Aiseā e manaʻomia ai le faʻaitiitia o le mamafa?

I le laasaga o le faagasologa i tua, o lefalaoa manifinifi (apa silicon(fa'atasi ai ma matagaluega i luma) e mana'omia ona fa'amama le pito i tua a'o le'i faia ni tipi, fa'avevela ma afifiina ina ia fa'aitiitia ai le maualuga o le fa'apipi'iina o le afifi, fa'aitiitia le tele o le afifi o le chip, fa'aleleia atili le lelei o le fa'asalalauina o le vevela o le chip, fa'atinoga eletise, meatotino fa'ainisinia ma fa'aitiitia le tele o tipi. O le oloina i tua e iai ona lelei o le maualuga o le lelei ma le tau maualalo. Ua suia ai le faiga masani o le etching susu ma le etching ion e avea ma tekinolosi sili ona taua o le fa'amama o tua.

O le apa manifinifi

E fa'apefea ona manifinifi?

O le faiga autū o le fa'amamago o le apa manifinifi i le faiga masani o afifiina

O laasaga patino o lefalaoa manifinifiO le fa'amamago e fa'apipi'i ai le wafer e fa'agasolo i le ata manifinifi, ona fa'aaoga lea o le vacuum e mitiia ai le ata manifinifi ma le fasi i luga i le laulau wafer seramika porous, fetu'una'i le ogatotonu o le va'a lapotopoto i totonu ma fafo o le fogā'ele'ele galue o le uili olo taimane e foliga i le ipu i le ogatotonu o le wafer silicon, ona fa'ata'amilo lea o le wafer silicon ma le uili olo i o latou itu ta'itasi mo le tipiina o le oloina. O le oloina e aofia ai vaega e tolu: oloina fa'alatalata, oloina lelei ma fa'apulusina.

O le wafer e sau mai le fale gaosi wafer e toe oloina i tua e fa'amama ai le wafer i le mafiafia e mana'omia mo le afifiina. A oloina le wafer, e mana'omia ona fa'apipi'i le lipine i luma (Active Area) e puipui ai le eria o le matagaluega, ma oloina fo'i le itu i tua i le taimi e tasi. A uma ona oloina, aveese le lipine ma fua le mafiafia.
O faiga olo ua faʻaaogaina ma le manuia i le sauniuniga o le silicon wafer e aofia ai le oloina o le laulau vili,apa siliconolo fa'ata'amilomilo, olo itu-lua, ma isi. Faatasi ai ma le fa'aleleia atili o mana'oga o le lelei o luga o wafers silicon tioata e tasi, o lo'o fa'atulaina pea tekinolosi olo fou, e pei o le olo TAIKO, olo fa'akemikolo, olo fa'apulusaina ma le olo tisiketi paneta.

O le oloina o le laulau vili:

O le oloina o le laulau vili (oloina o le laulau vili) o se faiga olo vave e faʻaaogaina i le sauniuniga o le silicon wafer ma le toe faʻaitiitia o le mamafa. O lona mataupu faavae o loʻo faʻaalia i le Ata 1. O le silicon wafers e faʻapipiʻi i luga o ipu suction o le laulau vili, ma faʻataʻamilomilo faʻatasi e le laulau vili. O le silicon wafers lava latou e le faʻataʻamilomilo i o latou axis; o le uili olo e fafagaina i le axial aʻo faʻataʻamilomilo i le saoasaoa maualuga, ma o le lautele o le uili olo e sili atu nai lo le lautele o le silicon wafer. E lua ituaiga o le oloina o le laulau vili: o le oloina o le mata ma le oloina o le mata. I le oloina o le mata, o le lautele o le uili olo e sili atu nai lo le lautele o le silicon wafer, ma o le uili olo e fafaga pea i lona itu axial seʻia oʻo ina faʻagasolo le tele, ona faʻataʻamilomilo lea o le silicon wafer i lalo o le taʻavale o le laulau vili; i le oloina o le mata, o le uili olo e fafaga i lona itu axial, ma o le silicon wafer e faʻataʻamilomilo pea i lalo o le taʻavale o le tisiketi vili, ma o le olo e faʻamaeʻaina i le fafaga faʻasolosolo (faʻafeiloaʻi) poʻo le fafaga totolo (creepfeed).

Ata 1, ata fa'ata'ita'i o le mataupu faavae o le oloina o le laulau vili (mata o le fa'aaliga)

Pe a faʻatusatusa i le metotia olo, o le oloina o le laulau vili e iai ona lelei o le vave aveʻesea, laʻititi le faʻaleagaina o le luga, ma faigofie ona otometi. Peitaʻi, o le eria olo moni (olo malosi) B ma le tulimanu tipi θ (le tulimanu i le va o le liʻo i fafo o le uili olo ma le liʻo i fafo o le silicon wafer) i le faagasologa o le oloina e suia i le suiga o le tulaga tipi o le uili olo, ma iʻu ai i se malosi olo e le mautu, ma faigata ai ona maua le saʻo lelei o le luga (maualuga le taua TTV), ma faigofie ona mafua ai ni faʻaletonu e pei o le paʻu o pito ma le paʻu o pito. O le tekinolosi oloina o le laulau vili e faʻaaogaina tele mo le faʻagasologaina o le tasi-crystal silicon wafers i lalo ifo o le 200mm. O le faʻateleina o le tele o le tasi-crystal silicon wafers ua faʻalauteleina ai manaʻoga mo le saʻo o le luga ma le saʻo o le gaioiga o le laulau faigaluega, o lea la o le oloina o le laulau vili e le talafeagai mo le oloina o le tasi-crystal silicon wafers i luga atu o le 300mm.
Ina ia faʻaleleia atili le lelei o le oloina, o masini olo faʻapisinisi e masani ona faʻaaogaina se fausaga o uili e tele-oloina. Mo se faʻataʻitaʻiga, o loʻo faʻapipiʻiina se seti o uili olo ma se seti o uili olo lelei i luga o le masini, ma e faʻataʻamilomilo le laulau vili i le tasi liʻo e faʻamaeʻa ai le oloina ma le olo lelei. O lenei ituaiga masini e aofia ai le G-500DS a le American GTI Company (Ata 2).

Ata 2, Meafaigaluega olo laulau vili G-500DS a le Kamupani GTI i le Iunaite Setete

O le oloina o le silicone wafer:

Ina ia faʻafetaui manaʻoga o le sauniuniga o le tele o le silicon wafer ma le faʻagasologa o le toe faʻamamago, ma maua ai le saʻo o le luga ma le lelei o le TTV. I le 1988, na fautuaina ai e le tagata atamai Iapani o Matsui se metotia o le oloina o le silicon wafer (in-feedgrinding). O lona mataupu faavae o loʻo faʻaalia i le Ata 3. O le tasi le tioata silicon wafer ma le uili olo taimane foliga-ipu o loʻo pipii i luga o le laulau faigaluega e feliuliuaʻi solo i o latou itu taʻitasi, ma o le uili olo e fafaga pea i le itu axial i le taimi e tasi. I totonu o ia mea, o le lautele o le uili olo e sili atu le lautele nai lo le lautele o le silicon wafer ua uma ona faʻagasolo, ma o lona liʻo e ui atu i le ogatotonu o le silicon wafer. Ina ia faʻaitiitia le malosi o le olo ma faʻaitiitia le vevela o le olo, o le ipu suction vacuum e masani ona teuteuina i se foliga convex poʻo le concave pe fetuʻunaʻi le tulimanu i le va o le uili olo ma le au o le ipu suction e faʻamautinoa ai le oloina semi-contact i le va o le uili olo ma le silicon wafer.

Ata 3, Ata fa'ata'ita'i o le mataupu faavae o le oloina fa'ata'amilomilo o le silicon wafer

Pe a faatusatusa i le oloina o le laulau vili, o le oloina o le silicon wafer vili e iai ona lelei nei: ① E mafai e le oloina o le wafer e tasi ona fa'agasolo ni wafer silicon tetele e silia ma le 300mm; ② E tumau le vaega olo moni B ma le tulimanu tipi θ, ma e mautu le malosi o le oloina; ③ I le fetu'una'iina o le tulimanu fa'asaga i le va o le axis o le uili olo ma le axis o le silicon wafer, e mafai ona pulea lelei le foliga o le luga o le wafer silicon tioata e tasi ina ia maua ai le sa'o lelei o foliga o le luga. E le gata i lea, o le vaega olo ma le tulimanu tipi θ o le oloina o le wafer vili silicon e iai fo'i ona lelei o le oloina o le pito tele, faigofie ona iloa ma pulea le mafiafia ma le lelei o le luga, fa'apipi'i le fausaga o meafaigaluega, faigofie ona oloina le tele o nofoaga, ma maualuga le lelei o le oloina.
Ina ia faʻaleleia atili le lelei o le gaosiga ma faʻafetaui manaʻoga o laina gaosiga semiconductor, o masini olo faʻapisinisi e faʻavae i luga o le mataupu faavae o le oloina faʻataʻamilomilo o le silicon wafer e faʻaaogaina se fausaga e tele-spindle multi-station, lea e mafai ona faʻamaeʻa le oloina ma le oloina lelei i le tasi le uta ma le laʻuina. Faʻatasi ai ma isi mea faʻaopoopo, e mafai ona faʻatinoina le oloina otometi atoatoa o le tasi tioata silicon wafers "mago-i totonu/mago-i fafo" ma le "cassette to cassette".

O le oloina i itu e lua:

A fa'agasolo e le olo fa'ata'amilomilo o le silicon wafer le pito i luga ma lalo o le silicon wafer, e mana'omia ona liliu le mea faigaluega ma faia i ni la'asaga, lea e fa'atapula'aina ai le lelei. I le taimi lava e tasi, o le olo fa'ata'amilomilo o le silicon wafer e iai le kopiina o mea sese i luga (kopiina) ma fa'ailoga olo (grindingmark), ma e le mafai ona aveese lelei mea sese e pei o le gaugau ma le ma'a'a i luga o le pito i luga o le silicon wafer tioata e tasi pe a uma ona tipiina le uaea (multi-saw), e pei ona fa'aalia i le Ata 4. Ina ia fo'ia mea sese o lo'o i luga, na alia'e mai ai le tekinolosi olo fa'alua-itu (doublesidegrinding) i le vaitau o le 1990, ma o lona fa'avae o lo'o fa'aalia i le Ata 5. O fa'amau e tufatufa tutusa i itu uma e lua e fa'amau ai le silicon wafer tioata e tasi i le mama taofi ma fa'ata'amilomilo malie e fa'ata'avaleina e le vili. O se pea uili olo taimane foliga ipu e tu i itu uma e lua o le silicon wafer tioata e tasi. E fa'ata'avaleina e le spindle eletise e feavea'i ai le ea, latou te fa'ata'amilomilo i itu fa'afeagai ma fafaga i le itu e ausia ai le olo fa'alua-itu o le silicon wafer tioata e tasi. E pei ona vaaia i le ata, o le oloina itu lua e mafai ona aveese lelei ai le gatete ma le manifinifi i luga o le uaea silicon wafer e tasi le tioata pe a uma ona tipiina uaea. E tusa ai ma le itu faatulagaina o le au o le uili olo, e mafai ona faalava ma faalava le oloina itu lua. O nisi o ia mea, o le oloina itu lua faalava e mafai ona faaitiitia lelei ai le aafiaga o le faaleagaina o le silicon wafer e mafua mai i le mamafa oti o le silicon wafer i le lelei o le oloina, ma e faigofie ona faamautinoa o tulaga o le oloina i itu uma e lua o le tasi le tioata silicon wafer e tutusa, ma e le faigofie ona tumau vaega omea ma fasi oloina i luga o le tasi le tioata silicon wafer. O se auala oloina lelei tele.

Ata 4, "Kopi sese" ma faʻailoga o le ofuina o mea sese i le oloina o le silicon wafer rotation

Ata 5, ata fa'ata'ita'i o le mataupu faavae o le oloina o itu e lua

O loʻo faʻaalia i le Laulau 1 le faʻatusatusaga i le va o le oloina ma le oloina itu-lua o ituaiga e tolu o le silicon wafers tioata e tasi o loʻo i luga. O le oloina itu-lua e faʻaaogaina tele mo le faʻagasologaina o le silicon wafer i lalo ifo o le 200mm, ma e maualuga le fua o le wafer. Ona o le faʻaaogaina o uili oloina faʻamau, o le oloina o le silicon wafers tioata e tasi e mafai ona maua ai se tulaga maualuga atu nai lo le oloina itu-lua. O le mea lea, o le oloina faʻataʻamilomilo o le silicon wafer ma le oloina itu-lua e mafai ona ausia manaʻoga lelei o le faʻagasologaina o le 300mm silicon wafers masani, ma o loʻo avea nei ma auala sili ona taua o le faʻagasologaina o le faʻapaleina. A filifilia se auala faʻapaleina o le silicon wafer, e tatau ona mafaufau lelei i manaʻoga o le tele o le lautele, lelei o le luga, ma le tekinolosi faʻapulusina o le silicon wafer tioata e tasi. O le faʻaitiitia o le mamafa o le wafer e naʻo le filifilia o se auala faʻagasologa e tasi le itu, e pei o le auala oloina faʻataʻamilomilo o le silicon wafer.

I le fa’aopoopoga i le filifilia o le metotia olo i le oloina o le silicon wafer, e tatau fo’i ona fuafua le filifilia o fa’asologa talafeagai o le fa’agasologa e pei o le mamafa lelei, le tele o le fatu o le uili olo, le fusi o le uili olo, le saoasaoa o le uili olo, le saoasaoa o le silicon wafer, le viscosity o le vai olo ma le saoasaoa o le tafe, ma isi mea, ma fuafua se auala talafeagai o le fa’agasologa. E masani lava, o se fa’agasologa o le oloina fa’avasega e aofia ai le oloina fa’alatalata, le oloina fa’auma fa’ava’e, le oloina fa’auma, le oloina e aunoa ma se aloiafi ma le fa’agesegese o le fa’asolo e fa’aaogaina e maua ai ni wafer silicon tioata e tasi e maualuga le lelei o le fa’agasologa, maualuga le lamolemole o le luga ma maualalo le fa’aleagaina o le luga.