നേർത്തതാക്കൽ എന്തിന് ആവശ്യമാണ്?

ബാക്ക്-എൻഡ് പ്രോസസ് ഘട്ടത്തിൽ,വേഫർ (സിലിക്കൺ വേഫർമുൻവശത്ത് സർക്യൂട്ടുകൾ ഉള്ളതിനാൽ) പാക്കേജ് മൗണ്ടിംഗ് ഉയരം കുറയ്ക്കുന്നതിനും, ചിപ്പ് പാക്കേജ് വോളിയം കുറയ്ക്കുന്നതിനും, ചിപ്പിന്റെ താപ വ്യാപന കാര്യക്ഷമത, വൈദ്യുത പ്രകടനം, മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും, ഡൈസിംഗിന്റെ അളവ് കുറയ്ക്കുന്നതിനും, ഡൈസിംഗ്, വെൽഡിംഗ്, പാക്കേജിംഗ് എന്നിവയ്ക്ക് മുമ്പ് പിന്നിൽ നേർത്തതാക്കേണ്ടതുണ്ട്. ബാക്ക് ഗ്രൈൻഡിംഗിന് ഉയർന്ന കാര്യക്ഷമതയും കുറഞ്ഞ ചെലവും പോലുള്ള ഗുണങ്ങളുണ്ട്. പരമ്പരാഗത വെറ്റ് എച്ചിംഗ്, അയോൺ എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയകളെ മാറ്റിസ്ഥാപിച്ച് ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട ബാക്ക് നേർത്തതാക്കൽ സാങ്കേതികവിദ്യയായി ഇത് മാറിയിരിക്കുന്നു.

നേർത്ത വേഫർ

എങ്ങനെ നേർത്തതാക്കാം?

പരമ്പരാഗത പാക്കേജിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ വേഫർ നേർത്തതാക്കലിന്റെ പ്രധാന പ്രക്രിയ

നിർദ്ദിഷ്ട ഘട്ടങ്ങൾവേഫർകനം കുറയ്ക്കൽ എന്നത് പ്രോസസ്സ് ചെയ്യേണ്ട വേഫറിനെ തിൻറിംഗ് ഫിലിമുമായി ബന്ധിപ്പിക്കുക, തുടർന്ന് വാക്വം ഉപയോഗിച്ച് തിൻറിംഗ് ഫിലിമും അതിലെ ചിപ്പും പോറസ് സെറാമിക് വേഫർ ടേബിളിലേക്ക് ആഗിരണം ചെയ്യുക, കപ്പ് ആകൃതിയിലുള്ള ഡയമണ്ട് ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീലിന്റെ പ്രവർത്തന ഉപരിതലത്തിന്റെ അകത്തെയും പുറത്തെയും വൃത്താകൃതിയിലുള്ള ബോട്ട് സെന്റർ ലൈനുകൾ സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ മധ്യഭാഗത്തേക്ക് ക്രമീകരിക്കുക, സിലിക്കൺ വേഫറും ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീലും കട്ടിംഗ്-ഇൻ ഗ്രൈൻഡിംഗിനായി അവയുടെ അച്ചുതണ്ടുകൾക്ക് ചുറ്റും കറങ്ങുക എന്നിവയാണ്. ഗ്രൈൻഡിംഗിൽ മൂന്ന് ഘട്ടങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുന്നു: പരുക്കൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ്, ഫൈൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ്, പോളിഷിംഗ്.

വേഫർ ഫാക്ടറിയിൽ നിന്ന് പുറത്തുവരുന്ന വേഫർ പാക്കേജിംഗിന് ആവശ്യമായ കനത്തിൽ വേഫർ നേർത്തതാക്കാൻ ബാക്ക്-ഗ്രൈൻഡ് ചെയ്യുന്നു. വേഫർ പൊടിക്കുമ്പോൾ, സർക്യൂട്ട് ഏരിയ സംരക്ഷിക്കുന്നതിന് മുൻവശത്ത് (ആക്റ്റീവ് ഏരിയ) ടേപ്പ് പ്രയോഗിക്കേണ്ടതുണ്ട്, പിൻവശം ഒരേ സമയം പൊടിക്കുന്നു. പൊടിച്ചതിന് ശേഷം, ടേപ്പ് നീക്കം ചെയ്ത് കനം അളക്കുക.
സിലിക്കൺ വേഫർ തയ്യാറാക്കലിൽ വിജയകരമായി പ്രയോഗിച്ച ഗ്രൈൻഡിംഗ് പ്രക്രിയകളിൽ റോട്ടറി ടേബിൾ ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഉൾപ്പെടുന്നു,സിലിക്കൺ വേഫർറൊട്ടേഷൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ്, ഡബിൾ-സൈഡഡ് ഗ്രൈൻഡിംഗ് മുതലായവ. സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ ഉപരിതല ഗുണനിലവാര ആവശ്യകതകൾ കൂടുതൽ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനൊപ്പം, TAIKO ഗ്രൈൻഡിംഗ്, കെമിക്കൽ മെക്കാനിക്കൽ ഗ്രൈൻഡിംഗ്, പോളിഷിംഗ് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, പ്ലാനറ്ററി ഡിസ്ക് ഗ്രൈൻഡിംഗ് തുടങ്ങിയ പുതിയ ഗ്രൈൻഡിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകൾ നിരന്തരം നിർദ്ദേശിക്കപ്പെടുന്നു.

റോട്ടറി ടേബിൾ ഗ്രൈൻഡിംഗ്:

റോട്ടറി ടേബിൾ ഗ്രൈൻഡിംഗ് (റോട്ടറി ടേബിൾ ഗ്രൈൻഡിംഗ്) എന്നത് സിലിക്കൺ വേഫർ തയ്യാറാക്കലിലും ബാക്ക് തിനേഷനിലും ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു ആദ്യകാല ഗ്രൈൻഡിംഗ് പ്രക്രിയയാണ്. ഇതിന്റെ തത്വം ചിത്രം 1 ൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നു. സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ കറങ്ങുന്ന മേശയുടെ സക്ഷൻ കപ്പുകളിൽ ഉറപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു, കൂടാതെ കറങ്ങുന്ന മേശയാൽ സിൻക്രണസ് ആയി കറങ്ങുന്നു. സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ അവയുടെ അച്ചുതണ്ടിന് ചുറ്റും കറങ്ങുന്നില്ല; ഉയർന്ന വേഗതയിൽ കറങ്ങുമ്പോൾ ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീൽ അച്ചുതണ്ടായി ഫീഡ് ചെയ്യപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീലിന്റെ വ്യാസം സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ വ്യാസത്തേക്കാൾ വലുതാണ്. രണ്ട് തരം റോട്ടറി ടേബിൾ ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഉണ്ട്: ഫെയ്സ് പ്ലഞ്ച് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, ഫെയ്സ് ടാൻജെൻഷ്യൽ ഗ്രൈൻഡിംഗ്. ഫെയ്സ് പ്ലഞ്ച് ഗ്രൈൻഡിംഗിൽ, ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീൽ വീതി സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ വ്യാസത്തേക്കാൾ വലുതാണ്, കൂടാതെ അധികഭാഗം പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നതുവരെ ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീൽ സ്പിൻഡിൽ അതിന്റെ അച്ചുതണ്ട് ദിശയിൽ തുടർച്ചയായി ഫീഡ് ചെയ്യുന്നു, തുടർന്ന് സിലിക്കൺ വേഫർ റോട്ടറി ടേബിളിന്റെ ഡ്രൈവിന് കീഴിൽ തിരിക്കുന്നു; ഫെയ്സ് ടാൻജെൻഷ്യൽ ഗ്രൈൻഡിംഗിൽ, ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീൽ അതിന്റെ അച്ചുതണ്ട് ദിശയിൽ ഫീഡ് ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ സിലിക്കൺ വേഫർ കറങ്ങുന്ന ഡിസ്കിന്റെ ഡ്രൈവിന് കീഴിൽ തുടർച്ചയായി തിരിക്കുന്നു, കൂടാതെ റെസിപ്രോക്കേറ്റിംഗ് ഫീഡിംഗ് (റെസിപ്രോക്കേഷൻ) അല്ലെങ്കിൽ ക്രീപ്പ് ഫീഡിംഗ് (ക്രീപ്പ്ഫീഡ്) വഴി ഗ്രൈൻഡിംഗ് പൂർത്തിയാക്കുന്നു.

ചിത്രം 1, റോട്ടറി ടേബിൾ ഗ്രൈൻഡിംഗ് (ഫേസ് ടാൻജൻഷ്യൽ) തത്വത്തിന്റെ സ്കീമാറ്റിക് ഡയഗ്രം

ഗ്രൈൻഡിംഗ് രീതിയുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, റോട്ടറി ടേബിൾ ഗ്രൈൻഡിംഗിന് ഉയർന്ന നീക്കം ചെയ്യൽ നിരക്ക്, ചെറിയ ഉപരിതല കേടുപാടുകൾ, എളുപ്പത്തിലുള്ള ഓട്ടോമേഷൻ എന്നിവയുടെ ഗുണങ്ങളുണ്ട്. എന്നിരുന്നാലും, ഗ്രൈൻഡിംഗ് പ്രക്രിയയിലെ യഥാർത്ഥ ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഏരിയ (ആക്റ്റീവ് ഗ്രൈൻഡിംഗ്) B യും കട്ട്-ഇൻ ആംഗിൾ θ (ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീലിന്റെ പുറം വൃത്തത്തിനും സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ പുറം വൃത്തത്തിനും ഇടയിലുള്ള കോൺ) ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീലിന്റെ കട്ടിംഗ് സ്ഥാനം മാറുന്നതിനനുസരിച്ച് മാറുന്നു, ഇത് അസ്ഥിരമായ ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഫോഴ്‌സിന് കാരണമാകുന്നു, ഇത് അനുയോജ്യമായ ഉപരിതല കൃത്യത (ഉയർന്ന TTV മൂല്യം) നേടുന്നത് ബുദ്ധിമുട്ടാക്കുന്നു, കൂടാതെ എഡ്ജ് കൊഴിച്ചിൽ, എഡ്ജ് കൊഴിച്ചിൽ തുടങ്ങിയ വൈകല്യങ്ങൾക്ക് എളുപ്പത്തിൽ കാരണമാകുന്നു. 200 മില്ലീമീറ്ററിൽ താഴെയുള്ള സിംഗിൾ-ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ പ്രോസസ്സിംഗിനാണ് റോട്ടറി ടേബിൾ ഗ്രൈൻഡിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നത്. സിംഗിൾ-ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ വലുപ്പത്തിലുള്ള വർദ്ധനവ് ഉപകരണ വർക്ക്ബെഞ്ചിന്റെ ഉപരിതല കൃത്യതയ്ക്കും ചലന കൃത്യതയ്ക്കും ഉയർന്ന ആവശ്യകതകൾ മുന്നോട്ടുവച്ചിട്ടുണ്ട്, അതിനാൽ 300 മില്ലീമീറ്ററിൽ കൂടുതലുള്ള സിംഗിൾ-ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ ഗ്രൈൻഡിംഗിന് റോട്ടറി ടേബിൾ ഗ്രൈൻഡിംഗ് അനുയോജ്യമല്ല.
ഗ്രൈൻഡിംഗ് കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനായി, വാണിജ്യ തലം ടാൻജെൻഷ്യൽ ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ സാധാരണയായി ഒരു മൾട്ടി-ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീൽ ഘടന സ്വീകരിക്കുന്നു. ഉദാഹരണത്തിന്, ഉപകരണങ്ങളിൽ ഒരു കൂട്ടം പരുക്കൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീലുകളും ഒരു കൂട്ടം സൂക്ഷ്മ ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീലുകളും സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു, കൂടാതെ റോട്ടറി ടേബിൾ ഒരു സർക്കിൾ കറക്കി പരുക്കൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ് പൂർത്തിയാക്കുകയും ക്രമത്തിൽ സൂക്ഷ്മ ഗ്രൈൻഡിംഗ് നടത്തുകയും ചെയ്യുന്നു. ഈ തരത്തിലുള്ള ഉപകരണങ്ങളിൽ അമേരിക്കൻ GTI കമ്പനിയുടെ G-500DS ഉൾപ്പെടുന്നു (ചിത്രം 2).

ചിത്രം 2, യുണൈറ്റഡ് സ്റ്റേറ്റ്സിലെ GTI കമ്പനിയുടെ G-500DS റോട്ടറി ടേബിൾ ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ

സിലിക്കൺ വേഫർ റൊട്ടേഷൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ്:

വലിയ വലിപ്പത്തിലുള്ള സിലിക്കൺ വേഫർ തയ്യാറാക്കലിന്റെയും ബാക്ക് തിനിംഗ് പ്രോസസ്സിംഗിന്റെയും ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനും നല്ല ടിടിവി മൂല്യത്തോടെ ഉപരിതല കൃത്യത നേടുന്നതിനും. 1988-ൽ, ജാപ്പനീസ് പണ്ഡിതനായ മാറ്റ്സുയി ഒരു സിലിക്കൺ വേഫർ റൊട്ടേഷൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ് (ഇൻ-ഫീഡ്ഗ്രൈൻഡിംഗ്) രീതി നിർദ്ദേശിച്ചു. അതിന്റെ തത്വം ചിത്രം 3-ൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നു. വർക്ക് ബെഞ്ചിൽ ആഗിരണം ചെയ്ത സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറും കപ്പ് ആകൃതിയിലുള്ള ഡയമണ്ട് ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീലും അവയുടെ അച്ചുതണ്ടുകൾക്ക് ചുറ്റും കറങ്ങുന്നു, കൂടാതെ ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീൽ ഒരേ സമയം അക്ഷീയ ദിശയിൽ തുടർച്ചയായി ഫീഡ് ചെയ്യുന്നു. അവയിൽ, ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീലിന്റെ വ്യാസം പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ വ്യാസത്തേക്കാൾ വലുതാണ്, കൂടാതെ അതിന്റെ ചുറ്റളവ് സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ മധ്യത്തിലൂടെ കടന്നുപോകുന്നു. ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഫോഴ്‌സ് കുറയ്ക്കുന്നതിനും ഗ്രൈൻഡിംഗ് ചൂട് കുറയ്ക്കുന്നതിനും, വാക്വം സക്ഷൻ കപ്പ് സാധാരണയായി ഒരു കോൺവെക്സ് അല്ലെങ്കിൽ കോൺകേവ് ആകൃതിയിലേക്ക് ട്രിം ചെയ്യുന്നു അല്ലെങ്കിൽ ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീലിനും സിലിക്കൺ വേഫറിനും ഇടയിൽ സെമി-കോൺടാക്റ്റ് ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഉറപ്പാക്കാൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീൽ സ്പിൻഡിലിനും സക്ഷൻ കപ്പ് സ്പിൻഡിൽ അച്ചുതണ്ടിനും ഇടയിലുള്ള കോൺ ക്രമീകരിക്കുന്നു.

ചിത്രം 3, സിലിക്കൺ വേഫർ റോട്ടറി ഗ്രൈൻഡിംഗ് തത്വത്തിന്റെ സ്കീമാറ്റിക് ഡയഗ്രം

റോട്ടറി ടേബിൾ ഗ്രൈൻഡിംഗുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, സിലിക്കൺ വേഫർ റോട്ടറി ഗ്രൈൻഡിംഗിന് ഇനിപ്പറയുന്ന ഗുണങ്ങളുണ്ട്: ① സിംഗിൾ-ടൈം സിംഗിൾ-വേഫർ ഗ്രൈൻഡിംഗിന് 300 മില്ലീമീറ്ററിൽ കൂടുതൽ വലിയ വലിപ്പമുള്ള സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ കഴിയും; ② യഥാർത്ഥ ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഏരിയ B യും കട്ടിംഗ് ആംഗിളും θ സ്ഥിരമാണ്, കൂടാതെ ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഫോഴ്‌സ് താരതമ്യേന സ്ഥിരതയുള്ളതുമാണ്; ③ ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീൽ അച്ചുതണ്ടിനും സിലിക്കൺ വേഫർ അച്ചുതണ്ടിനും ഇടയിലുള്ള ചെരിവ് ആംഗിൾ ക്രമീകരിക്കുന്നതിലൂടെ, മികച്ച ഉപരിതല ആകൃതി കൃത്യത ലഭിക്കുന്നതിന് സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ഉപരിതല ആകൃതി സജീവമായി നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയും. കൂടാതെ, സിലിക്കൺ വേഫർ റോട്ടറി ഗ്രൈൻഡിംഗിന്റെ ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഏരിയയ്ക്കും കട്ടിംഗ് ആംഗിൾ θ നും വലിയ മാർജിൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ്, എളുപ്പമുള്ള ഓൺലൈൻ കനം, ഉപരിതല ഗുണനിലവാര കണ്ടെത്തലും നിയന്ത്രണവും, ഒതുക്കമുള്ള ഉപകരണ ഘടന, എളുപ്പമുള്ള മൾട്ടി-സ്റ്റേഷൻ ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, ഉയർന്ന ഗ്രൈൻഡിംഗ് കാര്യക്ഷമത എന്നിവയുടെ ഗുണങ്ങളുമുണ്ട്.
ഉൽപ്പാദനക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും സെമികണ്ടക്ടർ പ്രൊഡക്ഷൻ ലൈനുകളുടെ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനുമായി, സിലിക്കൺ വേഫർ റോട്ടറി ഗ്രൈൻഡിംഗ് തത്വത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള വാണിജ്യ ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ ഒരു മൾട്ടി-സ്പിൻഡിൽ മൾട്ടി-സ്റ്റേഷൻ ഘടന സ്വീകരിക്കുന്നു, ഇത് ഒരു ലോഡിംഗ്, അൺലോഡിംഗ് എന്നിവയിൽ പരുക്കൻ ഗ്രൈൻഡിംഗും മികച്ച ഗ്രൈൻഡിംഗും പൂർത്തിയാക്കാൻ കഴിയും. മറ്റ് സഹായ സൗകര്യങ്ങളുമായി സംയോജിപ്പിച്ച്, സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ "ഡ്രൈ-ഇൻ/ഡ്രൈ-ഔട്ട്", "കാസറ്റ് ടു കാസറ്റ്" എന്നിവയുടെ പൂർണ്ണമായ ഓട്ടോമാറ്റിക് ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഇതിന് സാക്ഷാത്കരിക്കാനാകും.

ഇരട്ട-വശങ്ങളുള്ള അരക്കൽ:

സിലിക്കൺ വേഫർ റോട്ടറി ഗ്രൈൻഡിംഗ് സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ മുകളിലും താഴെയുമുള്ള പ്രതലങ്ങളിൽ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുമ്പോൾ, വർക്ക്പീസ് മറിച്ചിട്ട് ഘട്ടങ്ങളായി നടത്തേണ്ടതുണ്ട്, ഇത് കാര്യക്ഷമതയെ പരിമിതപ്പെടുത്തുന്നു. അതേ സമയം, സിലിക്കൺ വേഫർ റോട്ടറി ഗ്രൈൻഡിംഗിന് ഉപരിതല പിശക് പകർത്തൽ (പകർത്തൽ), ഗ്രൈൻഡിംഗ് മാർക്കുകൾ (ഗ്രൈൻഡിംഗ്മാർക്ക്) ഉണ്ട്, കൂടാതെ ചിത്രം 4-ൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നതുപോലെ, വയർ കട്ടിംഗിന് ശേഷം (മൾട്ടി-സോ) സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ഉപരിതലത്തിലെ തരംഗദൈർഘ്യം, ടേപ്പർ തുടങ്ങിയ വൈകല്യങ്ങൾ ഫലപ്രദമായി നീക്കംചെയ്യുന്നത് അസാധ്യമാണ്. മുകളിൽ പറഞ്ഞ വൈകല്യങ്ങൾ മറികടക്കാൻ, 1990-കളിൽ ഇരട്ട-വശങ്ങളുള്ള ഗ്രൈൻഡിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ (ഡബിൾസൈഡ് ഗ്രൈൻഡിംഗ്) പ്രത്യക്ഷപ്പെട്ടു, അതിന്റെ തത്വം ചിത്രം 5-ൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നു. ഇരുവശത്തും സമമിതിയായി വിതരണം ചെയ്ത ക്ലാമ്പുകൾ റിറ്റൈനിംഗ് റിംഗിൽ സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറിനെ മുറുകെ പിടിക്കുകയും റോളർ ഓടിച്ചുകൊണ്ട് പതുക്കെ കറങ്ങുകയും ചെയ്യുന്നു. സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ഇരുവശത്തും ഒരു ജോടി കപ്പ് ആകൃതിയിലുള്ള ഡയമണ്ട് ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീലുകൾ താരതമ്യേന സ്ഥിതിചെയ്യുന്നു. എയർ ബെയറിംഗ് ഇലക്ട്രിക് സ്പിൻഡിൽ ഉപയോഗിച്ച് നയിക്കപ്പെടുന്ന ഇവ എതിർ ദിശകളിലേക്ക് കറങ്ങുകയും സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ഇരട്ട-വശങ്ങളുള്ള ഗ്രൈൻഡിംഗ് നേടുന്നതിന് അച്ചുതണ്ടിൽ ഫീഡ് ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു. ചിത്രത്തിൽ നിന്ന് കാണാൻ കഴിയുന്നതുപോലെ, വയർ മുറിച്ചതിന് ശേഷം സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ഉപരിതലത്തിലെ തരംഗദൈർഘ്യവും ടേപ്പറും ഫലപ്രദമായി നീക്കം ചെയ്യാൻ ഇരട്ട-വശങ്ങളുള്ള ഗ്രൈൻഡിംഗ് സഹായിക്കും. ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീൽ അച്ചുതണ്ടിന്റെ ക്രമീകരണ ദിശ അനുസരിച്ച്, ഇരട്ട-വശങ്ങളുള്ള ഗ്രൈൻഡിംഗ് തിരശ്ചീനമായും ലംബമായും ആകാം. അവയിൽ, തിരശ്ചീന ഇരട്ട-വശങ്ങളുള്ള ഗ്രൈൻഡിംഗ് സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ഡെഡ് വെയ്റ്റ് മൂലമുണ്ടാകുന്ന സിലിക്കൺ വേഫർ രൂപഭേദം ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഗുണനിലവാരത്തിൽ ഫലപ്രദമായി കുറയ്ക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ഇരുവശത്തുമുള്ള ഗ്രൈൻഡിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ അവസ്ഥകൾ ഒരുപോലെയാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ എളുപ്പമാണ്, കൂടാതെ ഉരച്ചിലുകളുള്ള കണികകളും ഗ്രൈൻഡിംഗ് ചിപ്പുകളും സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ തുടരാൻ എളുപ്പമല്ല. ഇത് താരതമ്യേന അനുയോജ്യമായ ഒരു ഗ്രൈൻഡിംഗ് രീതിയാണ്.

ചിത്രം 4, സിലിക്കൺ വേഫർ റൊട്ടേഷൻ ഗ്രൈൻഡിംഗിലെ "പിശക് പകർത്തൽ", വെയർ മാർക്ക് വൈകല്യങ്ങൾ

ചിത്രം 5, ഇരട്ട-വശങ്ങളുള്ള ഗ്രൈൻഡിംഗ് തത്വത്തിന്റെ സ്കീമാറ്റിക് ഡയഗ്രം

മുകളിൽ പറഞ്ഞ മൂന്ന് തരം സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ ഗ്രൈൻഡിംഗും ഡബിൾ-സൈഡഡ് ഗ്രൈൻഡിംഗും തമ്മിലുള്ള താരതമ്യം പട്ടിക 1 കാണിക്കുന്നു. 200 മില്ലീമീറ്ററിൽ താഴെയുള്ള സിലിക്കൺ വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിനാണ് ഡബിൾ-സൈഡഡ് ഗ്രൈൻഡിംഗ് പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നത്, കൂടാതെ ഉയർന്ന വേഫർ യീൽഡും ഉണ്ട്. ഫിക്സഡ് അബ്രാസീവ് ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീലുകളുടെ ഉപയോഗം കാരണം, സിംഗിൾ-ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഇരട്ട-സൈഡഡ് ഗ്രൈൻഡിംഗിനെ അപേക്ഷിച്ച് വളരെ ഉയർന്ന ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം നേടാൻ കഴിയും. അതിനാൽ, സിലിക്കൺ വേഫർ റോട്ടറി ഗ്രൈൻഡിംഗും ഇരട്ട-സൈഡഡ് ഗ്രൈൻഡിംഗും മുഖ്യധാരാ 300 എംഎം സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ പ്രോസസ്സിംഗ് ഗുണനിലവാര ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റാൻ കഴിയും, കൂടാതെ നിലവിൽ ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട ഫ്ലാറ്റനിംഗ് പ്രോസസ്സിംഗ് രീതികളുമാണ്. ഒരു സിലിക്കൺ വേഫർ ഫ്ലാറ്റനിംഗ് പ്രോസസ്സിംഗ് രീതി തിരഞ്ഞെടുക്കുമ്പോൾ, സിംഗിൾ-ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ വ്യാസം വലുപ്പം, ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം, പോളിഷിംഗ് വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ എന്നിവയുടെ ആവശ്യകതകൾ സമഗ്രമായി പരിഗണിക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്. വേഫറിന്റെ പിൻഭാഗം നേർത്തതാക്കുന്നതിന് സിലിക്കൺ വേഫർ റോട്ടറി ഗ്രൈൻഡിംഗ് രീതി പോലുള്ള ഒരു സിംഗിൾ-സൈഡഡ് പ്രോസസ്സിംഗ് രീതി മാത്രമേ തിരഞ്ഞെടുക്കാൻ കഴിയൂ.

സിലിക്കൺ വേഫർ ഗ്രൈൻഡിംഗിൽ ഗ്രൈൻഡിംഗ് രീതി തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നതിനു പുറമേ, പോസിറ്റീവ് പ്രഷർ, ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീൽ ഗ്രെയിൻ സൈസ്, ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീൽ ബൈൻഡർ, ഗ്രൈൻഡിംഗ് വീൽ സ്പീഡ്, സിലിക്കൺ വേഫർ സ്പീഡ്, ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് വിസ്കോസിറ്റി, ഫ്ലോ റേറ്റ് തുടങ്ങിയ ന്യായമായ പ്രോസസ് പാരാമീറ്ററുകളുടെ തിരഞ്ഞെടുപ്പും നിർണ്ണയിക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്, കൂടാതെ ന്യായമായ ഒരു പ്രോസസ് റൂട്ട് നിർണ്ണയിക്കുകയും വേണം. സാധാരണയായി, ഉയർന്ന പ്രോസസ്സിംഗ് കാര്യക്ഷമത, ഉയർന്ന ഉപരിതല പരന്നത, കുറഞ്ഞ ഉപരിതല കേടുപാടുകൾ എന്നിവയുള്ള സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ ലഭിക്കുന്നതിന് റഫ് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, സെമി-ഫിനിഷിംഗ് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, ഫിനിഷിംഗ് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, സ്പാർക്ക്-ഫ്രീ ഗ്രൈൻഡിംഗ്, സ്ലോ ബാക്കിംഗ് എന്നിവയുൾപ്പെടെയുള്ള ഒരു സെഗ്മെന്റഡ് ഗ്രൈൻഡിംഗ് പ്രക്രിയ ഉപയോഗിക്കുന്നു.