Pse duhet hollim?

Në fazën e procesit në prapavijë,napë (pllakë silikonime qarqe në pjesën e përparme) duhet të hollohet në pjesën e pasme para prerjes në kubikë, saldimit dhe paketimit pasues për të zvogëluar lartësinë e montimit të paketës, për të zvogëluar vëllimin e paketës së çipit, për të përmirësuar efikasitetin e difuzionit termik të çipit, performancën elektrike, vetitë mekanike dhe për të zvogëluar sasinë e prerjes në kubikë. Bluarja nga mbrapa ka avantazhet e efikasitetit të lartë dhe kostos së ulët. Ajo ka zëvendësuar proceset tradicionale të gdhendjes me lagështi dhe gdhendjes me jon për t'u bërë teknologjia më e rëndësishme e hollimit nga mbrapa.

Napolitani i holluar

Si të dobësohesh?

Procesi kryesor i hollimit të pllakave në procesin tradicional të paketimit

Hapat specifikë tënapëHollimi përfshin lidhjen e pllakës që do të përpunohet me filmin hollues dhe më pas përdorimin e vakumit për të adsorbuar filmin hollues dhe copën mbi të në tryezën e pllakës qeramike poroze, rregullimin e vijave qendrore rrethore të brendshme dhe të jashtme të sipërfaqes së punës të rrotës bluarëse me diamant në formë kupe në qendër të pllakës së silikonit, dhe pllaka e silikonit dhe rrota bluarëse rrotullohen rreth boshteve të tyre përkatëse për bluarje me prerje dhe hyrje. Bluarja përfshin tre faza: bluarje të ashpër, bluarje të imët dhe lustrim.

Napolitani që del nga fabrika e napolitanëve bluhet mbrapsht për ta holluar atë në trashësinë e kërkuar për paketim. Kur bluhet napolitani, shiriti ngjitës duhet të vendoset në pjesën e përparme (Zona Aktive) për të mbrojtur zonën e qarkut, dhe në të njëjtën kohë duhet të bluhet edhe ana e pasme. Pas bluarjes, hiqeni shiritin ngjitës dhe matni trashësinë.
Proceset e bluarjes që janë aplikuar me sukses në përgatitjen e pllakave të silikonit përfshijnë bluarjen me tavolinë rrotulluese,pllakë silikonibluarje me rrotullim, bluarje me dy anë, etj. Me përmirësimin e mëtejshëm të kërkesave të cilësisë së sipërfaqes së pllakave të silikonit monokristalor, propozohen vazhdimisht teknologji të reja bluarjeje, të tilla si bluarja TAIKO, bluarja kimike mekanike, bluarja me lustrim dhe bluarja me disk planetar.

Bluarje me tavolinë rrotulluese:

Bluarja me tavolinë rrotulluese (bluarja me tavolinë rrotulluese) është një proces i hershëm bluarjeje që përdoret në përgatitjen e pllakave të silikonit dhe hollimin e kundërt. Parimi i tij tregohet në Figurën 1. Plakat e silikonit janë të fiksuara në gotat thithëse të tavolinës rrotulluese dhe rrotullohen në mënyrë sinkrone të drejtuara nga tabela rrotulluese. Vetë pllakat e silikonit nuk rrotullohen rreth boshtit të tyre; rrota bluarëse ushqehet në mënyrë aksiale ndërsa rrotullohet me shpejtësi të lartë, dhe diametri i rrotës bluarëse është më i madh se diametri i pllakave të silikonit. Ekzistojnë dy lloje të bluarjes me tavolinë rrotulluese: bluarja me zhytje në sipërfaqe dhe bluarja tangjenciale në sipërfaqe. Në bluarjen me zhytje në sipërfaqe, gjerësia e rrotës bluarëse është më e madhe se diametri i pllakave të silikonit, dhe boshti i rrotës bluarëse ushqehet vazhdimisht përgjatë drejtimit të saj aksial derisa të përpunohet teprica, dhe më pas pllaka e silikonit rrotullohet nën drejtimin e tavolinës rrotulluese; në bluarjen tangjenciale në sipërfaqe, rrota bluarëse ushqehet përgjatë drejtimit të saj aksial, dhe pllaka e silikonit rrotullohet vazhdimisht nën drejtimin e diskut rrotullues, dhe bluarja përfundon me ushqyerje reciproke (reciprokim) ose ushqyerje zvarritëse (ushqim zvarritës).

Figura 1, diagrama skematike e parimit të bluarjes me tavolinë rrotulluese (tangjenciale e sipërfaqes)

Krahasuar me metodën e bluarjes, bluarja me tavolinë rrotulluese ka avantazhet e shkallës së lartë të heqjes, dëmtimit të vogël të sipërfaqes dhe automatizimit të lehtë. Megjithatë, zona aktuale e bluarjes (bluarja aktive) B dhe këndi i prerjes θ (këndi midis rrethit të jashtëm të rrotës së bluarjes dhe rrethit të jashtëm të pllakës së silikonit) në procesin e bluarjes ndryshojnë me ndryshimin e pozicionit të prerjes së rrotës së bluarjes, duke rezultuar në një forcë bluarjeje të paqëndrueshme, duke e bërë të vështirë arritjen e saktësisë ideale të sipërfaqes (vlerë e lartë TTV), dhe duke shkaktuar lehtësisht defekte të tilla si shembja e skajit dhe shembja e skajit. Teknologjia e bluarjes me tavolinë rrotulluese përdoret kryesisht për përpunimin e pllakave të silikonit me kristal të vetëm nën 200 mm. Rritja e madhësisë së pllakave të silikonit me kristal të vetëm ka paraqitur kërkesa më të larta për saktësinë e sipërfaqes dhe saktësinë e lëvizjes së tavolinës së punës së pajisjeve, kështu që bluarja me tavolinë rrotulluese nuk është e përshtatshme për bluarjen e pllakave të silikonit me kristal të vetëm mbi 300 mm.
Për të përmirësuar efikasitetin e bluarjes, pajisjet komerciale të bluarjes tangjenciale të rrafshët zakonisht përdorin një strukturë me shumë rrota bluarjeje. Për shembull, një set rrotash bluarjeje të përafërta dhe një set rrotash bluarjeje të imëta janë të pajisura në pajisje, dhe tavolina rrotulluese rrotullohet një rreth për të përfunduar bluarjen e përafërt dhe bluarjen e imëtë me radhë. Ky lloj pajisjeje përfshin G-500DS të kompanisë amerikane GTI (Figura 2).

Figura 2, Pajisje bluarëse rrotulluese me tavolinë G-500DS e kompanisë GTI në Shtetet e Bashkuara

Bluarje me rrotullim të pllakave të silikonit:

Për të përmbushur nevojat e përgatitjes së pllakave të silikonit në madhësi të madhe dhe përpunimit të hollimit të kundërt, dhe për të arritur saktësi sipërfaqësore me vlerë të mirë TTV. Në vitin 1988, studiuesi japonez Matsui propozoi një metodë bluarjeje me rrotullim të pllakave të silikonit (bluarje me furnizim). Parimi i saj tregohet në Figurën 3. Pllaka e silikonit monokristalor dhe rrota bluarjeje diamanti në formë kupe të adsorbuara në tavolinën e punës rrotullohen rreth boshteve të tyre përkatëse, dhe rrota bluarje ushqehet vazhdimisht përgjatë drejtimit aksial në të njëjtën kohë. Midis tyre, diametri i rrotës bluarje është më i madh se diametri i pllakës së silikonit të përpunuar, dhe perimetri i saj kalon nëpër qendrën e pllakës së silikonit. Për të zvogëluar forcën e bluarjes dhe për të zvogëluar nxehtësinë e bluarjes, kupa thithëse me vakum zakonisht shkurtohet në një formë konvekse ose konkave ose këndi midis boshtit të rrotës bluarje dhe boshtit të boshtit të kupës thithëse rregullohet për të siguruar bluarje gjysmë-kontakti midis rrotës bluarje dhe pllakës së silikonit.

Figura 3, Diagrama skematike e parimit të bluarjes rrotulluese të pllakave të silikonit

Krahasuar me bluarjen rrotulluese të tavolinës, bluarja rrotulluese e pllakave të silikonit ka avantazhet e mëposhtme: ① Bluarja e vetme me një pllaka të vetme mund të përpunojë pllaka silikoni me madhësi të madhe mbi 300 mm; ② Sipërfaqja aktuale e bluarjes B dhe këndi i prerjes θ janë konstante, dhe forca e bluarjes është relativisht e qëndrueshme; ③ Duke rregulluar këndin e pjerrësisë midis boshtit të rrotës së bluarjes dhe boshtit të pllakave të silikonit, forma e sipërfaqes së pllakave të silikonit monokristal mund të kontrollohet në mënyrë aktive për të arritur saktësi më të mirë të formës së sipërfaqes. Përveç kësaj, zona e bluarjes dhe këndi i prerjes θ i bluarjes rrotulluese të pllakave të silikonit kanë gjithashtu avantazhet e bluarjes me diferencë të madhe, zbulimit dhe kontrollit të lehtë të trashësisë dhe cilësisë së sipërfaqes, strukturës kompakte të pajisjeve, bluarjes së lehtë të integruar me shumë stacione dhe efikasitetit të lartë të bluarjes.
Për të përmirësuar efikasitetin e prodhimit dhe për të përmbushur nevojat e linjave të prodhimit të gjysmëpërçuesve, pajisjet e bluarjes komerciale të bazuara në parimin e bluarjes rrotulluese të pllakave të silikonit përdorin një strukturë shumëstacionëshe me shumë boshte, e cila mund të kryejë bluarjen e ashpër dhe të imët në një ngarkim dhe shkarkim. E kombinuar me pajisje të tjera ndihmëse, mund të realizojë bluarjen plotësisht automatike të pllakave të silikonit me kristal të vetëm "tharje brenda/tharje" dhe "nga kaseta në kasetë".

Bluarje e dyanshme:

Kur bluarja rrotulluese e pllakës së silikonit përpunon sipërfaqet e sipërme dhe të poshtme të pllakës së silikonit, pjesa e punës duhet të kthehet dhe të kryhet në hapa, gjë që kufizon efikasitetin. Në të njëjtën kohë, bluarja rrotulluese e pllakës së silikonit ka gabime sipërfaqësore të kopjimit (kopjimit) dhe shenja bluarjeje (grindingmark), dhe është e pamundur të hiqen në mënyrë efektive defektet si valëzimi dhe koni në sipërfaqen e pllakës së silikonit monokristalor pas prerjes së telit (sharrim me shumë sharrë), siç tregohet në Figurën 4. Për të kapërcyer defektet e mësipërme, teknologjia e bluarjes dypalëshe (doublesidegrinding) u shfaq në vitet 1990, dhe parimi i saj tregohet në Figurën 5. Kapëset e shpërndara në mënyrë simetrike në të dyja anët shtrëngojnë pllakën e silikonit monokristalor në unazën mbajtëse dhe rrotullohen ngadalë të shtyra nga ruli. Një palë rrota bluarjeje diamanti në formë kupe janë të vendosura relativisht në të dyja anët e pllakës së silikonit monokristalor. Të shtyra nga boshti elektrik me mbajtëse ajri, ato rrotullohen në drejtime të kundërta dhe ushqehen në mënyrë aksiale për të arritur bluarjen dypalëshe të pllakës së silikonit monokristalor. Siç mund të shihet nga figura, bluarja dypalëshe mund të heqë në mënyrë efektive valëzimin dhe konikën në sipërfaqen e pllakës së silikonit monokristalor pas prerjes së telit. Sipas drejtimit të vendosjes së boshtit të rrotës së bluarjes, bluarja dypalëshe mund të jetë horizontale dhe vertikale. Midis tyre, bluarja horizontale dypalëshe mund të zvogëlojë në mënyrë efektive ndikimin e deformimit të pllakës së silikonit të shkaktuar nga pesha e vdekur e pllakës së silikonit në cilësinë e bluarjes, dhe është e lehtë të sigurohet që kushtet e procesit të bluarjes në të dyja anët e pllakës së silikonit monokristalor janë të njëjta, dhe grimcat gërryese dhe copat e bluarjes nuk qëndrojnë lehtë në sipërfaqen e pllakës së silikonit monokristalor. Është një metodë bluarjeje relativisht ideale.

Figura 4, "Kopjim i gabuar" dhe defekte të shenjave të konsumimit në bluarjen me rrotullim të pllakës së silikonit

Figura 5, diagrami skematik i parimit të bluarjes me dy anë

Tabela 1 tregon krahasimin midis bluarjes dhe bluarjes dypalëshe të tre llojeve të mësipërme të napolitave të silikonit me kristal të vetëm. Bluarja dypalëshe përdoret kryesisht për përpunimin e napolitave të silikonit nën 200 mm dhe ka një rendiment të lartë të napolitave. Për shkak të përdorimit të rrotave të bluarjes gërryese fikse, bluarja e napolitave të silikonit me kristal të vetëm mund të arrijë një cilësi sipërfaqësore shumë më të lartë se ajo e bluarjes dypalëshe. Prandaj, si bluarja rrotulluese e napolitave të silikonit ashtu edhe bluarja dypalëshe mund të përmbushin kërkesat e cilësisë së përpunimit të napolitave të silikonit 300 mm kryesore dhe aktualisht janë metodat më të rëndësishme të përpunimit të rrafshimit. Kur zgjidhni një metodë përpunimi të rrafshimit të napolitave të silikonit, është e nevojshme të merren në konsideratë në mënyrë gjithëpërfshirëse kërkesat e madhësisë së diametrit, cilësisë së sipërfaqes dhe teknologjisë së përpunimit të napolitave me lustrim të napolitave të silikonit me kristal të vetëm. Hollimi i prapmë i napolit mund të zgjedhë vetëm një metodë përpunimi njëanëshe, siç është metoda e bluarjes rrotulluese të napolitave të silikonit.

Përveç përzgjedhjes së metodës së bluarjes në bluarjen e pllakave të silikonit, është gjithashtu e nevojshme të përcaktohet përzgjedhja e parametrave të arsyeshëm të procesit, siç janë presioni pozitiv, madhësia e kokrrizave të rrotës së bluarjes, lidhësi i rrotës së bluarjes, shpejtësia e rrotës së bluarjes, shpejtësia e pllakave të silikonit, viskoziteti dhe shkalla e rrjedhjes së lëngut të bluarjes, etj., dhe të përcaktohet një rrugë e arsyeshme procesi. Zakonisht, një proces i segmentuar i bluarjes që përfshin bluarjen e ashpër, bluarjen gjysmë-përfundimtare, bluarjen përfundimtare, bluarjen pa shkëndija dhe bluarjen e ngadaltë përdoret për të përftuar pllaka silikoni monokristal me efikasitet të lartë përpunimi, sheshtësi të lartë sipërfaqësore dhe dëmtim të ulët sipërfaqësor.