ማቅለጥ ለምን ያስፈልጋል?

በጀርባ ሂደት ደረጃ፣ዋፈር (የሲሊኮን ዋፈርበፊት በኩል ወረዳዎች ያሉት) የጥቅሉን የመጫኛ ቁመት ለመቀነስ፣ የቺፕ ፓኬጅ መጠንን ለመቀነስ፣ የቺፕን የሙቀት ስርጭት ውጤታማነት፣ የኤሌክትሪክ አፈጻጸም፣ የሜካኒካል ባህሪያትን ለማሻሻል እና የዳይንግ መጠንን ለመቀነስ ከመቁረጥ፣ ከመበጣጠስ እና ከማሸግ በፊት በጀርባው ላይ ቀጭን መሆን አለበት። የኋላ መፍጨት ከፍተኛ ብቃት እና ዝቅተኛ ዋጋ ጥቅሞች አሉት። ባህላዊውን እርጥብ ኢቺንግ እና አዮን ኢቺንግ ሂደቶችን በመተካት በጣም አስፈላጊው የኋላ ማቅጠኛ ቴክኖሎጂ ሆኗል።

የተቀጠቀጠው ዋፈር

እንዴት ቀጭን ማድረግ ይቻላል?

በባህላዊ የማሸጊያ ሂደት ውስጥ የዋፈር ማቅለጥ ዋና ሂደት

የተወሰኑ እርምጃዎች፡-ዋፈርማቅጠኛው የሚቀነባበረውን ዋፈር ከቀጭኑ ፊልም ጋር ለማያያዝ ነው፣ ከዚያም የቀጭኑ ፊልሙን እና በላዩ ላይ ያለውን ቺፕ ከቀዳዳው የሴራሚክ ዋፈር ጠረጴዛ ጋር ለማዋሃድ ቫክዩም በመጠቀም፣ የጽዋ ቅርጽ ያለው የአልማዝ መፍጫ ጎማ የስራ ወለል ውስጣዊ እና ውጫዊ ክብ የጀልባ መሃል መስመሮችን ከሲሊኮን ዋፈር መሃል ጋር ያስተካክሉ፣ እና የሲሊኮን ዋፈር እና የመፍጨት ጎማ ለመቁረጥ በየራሳቸው ዘንጎች ዙሪያ ይሽከረከራሉ። መፍጨት ሶስት ደረጃዎችን ያካትታል፡ ሻካራ መፍጨት፣ ጥሩ መፍጨት እና ማጥራት።

ከዋፈር ፋብሪካ የሚወጣው ዋፈር ለማሸጊያው የሚያስፈልገውን ውፍረት ለማሳጠር ወደ ኋላ የተፈጨ ነው። ዋፈርን ሲፈጭ፣ የወረዳውን ቦታ ለመጠበቅ ቴፕ በፊት ለፊት (አክቲቭ አካባቢ) ላይ መተግበር አለበት፣ እና የኋላው ጎን በተመሳሳይ ጊዜ ይፈጫል። ከተፈጨ በኋላ ቴፑን ያስወግዱ እና ውፍረቱን ይለኩ።
በሲሊኮን ዋፈር ዝግጅት ላይ በተሳካ ሁኔታ የተተገበሩት የመፍጨት ሂደቶች የሚሽከረከሩ የጠረጴዛ መፍጨትን ያካትታሉ፣የሲሊኮን ዋፈርየማሽከርከር መፍጨት፣ ባለ ሁለት ጎን መፍጨት፣ ወዘተ። የነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ዋፈርዎች የገጽታ ጥራት መስፈርቶችን የበለጠ በማሻሻል፣ አዳዲስ የመፍጨት ቴክኖሎጂዎች እንደ TAIKO መፍጨት፣ የኬሚካል ሜካኒካል መፍጨት፣ የማጥራት መፍጨት እና የፕላኔቶች ዲስክ መፍጨት ያሉ ዘወትር ይቀርባሉ።

የሮታሪ ጠረጴዛ መፍጨት:

የሮታሪ ጠረጴዛ መፍጨት (የሮታሪ ጠረጴዛ መፍጨት) በሲሊኮን ዋፈር ዝግጅት እና የኋላ ማቅጠኛ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውል ቀደምት የመፍጨት ሂደት ነው። መርሆው በስእል 1 ላይ ይታያል። የሲሊኮን ዋፈር በሚሽከረከረው ጠረጴዛው የመምጠጥ ኩባያዎች ላይ የተስተካከሉ ሲሆኑ በሚሽከረከረው ጠረጴዛ በተመሳሳይ ጊዜ ይሽከረከራሉ። የሲሊኮን ዋፈርዎች እራሳቸው በዘንግ ዙሪያ አይሽከረከሩም፤ የመፍጨት መንኮራኩሩ በከፍተኛ ፍጥነት ሲሽከረከር በአክሲያል ይመገባል፣ እና የመፍጨት መንኮራኩሩ ዲያሜትር ከሲሊኮን ዋፈር ዲያሜትር የበለጠ ነው። ሁለት አይነት የሮታሪ ጠረጴዛ መፍጨት አሉ፡ የፊት መዝለል መፍጨት እና የፊት መዝለል መፍጨት። ፊት መዝለል መፍጨት፣ የመፍጨት መንኮራኩሩ ስፋት ከሲሊኮን ዋፈር ዲያሜትር የበለጠ ነው፣ እና የመፍጨት መንኮራኩሩ ስፒል ከመጠን በላይ እስኪሰራ ድረስ በአክሲያል አቅጣጫው ያለማቋረጥ ይመገባል፣ ከዚያም የሲሊኮን ዋፈር በሚሽከረከረው ጠረጴዛ ድራይቭ ስር ይሽከረከራል፤ ፊት መዘጋት መፍጨት፣ የመፍጨት መንኮራኩሩ በአክሲያል አቅጣጫው ይመገባል፣ እና የሲሊኮን ዋፈር በሚሽከረከረው ዲስክ ድራይቭ ስር ያለማቋረጥ ይሽከረከራል፣ እና መፍጨት የሚከናወነው በተገላቢጦሽ መመገብ (በተደጋጋሚ) ወይም በተዘበራረቀ ምግብ (በመዝረፍ) ነው።

ምስል 1፣ የ rotary table grilling (የፊት ታንጀንሻል) መርህ ንድፍ ንድፍ

ከመፍጨት ዘዴ ጋር ሲነጻጸር፣ የሚሽከረከር የጠረጴዛ መፍጨት ከፍተኛ የማስወገጃ ፍጥነት፣ አነስተኛ የወለል ጉዳት እና ቀላል አውቶሜሽን ጥቅሞች አሉት። ሆኖም፣ ትክክለኛው የመፍጨት ቦታ (ንቁ መፍጨት) B እና የመቁረጥ አንግል θ (በመፍጨት ጎማ ውጫዊ ክብ እና በሲሊኮን ዋፈር ውጫዊ ክብ መካከል ያለው አንግል) በመፍጨት ሂደት ውስጥ የሚቀያየረው የመፍጨት መንኮራኩሩ የመቁረጥ ቦታ ሲቀየር ሲሆን ይህም ያልተረጋጋ የመፍጨት ኃይል ያስከትላል፣ ይህም ተስማሚውን የገጽታ ትክክለኛነት (ከፍተኛ የTTV እሴት) ለማግኘት አስቸጋሪ ያደርገዋል፣ እና እንደ የጠርዝ መሰባበር እና የጠርዝ መሰባበር ያሉ ጉድለቶችን በቀላሉ ያስከትላል። የሚሽከረከር የጠረጴዛ መፍጨት ቴክኖሎጂ በዋናነት ከ200 ሚሜ በታች ለሆኑ ነጠላ-ክሪስታል የሲሊኮን ዋፈርዎች ለማቀነባበር ያገለግላል። የነጠላ-ክሪስታል የሲሊኮን ዋፈርዎች መጠን መጨመር የመሳሪያውን የስራ ወንበር የገጽታ ትክክለኛነት እና የእንቅስቃሴ ትክክለኛነት ከፍ ያሉ መስፈርቶችን አስገኝቷል፣ ስለዚህ የሚሽከረከር የጠረጴዛ መፍጨት ከ300 ሚሜ በላይ ለሆኑ ነጠላ-ክሪስታል የሲሊኮን ዋፈርዎች መፍጨት ተስማሚ አይደለም።
የመፍጨት ቅልጥፍናን ለማሻሻል፣ የንግድ ፕላን ታንጀንሻል መፍጨት መሳሪያዎች ብዙውን ጊዜ ባለብዙ-መፍጨት ጎማ መዋቅርን ይጠቀማሉ። ለምሳሌ፣ ሻካራ የመፍጨት ጎማዎች ስብስብ እና ጥሩ የመፍጨት ጎማዎች በመሳሪያዎቹ ላይ የተገጠሙ ሲሆን የሚሽከረከረው ጠረጴዛ ደግሞ ሻካራ መፍጨትን እና ጥሩ መፍጨትን በተራ ለማጠናቀቅ አንድ ክበብ ያሽከረክራል። ይህ ዓይነቱ መሳሪያ የአሜሪካን GTI ኩባንያ G-500DS (ምስል 2) ያካትታል።

ምስል 2፣ በዩናይትድ ስቴትስ የጂቲአይ ኩባንያ የጂ-500DS ሮታሪ የጠረጴዛ መፍጨት መሳሪያዎች

የሲሊኮን ዋፈር ማሽከርከር መፍጨት:

የትልቅ መጠን ያለው የሲሊኮን ዋፈር ዝግጅት እና የኋላ ማቅጠኛ ማቀነባበሪያ ፍላጎቶችን ለማሟላት እና ጥሩ የTTV እሴት ያለው የገጽታ ትክክለኛነት ለማግኘት። እ.ኤ.አ. በ1988፣ የጃፓን ምሁር ማትሱይ የሲሊኮን ዋፈር ማዞሪያ መፍጨት (በምግብ መፍጨት) ዘዴ ሀሳብ አቅርበዋል። መርሆው በስእል 3 ላይ ይታያል። በስራ ወንበር ላይ የተሸከመው ነጠላ ክሪስታል ሲሊኮን ዋፈር እና ኩባያ ቅርጽ ያለው የአልማዝ መፍጨት ጎማ በየራሳቸው ዘንጎች ዙሪያ ይሽከረከራሉ፣ እና የመፍጨት መንኮራኩሩ በተመሳሳይ ጊዜ በአክሲያል አቅጣጫ ያለማቋረጥ ይመገባል። ከእነዚህም መካከል የመፍጨት መንኮራኩሩ ዲያሜትር ከተቀነባበረው የሲሊኮን ዋፈር ዲያሜትር የበለጠ ነው፣ እና ክብሩ በሲሊኮን ዋፈር መሃል ያልፋል። የመፍጨት ኃይልን ለመቀነስ እና የመፍጨት ሙቀትን ለመቀነስ፣ የቫክዩም መምጠጥ ኩባያ ብዙውን ጊዜ ወደ ኮንቬክስ ወይም ሾጣጣ ቅርጽ ይቀየራል ወይም በመፍጨት መንኮራኩሩ እና በመምጠጥ ኩባያ ስፒንድል ዘንግ መካከል ያለው አንግል በመፍጨት መንኮራኩሩ እና በሲሊኮን ዋፈር መካከል ከፊል ግንኙነት መፍጨትን ለማረጋገጥ ይስተካከላል።

ምስል 3፣ የሲሊኮን ዋፈር ሮታሪ መፍጨት መርህ ንድፍ ንድፍ

ከ rotary table grilling ጋር ሲነጻጸር፣ የሲሊኮን ዋፈር ሮታሪ መፍጨት የሚከተሉት ጥቅሞች አሉት፡ ① የአንድ ጊዜ ነጠላ-ዋፈር መፍጨት ትላልቅ መጠን ያላቸውን የሲሊኮን ዋፈርዎችን ከ300 ሚሜ በላይ ማቀነባበር ይችላል፤ ② ትክክለኛው የመፍጨት ቦታ B እና የመቁረጫ አንግል θ ቋሚ ናቸው፣ እና የመፍጨት ኃይል በአንጻራዊነት የተረጋጋ ነው፤ ③ በመፍጨት ጎማ ዘንግ እና በሲሊኮን ዋፈር ዘንግ መካከል ያለውን የመዘንበል አንግል በማስተካከል፣ የነጠላ ክሪስታል ሲሊኮን ዋፈር የገጽታ ቅርፅ የተሻለ የገጽታ ቅርፅ ትክክለኛነትን ለማግኘት በንቃት ሊቆጣጠር ይችላል። በተጨማሪም፣ የሲሊኮን ዋፈር ሮታሪ መፍጨት የመፍጨት ቦታ እና የመቁረጫ አንግል θ እንዲሁም ትልቅ ማርጅ መፍጨት፣ ቀላል የመስመር ላይ ውፍረት እና የገጽታ ጥራት መለየት እና ቁጥጥር፣ የታመቀ የመሳሪያ መዋቅር፣ ቀላል ባለብዙ ጣቢያ የተቀናጀ መፍጨት እና ከፍተኛ የመፍጨት ውጤታማነት ጥቅሞች አሉት።
የምርት ቅልጥፍናን ለማሻሻል እና የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መስመሮችን ፍላጎቶች ለማሟላት፣ በሲሊኮን ዋፈር ሮታሪ መፍጨት መርህ ላይ የተመሰረቱ የንግድ መፍጨት መሳሪያዎች ባለብዙ-ስፒንድል ባለብዙ ጣቢያ መዋቅርን ይጠቀማሉ፣ ይህም በአንድ ጭነት እና በማራገፍ ውስጥ ሻካራ መፍጨት እና በጥሩ መፍጨትን ሊያጠናቅቅ ይችላል። ከሌሎች ረዳት ተቋማት ጋር በመተባበር፣ ነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ዋፈርዎችን "ደረቅ-ውስጥ/ደረቅ-ውጭ" እና "ካሴት ወደ ካሴት" ሙሉ በሙሉ በራስ-ሰር መፍጨትን ማከናወን ይችላል።

ባለ ሁለት ጎን መፍጨት;

የሲሊኮን ዋፈር ሮታሪ መፍጨት የሲሊኮን ዋፈር የላይኛውን እና የታችኛውን ገጽታዎች ሲያስኬድ፣ የስራው ክፍል መዞር እና በደረጃ መከናወን አለበት፣ ይህም ቅልጥፍናን ይገድባል። በተመሳሳይ ጊዜ፣ የሲሊኮን ዋፈር ሮታሪ መፍጨት የገጽታ ስህተት መቅዳት (የተገለበጠ) እና የመፍጨት ምልክቶች (የመፍጨት ምልክት) አለው፣ እና በምስል 4 ላይ እንደሚታየው በሽቦ መቁረጥ (ባለብዙ መጋዝ) በኋላ በነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ዋፈር ወለል ላይ እንደ ሞቪኒቲ እና ታፐር ያሉ ጉድለቶችን በብቃት ማስወገድ አይቻልም። ከላይ ያሉትን ጉድለቶች ለማሸነፍ፣ ባለ ሁለት ጎን መፍጨት ቴክኖሎጂ (ድርብ ጎን መፍጨት) በ1990ዎቹ ታየ፣ እና መርህ በስእል 5 ላይ ይታያል። በሁለቱም በኩል በሲሜትሪ መልኩ የተከፋፈሉት ክላምፕስ ነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ዋፈርን በማቆያ ቀለበት ውስጥ ያያይዙ እና በሮለር ቀስ ብለው ይሽከረከራሉ። ጥንድ ኩባያ ቅርጽ ያላቸው የአልማዝ መፍጨት ጎማዎች በነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ዋፈር በሁለቱም ጎኖች በአንጻራዊ ሁኔታ ይገኛሉ። በአየር ተሸካሚ ኤሌክትሪክ ስፒንድል የሚነዱ፣ በተቃራኒ አቅጣጫዎች ይሽከረከራሉ እና ባለ ሁለት ጎን መፍጨት ለማግኘት በዘንጋዊ መንገድ ይመገባሉ። ከሥዕሉ እንደሚታየው፣ ባለ ሁለት ጎን መፍጨት የሽቦ መቁረጫ ከተደረገ በኋላ በነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ዋፈር ወለል ላይ ያለውን ሞገድ እና ሽንትር ውጤታማ በሆነ መንገድ ማስወገድ ይችላል። የመፍጫ ጎማ ዘንግ አቀማመጥ አቅጣጫ መሠረት፣ ባለ ሁለት ጎን መፍጨት አግድም እና ቀጥ ያለ ሊሆን ይችላል። ከእነዚህም መካከል፣ አግድም ድርብ ጎን መፍጨት በሲሊኮን ዋፈር የሞተ ክብደት ምክንያት የሚመጣውን የሲሊኮን ዋፈር መበላሸት በመፍጨት ጥራት ላይ ያለውን ተጽእኖ በብቃት ሊቀንስ ይችላል፣ እና በነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ዋፈር በሁለቱም ጎኖች ላይ ያሉት የመፍጨት ሂደት ሁኔታዎች ተመሳሳይ መሆናቸውን ማረጋገጥ ቀላል ነው፣ እና ሻካራ ቅንጣቶች እና የመፍጨት ቺፖች በነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ዋፈር ወለል ላይ ለመቆየት ቀላል አይደሉም። በአንጻራዊነት ተስማሚ የመፍጨት ዘዴ ነው።

ምስል 4፣ "የስህተት ቅጂ" እና በሲሊኮን ዋፈር ማሽከርከር መፍጨት ውስጥ ያሉ የአለባበስ ምልክቶች ጉድለቶች

ምስል 5፣ ባለ ሁለት ጎን መፍጨት መርህ ንድፍ ንድፍ

ሠንጠረዥ 1 ከላይ የተጠቀሱትን ሶስት አይነት ነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ዋፈርዎችን መፍጨት እና ባለ ሁለት ጎን መፍጨትን ያሳያል። ባለ ሁለት ጎን መፍጨት በዋናነት ከ200ሚሜ በታች ለሲሊኮን ዋፈር ማቀነባበሪያ ጥቅም ላይ የሚውል ሲሆን ከፍተኛ የዋፈር ምርት አለው። ቋሚ ሻካራ መፍጨት ጎማዎችን በመጠቀም፣ የነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ዋፈር መፍጨት ከሁለት ጎን መፍጨት ይልቅ በጣም የላቀ የገጽታ ጥራት ሊያገኝ ይችላል። ስለዚህ፣ የሲሊኮን ዋፈር ሮታሪ መፍጨት እና ባለ ሁለት ጎን መፍጨት የዋና ዋና 300ሚሜ ሲሊከን ዋፈርዎችን የማቀነባበሪያ ጥራት መስፈርቶችን ሊያሟሉ ይችላሉ፣ እና በአሁኑ ጊዜ በጣም አስፈላጊዎቹ የጠፍጣፋ ማቀነባበሪያ ዘዴዎች ናቸው። የሲሊኮን ዋፈር ጠፍጣፋ ማቀነባበሪያ ዘዴን በሚመርጡበት ጊዜ፣ የአንድ ክሪስታል ሲሊከን ዋፈር ዲያሜትር መጠን፣ የገጽታ ጥራት እና የማጥራት ዋፈር ማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂ መስፈርቶችን በተሟላ ሁኔታ ማጤን ያስፈልጋል። የዋፈር ጀርባ ቀጭን ማድረግ እንደ ሲሊከን ዋፈር ሮታሪ መፍጨት ዘዴ ያሉ ነጠላ ጎን ማቀነባበሪያ ዘዴዎችን ብቻ መምረጥ ይችላል።

በሲሊኮን ዋፈር መፍጨት ውስጥ የመፍጨት ዘዴን ከመምረጥ በተጨማሪ፣ እንደ አዎንታዊ ግፊት፣ የመፍጨት ጎማ እህል መጠን፣ የመፍጨት ጎማ ማያያዣ፣ የመፍጨት ጎማ ፍጥነት፣ የሲሊኮን ዋፈር ፍጥነት፣ የመፍጨት ፈሳሽ viscosity እና የፍሰት መጠን፣ ወዘተ ያሉ ምክንያታዊ የሂደት መለኪያዎችን መምረጥ እና ምክንያታዊ የሂደት መንገድ መወሰን አስፈላጊ ነው። ብዙውን ጊዜ፣ ከፍተኛ የማቀነባበሪያ ቅልጥፍና፣ ከፍተኛ የወለል ጠፍጣፋነት እና ዝቅተኛ የወለል ጉዳት ያላቸውን ነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ዋፈሮችን ለማግኘት የተከፋፈለ የመፍጨት ሂደት ጥቅም ላይ ይውላል።