Kí ló dé tí a fi nílò kí a dínkù?

Nínú ìpele iṣẹ́ ìgbẹ̀yìn-ẹ̀yìn,wafer (wafer silikonipẹ̀lú àwọn iyika ní iwájú) ó yẹ kí a tẹ̀ẹ́rẹ́ sí ẹ̀yìn kí a tó fi digi, alurinmorin àti ìdìpọ̀ sílẹ̀ lẹ́yìn náà láti dín gíga ìfìdíkalẹ̀ àpótí náà kù, dín ìwọ̀n ìdìpọ̀ ërún kù, mú kí iṣẹ́ ìtanná ooru ti ërún náà sunwọ̀n síi, iṣẹ́ iná mànàmáná, àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ sunwọ̀n síi àti dín iye dicing kù. Lilọ ẹ̀yìn ní àwọn àǹfààní ti iṣẹ́ ṣiṣe gíga àti owó tí ó rẹlẹ̀. Ó ti rọ́pò àwọn ilana ìfiwéra omi àti ion etching àṣà láti di ìmọ̀-ẹ̀rọ ìfiwéra ẹ̀yìn tí ó ṣe pàtàkì jùlọ.

Wafer tí a ti lọ̀ tín-ín-rín

Báwo ni a ṣe lè tàn?

Ilana akọkọ ti tinrin wafer ninu ilana iṣakojọpọ ibile

Awọn igbesẹ kan pato tiwaferFífún ni láti so wáfà tí a ó fi ṣe iṣẹ́ náà mọ́ fíìmù tí ó fẹ́ẹ́rẹ́, lẹ́yìn náà, lo èéfín láti fi fíìmù tí ó fẹ́ẹ́rẹ́ náà àti ërún tí ó wà lórí rẹ̀ mọ́ tábìlì wáfà oníhò tí ó ní ihò, láti ṣàtúnṣe àwọn ìlà àárín ọkọ̀ ojú omi oníyípo inú àti òde ti ojú iṣẹ́ ti kẹ̀kẹ́ fífẹ́ dáyámọ́ńdì onígun mẹ́ta sí àárín wáfà sílíkọ́nì, àti wáfà sílíkọ́nì àti kẹ̀kẹ́ fífẹ́ náà yípo àwọn àáké wọn fún fífẹ́ gígé. Fífún ní àwọn ìpele mẹ́ta: fífẹ́ gígé, fífẹ́ gígé dáradára àti fífẹ́ gígé.

A máa ń lọ̀ wáfà tí ó ń jáde láti ilé iṣẹ́ wáfà láti fi tẹ́ wáfà náà sí ìwọ̀n tí a nílò fún ìdìpọ̀. Nígbà tí a bá ń lọ̀ wáfà náà, a gbọ́dọ̀ fi táàpù sí iwájú (Agbègbè Active) láti dáàbò bo agbègbè àyíká náà, a sì máa ń lọ̀ ẹ̀gbẹ́ ẹ̀yìn náà ní àkókò kan náà. Lẹ́yìn lílọ, yọ táàpù náà kúrò kí o sì wọn ìwọ̀n náà.
Àwọn ilana lilọ tí a ti lò ní àṣeyọrí sí ìpèsè wafer silicon pẹ̀lú ìlọ tábìlì yiyi,wafer silikonililọ yiyi, lilọ apa meji, ati bẹẹ bẹẹ lọ. Pẹlu ilọsiwaju siwaju ti awọn ibeere didara dada ti awọn wafers silikoni kristali kanṣoṣo, awọn imọ-ẹrọ lilọ tuntun ni a n dabaa nigbagbogbo, gẹgẹbi lilọ TAIKO, lilọ ẹrọ kemikali, lilọ didan ati lilọ disiki aye.

Rírọ tábìlì lílọ:

Ìlọ tábìlì Rotary (lílọ tábìlì Rotary) jẹ́ ìlànà ìlọ ní ìbẹ̀rẹ̀ tí a ń lò nínú ìpèsè wafer silicon àti títẹ̀ sí ẹ̀yìn. Ìlànà rẹ̀ hàn nínú Àwòrán 1. Àwọn wafer silicon ni a so mọ́ àwọn ago ìfàmọ́ra tábìlì tí ń yípo, wọ́n sì ń yípo pẹ̀lú ìṣiṣẹ́ tí tábìlì tí ń yípo ń darí. Àwọn wafer silicon fúnra wọn kò yípo yípo axis wọn; a ń fún kẹ̀kẹ́ ìlọ ní axis nígbà tí ó ń yípo ní iyàrá gíga, àti iwọ̀n ìlà kẹ̀kẹ́ ìlọ tóbi ju iwọ̀n ila opin wafer silicon lọ. Oríṣi ìlọ tábìlì Rotary méjì ló wà: fífọ ojú plunge àti fífọ ojú tangential. Nínú fífọ ojú plunge, ìbú kẹ̀kẹ́ ìlọ tóbi ju iwọ̀n ila opin wafer silicon lọ, àti pé spindle kẹ̀kẹ́ ìlọ náà ń jẹ ní ìlòsí axis títí tí a ó fi ṣe àtúnṣe àfikún náà, lẹ́yìn náà a ó yí wafer silicon náà lábẹ́ ìwakọ̀ tábìlì rotary; nínú fífọ ojú tangential, kẹ̀kẹ́ ìlọ náà ń jẹ ní ìtọ́sọ́nà axis rẹ̀, a sì ń yí wafer silicon náà ní ìlòsí axis lábẹ́ ìwakọ̀ tábìlì tí ń yípo náà, a sì ń parí fífọ ojú nípa fífọ ojú (ìyípadà) tàbí fífọ ojú (ẹ̀kún ojú).

Àwòrán 1, àwòrán onípele ti ìlọsí tábìlì rotary (ojú tangential) ìlànà

Ní ìfiwéra pẹ̀lú ọ̀nà ìlọ, ìlọ tábìlì oníyípo ní àwọn àǹfààní ti ìwọ̀n yíyọ gíga, ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ kékeré, àti ìṣiṣẹ́ aládàáṣe tí ó rọrùn. Síbẹ̀síbẹ̀, agbègbè ìlọ gidi (ìlọ tí ń ṣiṣẹ́) B àti igun tí a gé-in θ (igun láàárín àyíká òde ti kẹ̀kẹ́ ìlọ àti àyíká òde ti wafer silicon) nínú ilana ìlọ yí padà pẹ̀lú ìyípadà ipò ìlọ tí kẹ̀kẹ́ ìlọ, èyí tí ó yọrí sí agbára ìlọ tí kò dúró ṣinṣin, tí ó mú kí ó ṣòro láti gba ìṣedéédé ojú ilẹ̀ tí ó dára jùlọ (iye TTV gíga), àti èyí tí ó rọrùn láti fa àwọn àbùkù bíi ìlujá etí àti ìlujá etí. Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìlọ tábìlì oníyípo ni a lò fún ṣíṣe àwọn wafer silicon oníyípo tí ó wà ní ìsàlẹ̀ 200mm. Ìbísí nínú ìwọ̀n àwọn wafer silicon oníyípo kan ti fi àwọn ìbéèrè gíga síwájú fún ìṣedéédé ojú ilẹ̀ àti ìṣedéédé ìṣípo ti ibi iṣẹ́ ohun èlò, nítorí náà ìlọ tábìlì oníyípo kò yẹ fún ìlọ àwọn wafer silicon oníyípo kan tí ó ju 300mm lọ.
Láti mú kí iṣẹ́ lílọ pọ̀ sí i, àwọn ẹ̀rọ ìlọ tí ó ní ìpele gíga máa ń lo ẹ̀rọ ìlọ tí ó ní ìpele púpọ̀. Fún àpẹẹrẹ, àwọn kẹ̀kẹ́ ìlọ tí ó ní ìpele gíga àti àwọn kẹ̀kẹ́ ìlọ tí ó ní ìpele gíga ni a fi sínú ẹ̀rọ náà, tábìlì ìyípo náà sì máa ń yí yípo kan láti parí iṣẹ́ lílọ tí ó ní ìpele gíga àti iṣẹ́ lílọ tí ó ní ìpele gíga. Irú ẹ̀rọ yìí ní G-500DS ti Ilé-iṣẹ́ GTI ti Amẹ́ríkà (Àwòrán 2).

Àwòrán 2, ohun èlò ìlọ tábìlì G-500DS ti GTI Company ní Orílẹ̀-èdè Amẹ́ríkà

Lilọ iyipo wafer silikoni:

Láti lè bá àìní ìpèsè wafer silicon ńlá àti ìṣiṣẹ́ títẹ̀ ẹ̀yìn mu, àti láti rí i pé ojú ilẹ̀ péye pẹ̀lú iye TTV tó dára. Ní ọdún 1988, ọ̀mọ̀wé ará Japan, Matsui, dábàá ọ̀nà ìyípo wafer silicon (in-feedgrinding). Ìlànà rẹ̀ hàn nínú Àwòrán 3. Wafer silicon kristal kan ṣoṣo àti kẹ̀kẹ́ ìyípo diamond onígun mẹ́ta tí a gbé sórí ibi iṣẹ́ ń yípo àwọn àáké wọn, a sì máa ń fi kẹ̀kẹ́ ìyípo bọ́ ọ ní ìtọ́sọ́nà axial nígbà gbogbo. Láàárín wọn, ìwọ̀n ìlà kẹ̀kẹ́ ìyípo tóbi ju ìwọ̀n ila opin wafer silicon tí a ti ṣe iṣẹ́ lọ, àyíká rẹ̀ sì ń kọjá láàárín wafer silicon. Láti dín agbára ìyípo kù àti láti dín ooru ìyípo kù, a sábà máa ń gé ago ìyípo náà sí ìrísí convex tàbí concave tàbí kí a ṣe àtúnṣe igun láàrín spindle kẹ̀kẹ́ ìyípo àti axis spindle suction láti rí i dájú pé ìyípo àárín kẹ̀kẹ́ ìyípo àti wafer silicon.

Àwòrán 3, Àwòrán onípele ti ìlànà ìlọ kiri onírin wafer silikoni

Ní ìfiwéra pẹ̀lú lílọ tábìlì oníyípo, lílọ oníyípo oníyípo oníyípo ní àwọn àǹfààní wọ̀nyí: ① lílọ oníyípo oníyípo onígbà kan ṣoṣo lè ṣe àgbékalẹ̀ àwọn wáfárì oníyípo oníwọ̀n ńlá lórí 300mm; ② Agbègbè ìlọ B àti igun ìge θ dúró ṣinṣin, agbára ìlọ náà sì dúró ṣinṣin; ③ Nípa ṣíṣe àtúnṣe igun ìtẹ̀sí láàrín ààyè kẹ̀kẹ́ ìlọ àti ààyè wafárì oníyípo oníyípo, a lè ṣàkóso ìrísí ojú ti wáfárì oníyípo oníyípo oníyípo oníyípo láti gba ìṣedéédé ìrísí ojú tí ó dára jù. Ní àfikún, agbègbè ìlọ àti igun ìge θ ti yíyọ oníyípo oníyípo oníyípo oníyípo oníyípo oníyípo oníyípo tún ní àwọn àǹfààní ti yíyọ oníyípo oníyípo lórí ayélujára àti wíwá àti ìṣàkóso dídára ojú, ìṣètò ohun èlò oníwọ̀n, ìlọ onípele-pupọ tí ó rọrùn, àti ṣíṣe iṣẹ́ lílọ gíga.
Láti mú kí iṣẹ́ ṣíṣe pọ̀ sí i àti láti bá àìní àwọn ìlà iṣẹ́ semiconductor mu, ẹ̀rọ ìlọ tí a ń lò lórí ìlànà silicon wafer rotary grinding gba ìṣètò multi-spindle multi-station structure, èyí tí ó lè parí ìlọ tí ó le koko àti ìlọ tí ó le koko ní ìgbékalẹ̀ àti ìtújáde kan. Pẹ̀lú àwọn ohun èlò ìrànlọ́wọ́ mìíràn, ó lè ṣe ìlọ tí ó le koko pátápátá ti àwọn wafer silicon crystal crystal "dry-in/dry-out" àti "cassette to cassette".

Lilọ apa meji:

Nígbà tí ìlọ tí a fi silicon wafer ṣe ń ṣiṣẹ́ lórí àwọn ojú òkè àti ìsàlẹ̀ ti silicon wafer, ó yẹ kí a yí iṣẹ́ náà padà kí a sì ṣe é ní àwọn ìgbésẹ̀, èyí tí ó dín agbára iṣẹ́ náà kù. Ní àkókò kan náà, ìlọ tí a fi silicon wafer rotary grinding ní àṣìṣe ojú (tí a daakọ) àti àmì ìlọ (àmì ìlọ), kò sì ṣeé ṣe láti mú àwọn àbùkù bíi wíwú àti yíyọ lórí ojú ti silicon wafer crystal crystal lẹ́yìn gígé wáyà (multi-saw), gẹ́gẹ́ bí a ṣe fihàn nínú Àwòrán 4. Láti borí àwọn àbùkù tí a mẹ́nu kàn lókè yìí, ìmọ̀ ẹ̀rọ ìlọ ẹ̀gbẹ́ méjì (doublesidegrinding) fara hàn ní àwọn ọdún 1990, ìlànà rẹ̀ sì hàn nínú Àwòrán 5. Àwọn ìdè tí a pín káàkiri ní ẹ̀gbẹ́ méjèèjì di wafer silicon crystal crystal kan náà mú nínú òrùka ìdúró, wọ́n sì ń yípo díẹ̀díẹ̀ nípasẹ̀ roller. Àwọn kẹ̀kẹ́ ìlọ dáyámọ́ńdì onígun méjì wà ní ẹ̀gbẹ́ méjèèjì ti wafer silicon crystal kan náà. Nígbà tí afẹ́fẹ́ ń darí wọn, wọ́n ń yípo ní àwọn ọ̀nà òdìkejì wọ́n sì ń jẹun ní axial láti ṣe àṣeyọrí ìlọ ẹ̀gbẹ́ méjì ti wafer silicon crystal kan náà. Gẹ́gẹ́ bí a ṣe lè rí i láti inú àwòrán náà, lílọ ẹ̀gbẹ́ méjì lè mú kí ìfàsẹ́yìn àti ìfàsẹ́yìn kúrò lórí ojú wafer silikoni kan ṣoṣo lẹ́yìn gígé wáyà. Gẹ́gẹ́ bí ìtọ́sọ́nà ìṣètò ti axis gílọ ẹ̀gbẹ́ méjì lè jẹ́ petele àti inaro. Láàrín wọn, lílọ ẹ̀gbẹ́ méjì petele lè dín ipa ìyípadà wafer silikoni tí ìwọ̀n wafer silikoni tí ó kú ń fà lórí dídára lílọ kù dáadáa, ó sì rọrùn láti rí i dájú pé àwọn ipò iṣẹ́ lílọ ní ẹ̀gbẹ́ méjèèjì ti wafer silikoni kan ṣoṣo bára mu, àti pé àwọn èròjà ìfọ́ àti àwọn ègé lílọ kò rọrùn láti dúró lórí ojú wafer silikoni kan ṣoṣo. Ó jẹ́ ọ̀nà lílọ tí ó dára jùlọ.

Àwòrán 4, "Àṣìṣe àdàkọ" àti àbùkù àmì ìfọwọ́sí nínú ìyípo wafer silikoni

Àwòrán 5, àwòrán onípele ti ìlànà ìlọsíwájú ẹ̀gbẹ́ méjì

Táblì 1 fi àfiwéra láàrín ìlọ àti ìlọ ẹ̀gbẹ́ méjì ti àwọn oríṣi wáfáà silicon onígun mẹ́ta tí a mẹ́nu kàn lókè yìí hàn. Ìlọ ẹ̀gbẹ́ méjì ni a sábà máa ń lò fún ṣíṣe wafer silicon ní ìsàlẹ̀ 200mm, ó sì ní èso wafer gíga. Nítorí lílo àwọn kẹ̀kẹ́ ìlọ abrasive tí a ti fi sí ipò àkọ́kọ́, ìlọ àwọn wafer silicon onígun kan lè gba dídára ojú ilẹ̀ tí ó ga ju ti ìlọ ẹ̀gbẹ́ méjì lọ. Nítorí náà, ìlọ ẹ̀gbẹ́ méjì ti silicon wafer àti ìlọ ẹ̀gbẹ́ méjì lè bá àwọn ìbéèrè dídára ìṣiṣẹ́ ti àwọn wafer silicon onígun 300mm mu, wọ́n sì jẹ́ àwọn ọ̀nà ṣíṣe flating tí ó ṣe pàtàkì jùlọ lọ́wọ́lọ́wọ́. Nígbà tí o bá ń yan ọ̀nà ṣíṣe flating wafer silicon, ó ṣe pàtàkì láti ronú nípa àwọn ohun tí a béèrè fún ìwọ̀n ìlà, dídára ojú ilẹ̀, àti ìmọ̀ ẹ̀rọ ṣíṣe wafer onígun mẹ́ta ti wafer silicon onígun kan. Fífẹ́ ẹ̀yìn wafer náà lè yan ọ̀nà ṣíṣe ẹ̀gbẹ́ kan ṣoṣo, bíi ọ̀nà mímú wafer silicon onígun mẹ́ta.

Ní àfikún sí yíyan ọ̀nà ìlọ nínú ìlọ wafer silicon, ó tún ṣe pàtàkì láti pinnu yíyan àwọn ìlànà iṣẹ́ tó bójú mu bíi titẹ rere, ìwọ̀n ọkà kẹ̀kẹ́ ìlọ, ìdè kẹ̀kẹ́ ìlọ, iyára kẹ̀kẹ́ ìlọ, iyára omi silicon, ìfọ́ omi àti ìwọ̀n ìṣàn, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, kí a sì pinnu ipa ọ̀nà iṣẹ́ tó bójú mu. Lọ́pọ̀ ìgbà, ìlànà ìlọ tí a pín sí méjì pẹ̀lú ìlọ tí ó le koko, ìlọ tí a fi parí, ìlọ tí a fi parí, ìlọ tí kò ní spark àti ìfàsẹ́yìn díẹ̀ ni a ń lò láti gba àwọn ìlọ wafer silicon kristal kan pẹ̀lú iṣẹ́ ṣíṣe gíga, ìrọ̀rùn ojú ilẹ̀ gíga àti ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ tí kò pọ̀.