ڇو پتلي ڪرڻ جي ضرورت آهي؟

پوئين مرحلي جي عمل جي مرحلي ۾،ويفر (سلڪون ويفر(اڳئين پاسي سرڪٽ سان) کي ڊائسنگ، ويلڊنگ ۽ پيڪنگ کان اڳ پوئتي پاسي پتلي ڪرڻ جي ضرورت آهي ته جيئن پيڪيج جي ماؤنٽنگ جي اوچائي گهٽجي وڃي، چپ پيڪيج جي مقدار گهٽجي وڃي، چپ جي ٿرمل ڊفيوژن ڪارڪردگي، برقي ڪارڪردگي، ميڪيڪل ملڪيتن کي بهتر بڻايو وڃي ۽ ڊائسنگ جي مقدار گهٽجي وڃي. بيڪ گرائنڊنگ ۾ اعليٰ ڪارڪردگي ۽ گهٽ قيمت جا فائدا آهن. ان روايتي ويٽ ايچنگ ۽ آئن ايچنگ جي عملن کي تبديل ڪري ڇڏيو آهي ته جيئن سڀ کان اهم بيڪ ٿننگ ٽيڪنالاجي بڻجي وڃي.

ٿلهو ٿيل ويفر

پتلي ڪيئن ڪجي؟

روايتي پيڪنگنگ جي عمل ۾ ويفر ٿلهي ڪرڻ جو مکيه عمل

جا مخصوص مرحلاويفرٿننگ ڪرڻ لاءِ ويفر کي ٿلهي فلم سان ڳنڍڻو پوندو آهي، ۽ پوءِ ٿلهي فلم ۽ ان تي موجود چپ کي پورس سيرامڪ ويفر ٽيبل سان جذب ڪرڻ لاءِ ويڪيوم استعمال ڪيو ويندو آهي، ڪپ جي شڪل واري هيرن جي پيسڻ واري ويل جي ڪم ڪندڙ مٿاڇري جي اندروني ۽ ٻاهرين گول ٻيڙي جي مرڪز لائنن کي سلڪون ويفر جي مرڪز سان ترتيب ڏنو ويندو آهي، ۽ سلڪون ويفر ۽ گرائنڊنگ ويل ڪٽنگ ان گرائنڊنگ لاءِ پنهنجي لاڳاپيل محور جي چوڌاري گھمندا آهن. پيسڻ ۾ ٽي مرحلا شامل آهن: رف گرائنڊنگ، فائن گرائنڊنگ ۽ پالش ڪرڻ.

ويفر فيڪٽري مان نڪرندڙ ويفر کي پيڪنگ لاءِ گهربل ٿلهي تائين پتلي ڪرڻ لاءِ پوئتي پيس ڪيو ويندو آهي. ويفر کي پيسڻ وقت، سرڪٽ ايريا کي بچائڻ لاءِ اڳيان (فعال علائقو) تي ٽيپ لڳائڻ جي ضرورت آهي، ۽ ساڳئي وقت پوئين پاسي کي گرائونڊ ڪيو ويندو آهي. پيسڻ کان پوءِ، ٽيپ کي هٽايو ۽ ٿلهي کي ماپيو.
سلڪون ويفر جي تياري ۾ ڪاميابي سان لاڳو ڪيل پيسڻ جا عمل شامل آهن روٽري ٽيبل پيسڻ،سلڪون ويفرسنگل ڪرسٽل سلڪون ويفرز جي مٿاڇري جي معيار جي گهرجن ۾ وڌيڪ بهتري سان، نئين گرائنڊنگ ٽيڪنالاجيون مسلسل تجويز ڪيون وينديون آهن، جهڙوڪ TAIKO گرائنڊنگ، ڪيميڪل ميڪيڪل گرائنڊنگ، پالشنگ گرائنڊنگ ۽ پلانٽري ڊسڪ گرائنڊنگ.

روٽري ٽيبل پيسڻ:

روٽري ٽيبل گرائنڊنگ (روٽري ٽيبل گرائنڊنگ) هڪ ابتدائي گرائنڊنگ عمل آهي جيڪو سلڪون ويفر تيار ڪرڻ ۽ پوئتي ٿننگ ۾ استعمال ٿيندو آهي. ان جو اصول شڪل 1 ۾ ڏيکاريو ويو آهي. سلڪون ويفر گھمڻ واري ٽيبل جي سکشن ڪپ تي مقرر ڪيا ويا آهن، ۽ گھمڻ واري ٽيبل ذريعي هم وقت سازي سان گھمندا آهن. سلڪون ويفر پاڻ پنهنجي محور جي چوڌاري نه گھمندا آهن؛ تيز رفتار تي گھمڻ دوران گرائنڊنگ ويل کي محوري طور تي کارايو ويندو آهي، ۽ گرائنڊنگ ويل جو قطر سلڪون ويفر جي قطر کان وڏو هوندو آهي. روٽري ٽيبل گرائنڊنگ جا ٻه قسم آهن: فيس پلنج گرائنڊنگ ۽ فيس ٽينجينٽل گرائنڊنگ. فيس پلنج گرائنڊنگ ۾، گرائنڊنگ ويل جي ويڪر سلڪون ويفر جي قطر کان وڏي هوندي آهي، ۽ گرائنڊنگ ويل اسپنڊل مسلسل پنهنجي محوري طرف سان فيڊ ڪندو آهي جيستائين اضافي پروسيس نه ٿئي، ۽ پوءِ سلڪون ويفر کي روٽري ٽيبل جي ڊرائيو هيٺ گھمايو ويندو آهي؛ فيس ٽينجينٽل گرائنڊنگ ۾، گرائنڊنگ ويل پنهنجي محوري طرف سان فيڊ ڪندو آهي، ۽ سلڪون ويفر مسلسل گھمندڙ ڊسڪ جي ڊرائيو هيٺ گھمايو ويندو آهي، ۽ گرائنڊنگ ريسيپروڪيٽنگ فيڊنگ (ريسيپروڪشن) يا ڪريپ فيڊنگ (ڪريپ فيڊ) ذريعي مڪمل ڪئي ويندي آهي.

شڪل 1، روٽري ٽيبل گرائنڊنگ (فيس ٽينجينٽل) اصول جو اسڪيميٽڪ ڊاگرام

گرائنڊنگ جي طريقي جي مقابلي ۾، روٽري ٽيبل گرائنڊنگ ۾ اعليٰ هٽائڻ جي شرح، ننڍي مٿاڇري کي نقصان، ۽ آسان آٽوميشن جا فائدا آهن. جڏهن ته، گرائنڊنگ جي عمل ۾ اصل گرائنڊنگ ايريا (فعال گرائنڊنگ) B ۽ ڪٽ-ان اينگل θ (گرائنڊنگ ويل جي ٻاهرين دائري ۽ سلڪون ويفر جي ٻاهرين دائري جي وچ ۾ زاويه) گرائنڊنگ ويل جي ڪٽنگ پوزيشن جي تبديلي سان تبديل ٿي ويندا آهن، جنهن جي نتيجي ۾ هڪ غير مستحڪم گرائنڊنگ فورس پيدا ٿيندي آهي، جنهن جي ڪري مثالي سطح جي درستگي (اعليٰ ٽي ٽي وي ويليو) حاصل ڪرڻ ڏکيو ٿي ويندو آهي، ۽ آساني سان ڪنڊ ڪليپس ۽ ڪنڊ ڪليپس جهڙا نقص پيدا ٿيندا آهن. روٽري ٽيبل گرائنڊنگ ٽيڪنالاجي بنيادي طور تي 200 ملي ميٽر کان گهٽ سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفرز جي پروسيسنگ لاءِ استعمال ڪئي ويندي آهي. سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفرز جي سائيز ۾ واڌ سامان جي ورڪ بينچ جي مٿاڇري جي درستگي ۽ حرڪت جي درستگي لاءِ اعليٰ گهرجن کي اڳيان رکيو آهي، تنهن ڪري روٽري ٽيبل گرائنڊنگ 300 ملي ميٽر کان مٿي سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفرز جي پيسڻ لاءِ مناسب ناهي.
پيسڻ جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ لاءِ، ڪمرشل پلين ٽينجينشل پيسڻ جو سامان عام طور تي ملٽي گرائنڊنگ ويل اسٽرڪچر اختيار ڪندو آهي. مثال طور، سامان تي رف گرائنڊنگ ويلز جو هڪ سيٽ ۽ فائن گرائنڊنگ ويلز جو هڪ سيٽ لڳل هوندو آهي، ۽ روٽري ٽيبل هڪ دائري کي گھمائيندو آهي ته جيئن رف گرائنڊنگ ۽ فائن گرائنڊنگ کي مڪمل ڪري سگهجي. هن قسم جي سامان ۾ آمريڪي GTI ڪمپني جو G-500DS شامل آهي (شڪل 2).

شڪل 2، آمريڪا ۾ GTI ڪمپني جو G-500DS روٽري ٽيبل گرائنڊنگ سامان

سلڪون ويفر گردش پيسڻ:

وڏي سائيز جي سلڪون ويفر جي تياري ۽ پوئتي ٿننگ پروسيسنگ جي ضرورتن کي پورو ڪرڻ ۽ سٺي ٽي وي ويليو سان مٿاڇري جي درستگي حاصل ڪرڻ لاءِ. 1988 ۾، جاپاني عالم ماتسوئي سلڪون ويفر گردش گرائنڊنگ (ان-فيڊ گرائنڊنگ) طريقو پيش ڪيو. ان جو اصول شڪل 3 ۾ ڏيکاريو ويو آهي. ورڪ بينچ تي جذب ٿيل سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر ۽ ڪپ جي شڪل وارو هيرا گرائنڊنگ ويل پنهنجي لاڳاپيل محور جي چوڌاري گھمندو آهي، ۽ گرائنڊنگ ويل کي ساڳئي وقت محوري هدايت سان مسلسل فيڊ ڪيو ويندو آهي. انهن مان، گرائنڊنگ ويل جو قطر پروسيس ٿيل سلڪون ويفر جي قطر کان وڏو آهي، ۽ ان جو طواف سلڪون ويفر جي مرڪز مان گذري ٿو. گرائنڊنگ فورس کي گهٽائڻ ۽ گرائنڊنگ گرمي کي گهٽائڻ لاءِ، ويڪيوم سکشن ڪپ کي عام طور تي محدب يا مقعر شڪل ۾ تراشيو ويندو آهي يا گرائنڊنگ ويل اسپنڊل ۽ سکشن ڪپ اسپنڊل محور جي وچ ۾ زاويه کي ترتيب ڏنو ويندو آهي ته جيئن گرائنڊنگ ويل ۽ سلڪون ويفر جي وچ ۾ نيم رابطي جي گرائنڊنگ کي يقيني بڻائي سگهجي.

شڪل 3، سلڪون ويفر روٽري گرائنڊنگ اصول جو اسڪيميٽڪ ڊاگرام

روٽري ٽيبل گرائنڊنگ جي مقابلي ۾، سلڪون ويفر روٽري گرائنڊنگ جا هيٺيان فائدا آهن: ① سنگل ٽائيم سنگل ويفر گرائنڊنگ 300 ملي ميٽر کان وڌيڪ وڏي سائيز جي سلڪون ويفرز کي پروسيس ڪري سگهي ٿي؛ ② اصل گرائنڊنگ ايريا B ۽ ڪٽنگ اينگل θ مستقل آهن، ۽ گرائنڊنگ فورس نسبتاً مستحڪم آهي؛ ③ گرائنڊنگ ويل محور ۽ سلڪون ويفر محور جي وچ ۾ جھڪاءُ واري زاويه کي ترتيب ڏيڻ سان، سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر جي مٿاڇري جي شڪل کي فعال طور تي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو ته جيئن بهتر سطح جي شڪل جي درستگي حاصل ڪري سگهجي. ان کان علاوه، سلڪون ويفر روٽري گرائنڊنگ جي گرائنڊنگ ايريا ۽ ڪٽنگ اينگل θ ۾ وڏي مارجن گرائنڊنگ، آسان آن لائن ٿلهي ۽ مٿاڇري جي معيار جي ڳولا ۽ ڪنٽرول، ڪمپيڪٽ سامان جي جوڙجڪ، آسان ملٽي اسٽيشن انٽيگريٽڊ گرائنڊنگ، ۽ اعلي گرائنڊنگ ڪارڪردگي جا فائدا پڻ آهن.
پيداوار جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ ۽ سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار لائينن جي ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاءِ، سلڪون ويفر روٽري گرائنڊنگ جي اصول تي ٻڌل ڪمرشل گرائنڊنگ سامان هڪ ملٽي اسپنڊل ملٽي اسٽيشن ڍانچي کي اختيار ڪري ٿو، جيڪو هڪ لوڊنگ ۽ ان لوڊنگ ۾ رف گرائنڊنگ ۽ فائن گرائنڊنگ مڪمل ڪري سگهي ٿو. ٻين معاون سهولتن سان گڏ، اهو سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفرز "ڊرائي-ان/ڊرائي-آئوٽ" ۽ "ڪيسٽ کان ڪيسٽ" جي مڪمل طور تي خودڪار گرائنڊنگ کي محسوس ڪري سگهي ٿو.

ٻه طرفي پيسڻ:

جڏهن سلڪون ويفر روٽري گرائنڊنگ سلڪون ويفر جي مٿئين ۽ هيٺين سطحن کي پروسيس ڪري ٿي، ته ورڪ پيس کي الٽڻ ۽ مرحلن ۾ ڪرڻ جي ضرورت آهي، جيڪو ڪارڪردگي کي محدود ڪري ٿو. ساڳئي وقت، سلڪون ويفر روٽري گرائنڊنگ ۾ مٿاڇري جي غلطي ڪاپي ڪرڻ (ڪاپي ٿيل) ۽ گرائنڊنگ مارڪ (گرائنڊنگ مارڪ) آهن، ۽ تار ڪٽڻ (ملٽي آر) کان پوءِ سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي موج ۽ ٽيپر جهڙن نقصن کي مؤثر طريقي سان ختم ڪرڻ ناممڪن آهي، جيئن شڪل 4 ۾ ڏيکاريل آهي. مٿي ڏنل نقصن کي دور ڪرڻ لاءِ، ڊبل سائڊ گرائنڊنگ ٽيڪنالاجي (ڊبل سائڊ گرائنڊنگ) 1990 جي ڏهاڪي ۾ ظاهر ٿي، ۽ ان جو اصول شڪل 5 ۾ ڏيکاريل آهي. ٻنهي پاسن تي هم آهنگي سان ورهايل ڪلمپس سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر کي برقرار رکڻ واري انگوزي ۾ ڪلپ ڪن ٿا ۽ رولر ذريعي هلائي آهستي آهستي گھمندا آهن. ڪپ جي شڪل واري هيرن جي پيسڻ واري ويلز جو هڪ جوڙو سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر جي ٻنهي پاسن تي نسبتاً واقع آهي. ايئر بيئرنگ برقي اسپنڊل ذريعي هلائي، اهي مخالف طرفن ۾ گھمندا آهن ۽ محوري طور تي فيڊ ڪندا آهن ته جيئن سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر جي ڊبل سائڊ گرائنڊنگ حاصل ڪري سگهجي. جيئن شڪل مان ڏسي سگهجي ٿو، ڊبل رخا پيسڻ سان تار ڪٽڻ کان پوءِ سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي موج ۽ ٽيپر کي مؤثر طريقي سان ختم ڪري سگهجي ٿو. گرائنڊنگ ويل محور جي ترتيب جي هدايت جي مطابق، ڊبل رخا پيسڻ افقي ۽ عمودي ٿي سگهي ٿو. انهن مان، افقي ڊبل رخا پيسڻ سلڪون ويفر جي ڊيڊ وزن جي ڪري گرائنڊنگ جي معيار تي سلڪون ويفر جي خرابي جي اثر کي مؤثر طريقي سان گهٽائي سگهي ٿو، ۽ اهو يقيني بڻائڻ آسان آهي ته سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر جي ٻنهي پاسن تي گرائنڊنگ جي عمل جون حالتون ساڳيون آهن، ۽ رگڙيندڙ ذرات ۽ گرائنڊنگ چپس سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر جي مٿاڇري تي رهڻ آسان نه آهن. اهو هڪ نسبتا مثالي پيسڻ جو طريقو آهي.

شڪل 4، سلڪون ويفر روٽيشن گرائنڊنگ ۾ "ڪاپي ۾ غلطي" ۽ وير مارڪ خرابيون

شڪل 5، ٻٽي رخا پيسڻ واري اصول جو اسڪيميٽڪ ڊاگرام

ٽيبل 1 مٿي ڏنل ٽن قسمن جي سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفرز جي گرائنڊنگ ۽ ڊبل رخا گرائنڊنگ جي وچ ۾ مقابلو ڏيکاري ٿو. ڊبل رخا گرائنڊنگ بنيادي طور تي 200 ملي ميٽر کان گهٽ سلڪون ويفر پروسيسنگ لاءِ استعمال ڪئي ويندي آهي، ۽ ان جي ويفر جي پيداوار وڌيڪ هوندي آهي. فڪسڊ ابريسيو گرائنڊنگ ويلز جي استعمال جي ڪري، سنگل رخا سلڪون ويفرز جي گرائنڊنگ ڊبل رخا گرائنڊنگ جي ڀيٽ ۾ تمام گهڻي مٿاڇري جي معيار حاصل ڪري سگهي ٿي. تنهن ڪري، سلڪون ويفر روٽري گرائنڊنگ ۽ ڊبل رخا گرائنڊنگ ٻئي مين اسٽريم 300 ملي ميٽر سلڪون ويفرز جي پروسيسنگ معيار جي گهرجن کي پورو ڪري سگهن ٿا، ۽ هن وقت سڀ کان اهم فليٽنگ پروسيسنگ طريقا آهن. سلڪون ويفر فليٽنگ پروسيسنگ جو طريقو چونڊڻ وقت، سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر جي قطر جي سائيز، مٿاڇري جي معيار، ۽ پالش ڪرڻ واري ويفر پروسيسنگ ٽيڪنالاجي جي گهرجن تي جامع طور تي غور ڪرڻ ضروري آهي. ويفر جي پوئين پتلي ڪرڻ صرف هڪ طرفي پروسيسنگ طريقو چونڊي سگهي ٿو، جهڙوڪ سلڪون ويفر روٽري گرائنڊنگ جو طريقو.

سلڪون ويفر گرائنڊنگ ۾ گرائنڊنگ جو طريقو چونڊڻ کان علاوه، اهو پڻ ضروري آهي ته مناسب عمل جي پيرا ميٽرز جي چونڊ کي طئي ڪيو وڃي جهڙوڪ مثبت دٻاءُ، گرائنڊنگ ويل اناج جو سائز، گرائنڊنگ ويل بائنڊر، گرائنڊنگ ويل اسپيڊ، سلڪون ويفر اسپيڊ، گرائنڊنگ فلوئڊ ويسڪوسيٽي ۽ وهڪري جي شرح، وغيره، ۽ هڪ مناسب عمل جو رستو طئي ڪيو وڃي. عام طور تي، هڪ سيگمينٽ ٿيل گرائنڊنگ عمل جنهن ۾ رف گرائنڊنگ، سيمي فائنشنگ گرائنڊنگ، فنشنگ گرائنڊنگ، اسپارڪ فري گرائنڊنگ ۽ سست بيڪنگ شامل آهن، سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفرز حاصل ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي جنهن ۾ اعليٰ پروسيسنگ ڪارڪردگي، اعليٰ مٿاڇري جي برابري ۽ گهٽ مٿاڇري جي نقصان سان.