្រោយ មុខងារនំវ៉ាហ្វើរ (បន្ទះស៊ីលីកុន(ដែលមានសៀគ្វីនៅខាងមុខ) ត្រូវការធ្វើឱ្យស្តើងនៅខាងក្រោយមុនពេលកាត់ជាដុំៗ ការផ្សារ និងការវេចខ្ចប់ជាបន្តបន្ទាប់ ដើម្បីកាត់បន្ថយកម្ពស់ម៉ោនកញ្ចប់ កាត់បន្ថយបរិមាណកញ្ចប់បន្ទះឈីប ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាពសាយភាយកម្ដៅរបស់បន្ទះឈីប ដំណើរការអគ្គិសនី លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច និងកាត់បន្ថយបរិមាណនៃការកាត់ជាដុំៗ។ ការកិនខាងក្រោយមានគុណសម្បត្តិនៃប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ និងតម្លៃទាប។ វាបានជំនួសដំណើរការឆ្លាក់សើម និងឆ្លាក់អ៊ីយ៉ុងបែបប្រពៃណី ដើម្បីក្លាយជាបច្ចេកវិទ្យាស្តើងខាងក្រោយដ៏សំខាន់បំផុត។

វ៉ាហ្វឺរដែលស្តើង

តើធ្វើដូចម្តេចដើម្បីស្តើង?

ដំណើរការសំខាន់នៃការស្តើង wafer នៅក្នុងដំណើរការវេចខ្ចប់បែបប្រពៃណី

ជំហានជាក់លាក់នៃនំវ៉ាហ្វើរការកាត់ស្តើងគឺដើម្បីភ្ជាប់បន្ទះស្តើងដែលត្រូវកែច្នៃទៅនឹងខ្សែភាពយន្តកាត់ស្តើង ហើយបន្ទាប់មកប្រើម៉ាស៊ីនបូមធូលីដើម្បីស្រូបយកខ្សែភាពយន្តកាត់ស្តើង និងបន្ទះស្តើងលើវាទៅនឹងតុបន្ទះស្តើងសេរ៉ាមិចដែលមានរន្ធច្រើន កែតម្រូវខ្សែកណ្តាលរង្វង់ខាងក្នុង និងខាងក្រៅនៃផ្ទៃធ្វើការនៃកង់កិនពេជ្ររាងពែងទៅកណ្តាលបន្ទះស្តើងស៊ីលីកុន ហើយបន្ទះស្តើងស៊ីលីកុន និងកង់កិនបង្វិលជុំវិញអ័ក្សរៀងៗខ្លួនសម្រាប់ការកិនកាត់។ ការកិនរួមមានដំណាក់កាលបី៖ ការកិនរដុប ការកិនល្អិតៗ និងការប៉ូលា។

បន្ទះវ៉ាហ្វឺរដែលចេញពីរោងចក្រវ៉ាហ្វឺរត្រូវបានកិនត្រឡប់ទៅក្រោយដើម្បីធ្វើឲ្យបន្ទះវ៉ាហ្វឺរស្តើងទៅនឹងកម្រាស់ដែលត្រូវការសម្រាប់វេចខ្ចប់។ នៅពេលកិនបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ ត្រូវបិទកាសែតនៅខាងមុខ (តំបន់សកម្ម) ដើម្បីការពារតំបន់សៀគ្វី ហើយផ្នែកខាងក្រោយត្រូវបានកិនក្នុងពេលតែមួយ។ បន្ទាប់ពីកិនរួច សូមដកកាសែតចេញ ហើយវាស់កម្រាស់។
ដំណើរការកិនដែលត្រូវបានអនុវត្តដោយជោគជ័យចំពោះការរៀបចំបន្ទះស៊ីលីកុនរួមមាន ការកិនលើតុបង្វិលបន្ទះស៊ីលីកុនការកិនបង្វិល ការកិនទ្វេភាគី ជាដើម។ ជាមួយនឹងការកែលម្អបន្ថែមទៀតនៃតម្រូវការគុណភាពផ្ទៃនៃបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយ បច្ចេកវិទ្យាកិនថ្មីៗត្រូវបានស្នើឡើងឥតឈប់ឈរ ដូចជាការកិន TAIKO ការកិនគីមីមេកានិច ការកិនប៉ូលា និងការកិនឌីសភព។

ការកិនលើតុបង្វិល៖

ការកិនលើតុបង្វិល (ការកិនលើតុបង្វិល) គឺជាដំណើរការកិនដំបូងដែលប្រើក្នុងការរៀបចំបន្ទះស៊ីលីកុន និងការធ្វើឱ្យស្តើង។ គោលការណ៍របស់វាត្រូវបានបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 1។ បន្ទះស៊ីលីកុនត្រូវបានជួសជុលនៅលើពែងបឺតនៃតុបង្វិល ហើយបង្វិលដោយបើកបរស្របគ្នាដោយតុបង្វិល។ បន្ទះស៊ីលីកុនខ្លួនឯងមិនបង្វិលជុំវិញអ័ក្សរបស់វាទេ។ កង់កិនត្រូវបានចុកតាមអ័ក្សខណៈពេលបង្វិលក្នុងល្បឿនលឿន ហើយអង្កត់ផ្ចិតនៃកង់កិនធំជាងអង្កត់ផ្ចិតនៃបន្ទះស៊ីលីកុន។ ការកិនលើតុបង្វិលមានពីរប្រភេទ៖ ការកិនបែបផ្អៀងមុខ និងការកិនបែបតង់សង់មុខ។ នៅក្នុងការកិនបែបផ្អៀងមុខ ទទឹងកង់កិនធំជាងអង្កត់ផ្ចិតបន្ទះស៊ីលីកុន ហើយអ័ក្សកង់កិនចុកជាបន្តបន្ទាប់តាមទិសដៅអ័ក្សរបស់វារហូតដល់ផ្នែកលើសត្រូវបានដំណើរការ ហើយបន្ទាប់មកបន្ទះស៊ីលីកុនត្រូវបានបង្វិលនៅក្រោមដ្រាយនៃតុបង្វិល។ នៅក្នុងការកិនបែបតង់សង់មុខ កង់កិនចុកតាមបណ្តោយទិសដៅអ័ក្សរបស់វា ហើយបន្ទះស៊ីលីកុនត្រូវបានបង្វិលជាបន្តបន្ទាប់ក្រោមដ្រាយនៃឌីសបង្វិល ហើយការកិនត្រូវបានបញ្ចប់ដោយការចុកទៅវិញ (ការចុកទៅវិញ) ឬការចុកតាម (ការចុកតាម)។

រូបភាពទី 1 ដ្យាក្រាមគ្រោងការណ៍នៃគោលការណ៍កិនតុបង្វិល (មុខតង់សង់)

បើប្រៀបធៀបជាមួយវិធីសាស្ត្រកិន ការកិនលើតុបង្វិលមានគុណសម្បត្តិនៃអត្រាដកយកចេញខ្ពស់ ការខូចខាតផ្ទៃតូច និងស្វ័យប្រវត្តិកម្មងាយស្រួល។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ផ្ទៃកិនជាក់ស្តែង (ការកិនសកម្ម) B និងមុំកាត់ចូល θ (មុំរវាងរង្វង់ខាងក្រៅនៃកង់កិន និងរង្វង់ខាងក្រៅនៃបន្ទះស៊ីលីកុន) នៅក្នុងដំណើរការកិនផ្លាស់ប្តូរជាមួយនឹងការផ្លាស់ប្តូរទីតាំងកាត់នៃកង់កិន ដែលបណ្តាលឱ្យមានកម្លាំងកិនមិនស្ថិតស្ថេរ ធ្វើឱ្យវាពិបាកក្នុងការទទួលបានភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃដ៏ល្អ (តម្លៃ TTV ខ្ពស់) និងងាយបណ្តាលឱ្យមានពិការភាពដូចជាការដួលរលំគែម និងការដួលរលំគែម។ បច្ចេកវិទ្យាកិនលើតុបង្វិលត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ដំណើរការនៃបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយក្រោម 200 មីលីម៉ែត្រ។ ការកើនឡើងនៃទំហំនៃបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយបានដាក់ចេញនូវតម្រូវការខ្ពស់សម្រាប់ភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃ និងភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនារបស់តុធ្វើការឧបករណ៍ ដូច្នេះការកិនលើតុបង្វិលមិនស័ក្តិសមសម្រាប់ការកិនបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយលើសពី 300 មីលីម៉ែត្រទេ។
ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការកិន ឧបករណ៍កិនតង់សង់លើយន្តហោះពាណិជ្ជកម្មជាធម្មតាប្រើប្រាស់រចនាសម្ព័ន្ធកង់កិនច្រើន។ ឧទាហរណ៍ កង់កិនរដុបមួយឈុត និងកង់កិនល្អិតៗមួយឈុតត្រូវបានបំពាក់នៅលើឧបករណ៍ ហើយតុបង្វិលបង្វិលមួយរង្វង់ដើម្បីបញ្ចប់ការកិនរដុប និងការកិនល្អិតៗជាវេន។ ឧបករណ៍ប្រភេទនេះរួមមាន G-500DS របស់ក្រុមហ៊ុន GTI អាមេរិក (រូបភាពទី 2)។

រូបភាពទី 2 ឧបករណ៍កិនលើតុបង្វិល G-500DS របស់ក្រុមហ៊ុន GTI នៅសហរដ្ឋអាមេរិក

ការកិនបង្វិលបន្ទះស៊ីលីកុន៖

ដើម្បីបំពេញតម្រូវការនៃការរៀបចំបន្ទះស៊ីលីកុនទំហំធំ និងដំណើរការស្តើងផ្នែកខាងក្រោយ និងទទួលបានភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃជាមួយនឹងតម្លៃ TTV ល្អ។ នៅឆ្នាំ 1988 អ្នកប្រាជ្ញជនជាតិជប៉ុន Matsui បានស្នើឡើងនូវវិធីសាស្ត្រកិនបង្វិលបន្ទះស៊ីលីកុន (កិនក្នុងពេលបញ្ចូល)។ គោលការណ៍របស់វាត្រូវបានបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 3។ បន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយ និងកង់កិនពេជ្ររាងពែង ដែលស្រូបយកនៅលើតុធ្វើការ បង្វិលជុំវិញអ័ក្សរៀងៗខ្លួន ហើយកង់កិនត្រូវបានបញ្ចូលជាបន្តបន្ទាប់តាមទិសដៅអ័ក្សក្នុងពេលតែមួយ។ ក្នុងចំណោមនោះ អង្កត់ផ្ចិតនៃកង់កិនមានទំហំធំជាងអង្កត់ផ្ចិតនៃបន្ទះស៊ីលីកុនដែលបានកែច្នៃ ហើយបរិមាត្ររបស់វាឆ្លងកាត់ចំណុចកណ្តាលនៃបន្ទះស៊ីលីកុន។ ដើម្បីកាត់បន្ថយកម្លាំងកិន និងកាត់បន្ថយកំដៅកិន ពែងបឺតបូមធូលីជាធម្មតាត្រូវបានកាត់ជារាងប៉ោង ឬរាងប៉ោង ឬមុំរវាងអ័ក្សកង់កិន និងអ័ក្សពែងបឺតត្រូវបានកែតម្រូវ ដើម្បីធានាបាននូវការកិនពាក់កណ្តាលទំនាក់ទំនងរវាងកង់កិន និងបន្ទះស៊ីលីកុន។

រូបភាពទី 3 ដ្យាក្រាមគ្រោងការណ៍នៃគោលការណ៍កិនបង្វិលបន្ទះស៊ីលីកុន

បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងការកិនលើតុបង្វិល ការកិនបង្វិលបន្ទះស៊ីលីកុនមានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោម៖ ① ការកិនបន្ទះស៊ីលីកុនតែមួយដងអាចដំណើរការបន្ទះស៊ីលីកុនទំហំធំជាង 300 មីលីម៉ែត្រ; ② ផ្ទៃកិនពិតប្រាកដ B និងមុំកាត់ θ គឺថេរ ហើយកម្លាំងកិនមានស្ថេរភាព; ③ ដោយការកែតម្រូវមុំទំនោររវាងអ័ក្សកង់កិន និងអ័ក្សបន្ទះស៊ីលីកុន រូបរាងផ្ទៃនៃបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងសកម្ម ដើម្បីទទួលបានភាពត្រឹមត្រូវនៃរូបរាងផ្ទៃកាន់តែប្រសើរ។ លើសពីនេះ ផ្ទៃកិន និងមុំកាត់ θ នៃការកិនបង្វិលបន្ទះស៊ីលីកុនក៏មានគុណសម្បត្តិនៃការកិនគែមធំ ការរកឃើញ និងគ្រប់គ្រងកម្រាស់ និងគុណភាពផ្ទៃងាយស្រួល រចនាសម្ព័ន្ធឧបករណ៍តូច ការកិនរួមបញ្ចូលគ្នាច្រើនស្ថានីយ៍ងាយស្រួល និងប្រសិទ្ធភាពកិនខ្ពស់។
ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម និងបំពេញតម្រូវការនៃខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ ឧបករណ៍កិនពាណិជ្ជកម្មដែលផ្អែកលើគោលការណ៍នៃការកិនបង្វិលបន្ទះស៊ីលីកុន ប្រើប្រាស់រចនាសម្ព័ន្ធពហុស្ថានីយពហុស្ពឺ ដែលអាចបំពេញការកិនរដុប និងការកិនល្អិតៗក្នុងការផ្ទុក និងផ្ទុកតែមួយ។ រួមផ្សំជាមួយនឹងគ្រឿងបរិក្ខារជំនួយផ្សេងទៀត វាអាចសម្រេចបាននូវការកិនដោយស្វ័យប្រវត្តិពេញលេញនៃបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយ "ស្ងួតចូល/ស្ងួតចេញ" និង "កាសែតទៅកាសែត"។

ការកិនទ្វេភាគី៖

នៅពេលដែលការកិនបង្វិលបន្ទះស៊ីលីកុនដំណើរការផ្ទៃខាងលើ និងខាងក្រោមនៃបន្ទះស៊ីលីកុន ស្នាដៃត្រូវបង្វែរ ហើយអនុវត្តតាមជំហានៗ ដែលកំណត់ប្រសិទ្ធភាព។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ការកិនបង្វិលបន្ទះស៊ីលីកុនមានកំហុសលើផ្ទៃចម្លង (ចម្លង) និងស្នាមកិន (ស្នាមកិន) ហើយវាមិនអាចទៅរួចទេក្នុងការលុបបំបាត់ពិការភាពដូចជារលក និងការរួមតូចលើផ្ទៃបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយបន្ទាប់ពីកាត់ខ្សែ (កាត់ច្រើនដង) ដូចបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 4។ ដើម្បីជំនះពិការភាពខាងលើ បច្ចេកវិទ្យាកិនទ្វេភាគី (ការកិនទ្វេភាគី) បានលេចឡើងក្នុងទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1990 ហើយគោលការណ៍របស់វាត្រូវបានបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 5។ ដង្កៀបដែលចែកចាយស៊ីមេទ្រីលើភាគីទាំងពីរ ដង្កៀបបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយនៅក្នុងចិញ្ចៀនរក្សា ហើយបង្វិលយឺតៗដោយរំកិល។ កង់កិនពេជ្ររាងពែងមួយគូមានទីតាំងនៅសងខាងនៃបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយ។ ដោយបើកបរដោយអ័ក្សអគ្គិសនីដែលមានខ្យល់ ពួកវាបង្វិលក្នុងទិសដៅផ្ទុយគ្នា ហើយចិញ្ចឹមអ័ក្សដើម្បីសម្រេចបាននូវការកិនទ្វេភាគីនៃបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយ។ ដូចដែលអាចមើលឃើញពីរូបភាព ការកិនទ្វេភាគីអាចលុបបំបាត់ភាពរលក និងការរួមតូចលើផ្ទៃនៃបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយបន្ទាប់ពីកាត់ខ្សែ។ យោងតាមទិសដៅនៃការរៀបចំអ័ក្សកង់កិន ការកិនទ្វេភាគីអាចមានផ្ដេក និងបញ្ឈរ។ ក្នុងចំណោមនោះ ការកិនទ្វេភាគីផ្ដេកអាចកាត់បន្ថយឥទ្ធិពលនៃការខូចទ្រង់ទ្រាយបន្ទះស៊ីលីកុនដែលបណ្តាលមកពីទម្ងន់ស្លាប់នៃបន្ទះស៊ីលីកុនលើគុណភាពកិនបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ហើយវាងាយស្រួលក្នុងការធានាថាលក្ខខណ្ឌដំណើរការកិននៅលើភាគីទាំងសងខាងនៃបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយគឺដូចគ្នា ហើយភាគល្អិតសំណឹក និងបន្ទះសៀគ្វីកិនមិនងាយស្រួលនៅលើផ្ទៃនៃបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយនោះទេ។ វាគឺជាវិធីសាស្ត្រកិនដ៏ល្អ។

រូបភាពទី 4 "កំហុសចម្លង" និងពិការភាពនៃស្នាមពាក់នៅក្នុងការកិនបង្វិលបន្ទះស៊ីលីកុន

រូបភាពទី 5 ដ្យាក្រាមគ្រោងការណ៍នៃគោលការណ៍កិនទ្វេភាគី

តារាងទី 1 បង្ហាញពីការប្រៀបធៀបរវាងការកិន និងការកិនទ្វេភាគីនៃបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយប្រភេទទាំងបីខាងលើ។ ការកិនទ្វេភាគីត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ដំណើរការបន្ទះស៊ីលីកុនក្រោម 200 មីលីម៉ែត្រ និងមានទិន្នផលបន្ទះស៊ីលីកុនខ្ពស់។ ដោយសារតែការប្រើប្រាស់កង់កិនសំណឹកថេរ ការកិនបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយអាចទទួលបានគុណភាពផ្ទៃខ្ពស់ជាងការកិនទ្វេភាគី។ ដូច្នេះ ទាំងការកិនបង្វិលបន្ទះស៊ីលីកុន និងការកិនទ្វេភាគីអាចបំពេញតាមតម្រូវការគុណភាពដំណើរការនៃបន្ទះស៊ីលីកុន 300 មីលីម៉ែត្រសំខាន់ៗ ហើយបច្ចុប្បន្នជាវិធីសាស្រ្តដំណើរការសំប៉ែតសំខាន់បំផុត។ នៅពេលជ្រើសរើសវិធីសាស្រ្តដំណើរការសំប៉ែតបន្ទះស៊ីលីកុន ចាំបាច់ត្រូវពិចារណាឱ្យបានទូលំទូលាយអំពីតម្រូវការនៃទំហំអង្កត់ផ្ចិត គុណភាពផ្ទៃ និងបច្ចេកវិទ្យាដំណើរការបន្ទះស៊ីលីកុនប៉ូលានៃបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយ។ ការស្តើងផ្នែកខាងក្រោយនៃបន្ទះស៊ីលីកុនអាចជ្រើសរើសតែវិធីសាស្រ្តដំណើរការម្ខាងប៉ុណ្ណោះ ដូចជាវិធីសាស្រ្តកិនបង្វិលបន្ទះស៊ីលីកុន។

បន្ថែមពីលើការជ្រើសរើសវិធីសាស្ត្រកិនក្នុងការកិនបន្ទះស៊ីលីកុន វាក៏ចាំបាច់ផងដែរក្នុងការកំណត់ជម្រើសនៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការសមហេតុផលដូចជាសម្ពាធវិជ្ជមាន ទំហំគ្រាប់កង់កិន សារធាតុចងបន្ទះកិន ល្បឿនបន្ទះកិន ល្បឿនបន្ទះស៊ីលីកុន ភាពស្អិតនៃសារធាតុរាវកិន និងអត្រាលំហូរ។ល។ និងកំណត់ផ្លូវដំណើរការសមហេតុផល។ ជាធម្មតា ដំណើរការកិនជាផ្នែកៗ រួមទាំងការកិនរដុប ការកិនពាក់កណ្តាលបញ្ចប់ ការកិនបញ្ចប់ ការកិនដោយគ្មានផ្កាភ្លើង និងការកិនយឺតៗ ត្រូវបានប្រើដើម្បីទទួលបានបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយដែលមានប្រសិទ្ធភាពដំណើរការខ្ពស់ ភាពរាបស្មើនៃផ្ទៃខ្ពស់ និងការខូចខាតផ្ទៃទាប។