Kuki ukeneye kugabanya imisatsi?

Mu cyiciro cy'ibikorwa byo gusimbuka inyuma,agace gato (agace k'icyuma ka silikonihamwe n'imiyoboro imbere) bigomba kugabanywa inyuma mbere yo gukata, gusudira no gupakira kugira ngo bigabanye uburebure bwo gushyiraho ipaki, bigabanye ingano y'ipaki, binoze imikorere y'ubushyuhe bw'ipaki, imikorere y'amashanyarazi, imiterere ya mekanike no kugabanya ingano y'ipaki. Gusya inyuma bifite ibyiza byo gukora neza cyane no kugabanuka. Byasimbuye inzira zisanzwe zo gukata no gukata ipaki kugira ngo bibe ikoranabuhanga ry'ingenzi cyane ryo kugabanya umugongo.

Agace gato k'umugati

Ni gute wagabanya?

Uburyo bw'ingenzi bwo kugabanya umugati mu buryo busanzwe bwo gupfunyika

Intambwe zihariye zoagace gatoGukata umugozi bigomba gufatanya umugozi ugomba gutunganywa n'umugozi wo gukata, hanyuma bigakoreshwa mu gukata umugozi kugira ngo ufate umugozi wo gukata n'agace kawuriho ku meza y'umugozi w'ibumba ufite imyenge, ugahindura imirongo y'imbere n'inyuma y'ubwato hagati y'ubuso bw'uruziga rumeze nk'igikombe rusya diyama hagati y'umugozi w'ibumba, hanyuma umugozi w'ibumba n'umugozi wo gukata bizenguruka impande zabyo kugira ngo bicike. Gukata birimo ibyiciro bitatu: gukata neza, gukata neza no gusiga neza.

Agace k'umugati gasohoka mu ruganda rwa wafer gashyirwa inyuma kugira ngo gace k'umugati gashobore gupfunyika neza. Mu gihe usya wafer, ugomba gushyira kaseti imbere (Agace gakora) kugira ngo urinde agace k'umugati, kandi uruhande rw'inyuma rugaseswa icyarimwe. Nyuma yo gusya, kura kaseti hanyuma upime ubunini.
Uburyo bwo gusya bwakoreshejwe neza mu gutegura wafer ya silikoni burimo gusya ameza azunguruka,agace k'icyuma ka silikoniGusya kuzunguruka, gusya impande ebyiri, nibindi. Hamwe no kunoza ubwiza bw'ibikenewe ku buso bwa wafers za silikoni imwe, hahora hatangwa ikoranabuhanga rishya ryo gusya, nko gusya TAIKO, gusya hakoreshejwe ikoranabuhanga rya chemical, gusya hakoreshejwe polishing no gusya disiki y'umubumbe.

Gusya ameza azunguruka:

Gusya ameza yo kuzunguruka (gusya ameza yo kuzunguruka) ni uburyo bwo gusya bwa mbere bukoreshwa mu gutegura wafer ya silikoni no kugabanya umugongo. Ihame ryayo rigaragara ku Ishusho ya 1. Wafer za silikoni zishyirwa ku bikombe byo gukurura ameza azunguruka, kandi zizunguruka ziyobowe n'ameza azunguruka. Wafer za silikoni ubwazo ntizizunguruka ku murongo wazo; uruziga rusya rutangwa mu buryo bw'umurongo mu gihe ruzunguruka ku muvuduko mwinshi, kandi umurambararo w'uruziga rusya ni munini kuruta umurambararo w'uruziga rwa silikoni. Hari ubwoko bubiri bwo gusya ameza yo kuzunguruka: gusya mu maso no gusya mu maso. Mu gusya mu maso, ubugari bw'uruziga rurusha umurambararo wa wafer ya silikoni, kandi spindle y'uruziga ikomeza kugana mu cyerekezo cyayo cy'umurongo kugeza igihe irenze itunganyijwe, hanyuma wafer ya silikoni izunguruka munsi y'umurongo wa ameza yo kuzunguruka; mu gusya mu maso, uruziga rusya rugana mu cyerekezo cyarwo cy'umurongo, kandi wafer ya silikoni ikomeza kugana munsi y'umurongo wa disiki izunguruka, kandi gusya kurangizwa no kugaburira (gusubiza) cyangwa kugaburira (gutera).

Ishusho ya 1, imbonerahamwe y'ihame ryo gusya ameza azunguruka (isura igororotse)

Ugereranyije n'uburyo bwo gusya, gusya ameza azunguruka bifite ibyiza byo gukuraho cyane, kwangirika guke k'ubuso, no kwikora byoroshye. Ariko, agace nyako ko gusya (gusya gukomeye) B n'inguni yaciwe θ (inguni iri hagati y'uruziga rw'inyuma rw'uruziga rwo gusya n'uruziga rw'inyuma rw'uruziga rwa silicon) mu buryo bwo gusya birahinduka bitewe n'impinduka z'aho gusya uruziga ruherereye, bigatuma imbaraga zo gusya zidahindagurika, bigatuma bigorana kubona ukuri gukwiye k'ubuso (agaciro ka TTV gakomeye), kandi bigatera ibibazo byoroshye nko kugwa kw'inkombe no kugwa kw'inkombe. Ikoranabuhanga ryo gusya ameza azunguruka rikoreshwa cyane cyane mu gutunganya wafer za silicon imwe iri munsi ya mm 200. Ubwiyongere bw'ingano ya wafer za silicon imwe ya crystal byashyize imbere ibisabwa byinshi ku bijyanye no gutunganya ubuso no kugenda neza kw'intebe y'akazi y'ibikoresho, bityo gusya ameza azunguruka ntikwiriye gusya wafer za silicon imwe ya crystal iri hejuru ya mm 300.
Kugira ngo hongerwe imikorere myiza yo gusya, ibikoresho byo gusya bya plane tangential bikoresha imiterere y'amapine menshi yo gusya. Urugero, hari amapine yo gusya agoye n'amapine yo gusya meza, kandi ameza azunguruka azunguruka uruziga rumwe kugira ngo arangize gusya neza no gusya neza. Ubwo bwoko bw'ibikoresho burimo G-500DS ya Kompanyi ya Amerika ya GTI (Ishusho ya 2).

Ishusho ya 2, ibikoresho byo gusya ameza ya G-500DS bya Sosiyete ya GTI muri Leta Zunze Ubumwe za Amerika

Gusya icyuma gihinduranya icyuma cya silikoni:

Kugira ngo habeho ibyifuzo byo gutegura wafer nini ya silikoni no gutunganya inyuma, no kubona ubuziranenge bw'ubuso bufite agaciro ka TTV. Mu 1988, intiti y'Umuyapani Matsui yatanze igitekerezo cy'uburyo bwo gusya wafer ya silikoni (mu gusya mu buryo bwo kuyigaburira). Ihame ryayo rigaragazwa ku Ishusho ya 3. Wafer imwe ya silikoni n'uruziga rumeze nk'igikombe bya diyama bishyirwa ku ntebe y'akazi bizenguruka impande zabyo, kandi uruziga ruhora rugezwa mu cyerekezo kimwe. Muri byo, umurambararo w'uruziga runini kuruta umurambararo w'uruziga rwa silikoni rwatunganyijwe, kandi uruziga rwarwo runyura hagati mu ruziga rwa silikoni. Kugira ngo bigabanye imbaraga zo gusya no kugabanya ubushyuhe bwo gusya, agakombe ko gusya gasanzwe gatunganywa mu buryo burambuye cyangwa buto cyangwa inguni iri hagati y'uruziga rwo gusya n'umurongo w'uruziga rwo gusya ugahindurwa kugira ngo harebwe ko gusya hagati y'uruziga rwo gusya n'uruziga rwa silikoni bihinduka.

Ishusho ya 3, Ishusho y'icyitegererezo cy'ihame ryo gusya rya silicon wafer rizenguruka

Ugereranije no gusya ameza azunguruka, gusya silicon wafer rotary grinding bifite ibyiza bikurikira: ① Gusya rimwe rimwe bishobora gutunganya wafer nini za silicon zirenga mm 300; ② Agace nyako ko gusya B n'inguni yo gukata θ birahoraho, kandi imbaraga zo gusya zirahamye; ③ Mu guhindura inguni iri hagati y'umurongo w'uruziga rwo gusya n'umurongo w'uruziga rwa silicon wafer, imiterere y'ubuso bwa wafer imwe ya silicon crystal ishobora kugenzurwa neza kugira ngo haboneke imiterere myiza y'ubuso. Byongeye kandi, agace ko gusya n'inguni yo gusya silicon wafer rotary grinding nabyo bifite ibyiza byo gusya cyane, ubugari bworoshye bwo kuri interineti no kugenzura ubuziranenge bw'ubuso, imiterere y'ibikoresho bito, gusya byoroshye kuri sitasiyo nyinshi, no gukora neza cyane.
Kugira ngo hongerwe umusaruro kandi hahuzwe n’ibikenewe mu miyoboro y’imashini zitunganya ibintu, ibikoresho byo gusya by’ubucuruzi bishingiye ku ihame rya silicon wafer rotary grinding bikoresha imiterere ya multi-spindle multi-stations, ishobora kurangiza gusya neza no gusya neza mu gupakira no gupakurura ibintu. Bifatanyije n’ibindi bikoresho by’inyongera, bishobora gukora isya ryikora ry’udupira twa silicon twa crystal "dry-in/dry-out" na "cassette to cassette".

Gusya ku mpande ebyiri:

Iyo icyuma gisya cya silikoni gikoresheje ubuso bwo hejuru n'ubwo hasi bwa silicon wafer, igikoresho gikwiye guhindurwa no gukorwa mu ntambwe, ibyo bikaba bigabanya imikorere. Muri icyo gihe, icyuma gisya cya silikoni gikoresha icyuma gisya gifite ibimenyetso byo gukosora (byakopewe) n'ibimenyetso byo gusya (igishishwa), kandi ntibishoboka gukuraho neza inenge nko kuba ndende no gucika ku buso bwa silicon wafer imwe ya crystal nyuma yo gukata insinga (multi-saw), nk'uko bigaragara ku Ishusho ya 4. Kugira ngo hakorwe inenge zavuzwe haruguru, ikoranabuhanga ryo gusya rifite impande ebyiri (doublesidegrinding) ryagaragaye mu myaka ya 1990, kandi ihame ryaryo rigaragazwa ku Ishusho ya 5. Ibikoresho bikwirakwizwa ku mpande zombi bihambira silicon wafer imwe ya crystal mu mpeta igumana kandi bigazunguruka buhoro buhoro bitwarwa n'icyuma gisya. Amapine abiri y'icyuma ateye nk'igikombe aherereye ku mpande zombi za silicon wafer imwe ya crystal. Biyobowe n'icyuma gikoresha amashanyarazi gikoresha umwuka, bizenguruka mu byerekezo bitandukanye kandi bigatanga ingufu kugira ngo bigere ku mpande zombi za silicon wafer imwe ya crystal. Nkuko bigaragara ku ishusho, gusya impande ebyiri bishobora gukuraho ubukana n'ubukonje ku buso bwa wafer imwe ya silikoni ya kristalo nyuma yo gukata insinga. Dukurikije icyerekezo cy'umurongo w'urukiramende rw'urukiramende, gusya impande ebyiri bishobora kuba bitambitse kandi bihagaze. Muri byo, gusya impande ebyiri bitambitse bishobora kugabanya ingaruka z'ihindagurika rya wafer ya silikoni bitewe n'uburemere bwa wafer ya silikoni ku bwiza bwo gusya, kandi biroroshye kwemeza ko imiterere y'uburyo bwo gusya ku mpande zombi za wafer imwe ya silikoni ya kristalo ari imwe, kandi uduce duto two gusya n'udupira two gusya ntabwo byoroshye kuguma ku buso bwa wafer imwe ya silikoni ya kristalo. Ni uburyo bwiza bwo gusya.

Ishusho ya 4, "Kopi y'ikosa" n'ubusembwa bw'ibimenyetso byo kwangirika mu gusya silicon wafer

Ishusho ya 5, igishushanyo mbonera cy'ihame ryo gusya ku mpande ebyiri

Imbonerahamwe ya 1 igaragaza igereranya hagati yo gusya no gusya impande ebyiri z'ubwoko butatu bwavuzwe haruguru bwa wafers za silikoni imwe. Gusya impande ebyiri ahanini bikoreshwa mu gutunganya wafer ya silikoni iri munsi ya mm 200, kandi bifite umusaruro mwinshi wafer. Bitewe no gukoresha amapine yo gusya ahoraho, gusya wafers za silikoni imwe bishobora kugira ubwiza bwo hejuru cyane kuruta gusya impande ebyiri. Kubwibyo, gusya wafer ya silikoni yose hamwe no gusya impande ebyiri bishobora kuzuza ibisabwa mu gutunganya wafers za silikoni 300mm, kandi ubu ni bwo buryo bw'ingenzi bwo gutunganya. Mu guhitamo uburyo bwo gutunganya wafer ya silikoni, ni ngombwa gusuzuma byimazeyo ibisabwa ku bunini bw'umurambararo, ubwiza bw'ubuso, n'ikoranabuhanga ryo gutunganya wafer ya silikoni imwe. Gusya inyuma wafer bishobora guhitamo gusa uburyo bwo gutunganya impande imwe, nka silicon wafer rotary method.

Uretse guhitamo uburyo bwo gusya mu gusya wafer ya silikoni, ni ngombwa kandi kumenya ibipimo by'imikorere ikwiye nko gushyushya neza, ingano y'umuvuduko w'umuziga wo gusya, icyuma gifunga amapine yo gusya, umuvuduko w'umuziga wo gusya, umuvuduko w'umuziga wa silikoni, ubukana bw'amazi yo gusya n'umuvuduko w'amazi yo gusya, nibindi, no kumenya inzira ikwiye yo gusya. Ubusanzwe, inzira yo gusya igizwe n'ibice bitandukanye birimo gusya nabi, gusya igice cyo kurangiza, gusya kurangiza, gusya bidafite urumuri no guhagarara buhoro ikoreshwa kugira ngo haboneke wafer imwe ya silikoni ifite ubushobozi bwo gutunganya neza, ubuso bunini kandi butangiritse cyane.