Hobaneng ho hlokahala ho fokotsa boima ba 'mele?

Mokhahlelong oa ts'ebetso ea morao-rao,sejana sa bohobe (sekoahelo sa siliconka dipotoloho tse ka pele) di hloka ho fokotswa ka morao pele ho di-dicing, ho tjheseletsa le ho paka ka mora moo ho fokotsa bophahamo ba ho kenya sephutheloana, ho fokotsa bophahamo ba sephutheloana sa chip, ho ntlafatsa bokgoni ba ho hasana ha mocheso wa chip, tshebetso ya motlakase, thepa ya mechini le ho fokotsa bongata ba di-dicing. Ho sila ka morao ho na le melemo ya bokgoni bo hodimo le ditjeo tse tlase. Ho nkile sebaka sa mekgwa ya setso ya ho eta ka metsi le ho eta ka ion hore e be theknoloji ya bohlokwa ka ho fetisisa ya ho fokotsa mokokotlo.

Wafer e tšesaane

Mokhoa oa ho tšesaane?

Mokhoa o ka sehloohong oa ho fokotsa li-wafer ts'ebetsong ea setso ea ho paka

Mehato e tobileng easejana sa bohobeHo fokotsa boima ba 'mele ho tlama wafer e tla sebetsoa filiming e fokotsang boima, ebe ho sebelisoa vacuum ho monya filimi e fokotsang boima le chip e ho eona tafoleng ea wafer ea ceramic e nang le masoba, ho lokisa mela e chitja ea sekepe e ka hare le e ka ntle ea bokaholimo ba lebili la taemane le bōpehileng joaloka kopi bohareng ba wafer ea silicon, 'me wafer ea silicon le lebili la ho sila li potoloha lilepe tsa tsona bakeng sa ho sila. Ho sila ho kenyelletsa mekhahlelo e meraro: ho sila ka thata, ho sila hantle le ho bentša.

Wafer e tswang fekthering ya wafer e silwa ka morao ho fokotsa wafer ho fihlela e le botenya bo hlokahalang bakeng sa ho paka. Ha o sila wafer, theipi e hloka ho sebediswa ka pele (Sebaka se Sebetsang) ho sireletsa sebaka sa potoloho, mme lehlakore le ka morao le silwe ka nako e le nngwe. Kamora ho sila, tlosa theipi mme o lekanye botenya.
Mekhoa ea ho sila e sebelisitsoeng ka katleho ho lokiseng wafer ea silicon e kenyelletsa ho sila tafoleng e potolohang,sekoahelo sa siliconho sila ka ho potoloha, ho sila ka mahlakore a mabedi, jj. Ka ntlafatso e eketsehileng ya ditlhoko tsa boleng ba bokahodimo ba di-wafer tsa silicon tse le nngwe tsa kristale, ho ntse ho sisinngwa mahlale a matjha a ho sila, jwalo ka ho sila ka TAIKO, ho sila ka mechine ka dikhemikhale, ho sila ka ho polisha le ho sila ka di-disc tsa polanete.

Ho sila tafole ea rotary:

Ho sila tafoleng e potolohang (ho sila tafoleng e potolohang) ke mokhoa oa pele oa ho sila o sebelisoang ho lokiseng wafer ea silicon le ho fokotsa mokokotlo. Molao-motheo oa eona o bontšitsoe ho Setšoantšo sa 1. Li-wafer tsa silicon li tsitsitse holim'a likopi tsa ho hula tsa tafole e potolohang, 'me li potoloha ka tsela e tsamaellanang le tafole e potolohang. Li-wafer tsa silicon ka botsona ha li potoloha ho potoloha axis ea tsona; lebili la ho sila le fepuoa ka lehlakoreng ha le ntse le potoloha ka lebelo le phahameng, 'me bophara ba lebili la ho sila bo boholo ho feta bophara ba wafer ea silicon. Ho na le mefuta e 'meli ea ho sila tafoleng e potolohang: ho sila ka sefahleho le ho sila ka sefahleho. Ho sila ka sefahleho, bophara ba lebili la ho sila bo boholo ho feta bophara ba wafer ea silicon, 'me spindle ea lebili la ho sila e fepa ka ho tsoelang pele ka lehlakoreng la eona la axial ho fihlela ho se ho phekotsoe, ebe wafer ea silicon e potoloha tlas'a drive ea tafole e potolohang; ho sila ka sefahleho, lebili la ho sila le fepa ka lehlakoreng la lona la axial, 'me wafer ea silicon e potoloha ka ho tsoelang pele tlas'a drive ea disk e potolohang, 'me ho sila ho phethoa ka ho fepa ka ho pheta-pheta (ho pheta-pheta) kapa ho fepa ka ho creep (ho creep).

Setšoantšo sa 1, setšoantšo sa moralo oa ho sila tafole e potolohang (tangential ea sefahleho)

Ha ho bapisoa le mokhoa oa ho sila, ho sila tafole e potolohang ho na le melemo ea sekhahla se phahameng sa ho tlosoa, tšenyo e nyane holim'a metsi, le boiketsetso bo bonolo. Leha ho le joalo, sebaka sa 'nete sa ho sila (ho sila ho sebetsang) B le sekhutlo se khaotsoeng θ (sekhutlo se pakeng tsa selikalikoe se ka ntle sa lebili le silang le selikalikoe se ka ntle sa wafer ea silicon) ts'ebetsong ea ho sila li fetoha ka phetoho ea boemo ba ho seha ba lebili le silang, e leng se fellang ka matla a ho sila a sa tsitsang, e leng se etsang hore ho be thata ho fumana ho nepahala ho loketseng holim'a metsi (boleng bo phahameng ba TTV), le ho baka liphoso tse kang ho putlama ha moeli le ho putlama ha moeli. Theknoloji ea ho sila tafole e potolohang e sebelisoa haholo bakeng sa ts'ebetso ea li-wafer tsa silicon tse nang le kristale e le 'ngoe ka tlase ho 200mm. Keketseho ea boholo ba li-wafer tsa silicon tse nang le kristale e le 'ngoe e hlahisitse litlhoko tse phahameng bakeng sa ho nepahala ha bokaholimo le ho nepahala ha motsamao oa benche ea mosebetsi ea lisebelisoa, kahoo ho sila tafole e potolohang ha hoa lokela ho sila li-wafer tsa silicon tse nang le kristale e le 'ngoe ka holimo ho 300mm.
E le ho ntlafatsa bokgoni ba ho sila, disebediswa tsa ho sila tsa plane ya kgwebo hangata di sebedisa sebopeho sa lebili le silang ka bongata. Mohlala, sete ya mabili a silang ka thata le sete ya mabili a silang ka thata di kentswe hodima disebediswa, mme tafole e potolohang e potoloha sedikadikwe se le seng ho phethela ho sila ka thata le ho sila ka thata ka tatellano. Mofuta ona wa disebediswa o kenyeletsa G-500DS ya Khamphani ya Amerika ya GTI (Setshwantsho sa 2).

Setšoantšo sa 2, lisebelisoa tsa ho sila tafole tse potolohang tsa G-500DS tsa Khamphani ea GTI United States

Ho sila ka mokhoa oa ho potoloha oa silicon wafer:

E le ho fihlela litlhoko tsa ho lokisa wafer ea silicon e kholo le ts'ebetso ea ho fokotsa mokokotlo, le ho fumana ho nepahala ha bokaholimo ka boleng bo botle ba TTV. Ka 1988, setsebi sa Lejapane Matsui se ile sa sisinya mokhoa oa ho sila ka wafer ea silicon (ho sila ka hare ho fepelo). Molao-motheo oa eona o bontšitsoe ho Setšoantšo sa 3. Wafer e le 'ngoe ea kristale ea silicon le lebili la taemane le bōpehileng joaloka kopi le khomaretsoeng bencheng ea mosebetsi li potoloha lilepe tsa tsona, 'me lebili la ho sila le fepuoa ka ho tsoelang pele ka lehlakoreng le leng ka nako e le' ngoe. Har'a tsona, bophara ba lebili la ho sila bo boholo ho feta bophara ba wafer ea silicon e sebetsitsoeng, 'me selikalikoe sa eona se feta bohareng ba wafer ea silicon. E le ho fokotsa matla a ho sila le ho fokotsa mocheso oa ho sila, kopi ea ho suction ea vacuum hangata e khaotsoe ka sebopeho se kobehileng kapa se kobehileng kapa sekhutlo se pakeng tsa spindle ea lebili la ho sila le axis ea spindle ea kopi ea ho suction e lokisoa ho netefatsa hore ho sila ho se nang kamano pakeng tsa lebili la ho sila le wafer ea silicon.

Setšoantšo sa 3, Setšoantšo sa moralo oa ho sila ka mokhoa o potolohang oa silicon wafer

Ha ho bapisoa le ho sila tafoleng e potolohang, ho sila ka silicon wafer e potolohang ho na le melemo e latelang: ① Ho sila ka wafer e le 'ngoe feela ho ka sebetsana le li-wafer tsa silicon tse kholo tse fetang 300mm; ② Sebaka sa 'nete sa ho sila B le angle ea ho seha θ li tsitsitse, 'me matla a ho sila a tsitsitse; ③ Ka ho fetola angle ea ho sekamela pakeng tsa axis ea lebili la ho sila le axis ea wafer ea silicon, sebopeho sa bokaholimo ba wafer e le 'ngoe ea kristale ea silicon se ka laoloa ka mafolofolo ho fumana ho nepahala ho betere ha sebopeho sa bokaholimo. Ho phaella moo, sebaka sa ho sila le angle ea ho seha θ ea silicon wafer e potolohang le tsona li na le melemo ea ho sila ka bongata, ho lemoha le ho laola botenya bo bonolo ba inthanete le boleng ba bokaholimo, sebopeho sa lisebelisoa tse nyane, ho sila ho bonolo ho kopantsoeng ha liteishene tse ngata, le bokhoni bo phahameng ba ho sila.
E le ho ntlafatsa bokgoni ba tlhahiso le ho fihlela ditlhoko tsa mela ya tlhahiso ya semiconductor, disebediswa tsa ho sila tsa kgwebo tse itshetlehileng hodima molaomotheo wa ho sila ka rotary wafer ya silicon di sebedisa sebopeho sa di-spindle tse ngata tsa diteishene tse ngata, tse ka phethelang ho sila ho sa lokelang le ho sila hantle ka ho kenya le ho jarolla ka ho feletseng. Ha e kopantswe le disebediswa tse ding tse thusang, e ka phethahatsa ho sila ka boiketsetso ha di-wafer tsa silicon tse le nngwe tsa kristale "di omella/di omella" le "khasete ho khasete".

Ho sila ka mahlakore a mabeli:

Ha ho sila ha silicon wafer ho potoloha ho sebetsana le bokaholimo bo ka holimo le bo ka tlase ba wafer ea silicon, mosebetsi o hloka ho phetoa le ho etsoa ka mehato, e leng se fokotsang bokgoni. Ka nako e ts'oanang, ho sila ha silicon wafer ho potoloha ho na le liphoso tsa ho kopitsa (ho kopitsoa) le matšoao a ho sila (letšoao la ho sila), 'me ho ke ke ha khoneha ho tlosa liphoso tse kang ho ba matla le ho tenyetseha holim'a wafer ea silicon ea kristale e le 'ngoe ka mor'a ho seha terata (multi-saw), joalo ka ha ho bontšitsoe ho Setšoantšo sa 4. Ho hlola liphoso tse boletsoeng ka holimo, theknoloji ea ho sila e nang le mahlakore a mabeli (doublesidegrinding) e hlahile lilemong tsa bo-1990, 'me molao-motheo oa eona o bontšoa ho Setšoantšo sa 5. Li-clamp li ajoa ka mokhoa o lekanang mahlakoreng ka bobeli li tšoara wafer ea silicon ea kristale e le 'ngoe ka har'a lesale la ho boloka 'me li potoloha butle-butle li tsamaisoa ke roller. Mabili a mabeli a daemane a bōpehileng joaloka kopi a fumaneha ka mahlakoreng ka bobeli a wafer ea silicon ea kristale e le 'ngoe. A khannoa ke spindle ea motlakase e jereng moea, a potoloha ka mahlakoreng a fapaneng 'me a fepa ka mahlakoreng ho fihlela ho sila ha wafer ea silicon ea kristale e le 'ngoe. Jwalo ka ha ho ka bonwa setshwantshong, ho sila ka mahlakore a mabedi ho ka tlosa ho ba le lerootho le ho thella hodima wafer ya kristale e le nngwe ya silicon ka mora ho seha terata. Ho ya ka tataiso ya tlhophiso ya axis ya lebili la ho sila, ho sila ka mahlakore a mabedi ho ka ba ho rapameng le ho otloloha. Har'a tsona, ho sila ka mahlakore a mabedi ho rapameng ho ka fokotsa ka katleho tshusumetso ya phetoho ya wafer ya silicon e bakwang ke boima bo shweleng ba wafer ya silicon boleng ba ho sila, mme ho bonolo ho netefatsa hore maemo a tshebetso ya ho sila mahlakoreng ka bobedi a wafer ya kristale e le nngwe ya silicon a tshwana, mme dikarolwana tse kgopameng le di-chip tsa ho sila ha di bonolo ho dula hodima wafer ya kristale e le nngwe ya silicon. Ke mokgwa o motle wa ho sila.

Setšoantšo sa 4, "Kopi ea liphoso" le liphoso tsa matšoao a ho tsofala ha ho siloa ha silicon wafer ka potoloho

Setšoantšo sa 5, setšoantšo sa molao-motheo oa ho sila o mahlakore a mabeli

Tafole ea 1 e bontša papiso pakeng tsa ho sila le ho sila ka mahlakore a mabeli ha mefuta e meraro e ka holimo ea li-wafer tsa silicon tse le 'ngoe tsa kristale. Ho sila ka mahlakore a mabeli ho sebelisoa haholo bakeng sa ho sebetsana le li-wafer tsa silicon tse ka tlase ho 200mm, 'me ho na le chai e phahameng ea wafer. Ka lebaka la tšebeliso ea mabili a silang a sa fetoheng a khopisang, ho sila ha li-wafer tsa silicon tse le 'ngoe tsa kristale ho ka fumana boleng bo holimo haholo ho feta ba ho sila ka mahlakore a mabeli. Ka hona, ho sila ka rotary ea silicon wafer le ho sila ka mahlakore a mabeli ho ka fihlela litlhoko tsa boleng ba ts'ebetso ea li-wafer tsa silicon tse tloaelehileng tsa 300mm, 'me hajoale ke mekhoa ea bohlokoa ka ho fetisisa ea ho sila ka ho batalatsa. Ha u khetha mokhoa oa ho sebetsana le ho batalatsa oa silicon wafer, ho hlokahala hore u nahane ka botlalo ka litlhoko tsa boholo ba bophara, boleng ba bokaholimo, le theknoloji ea ho sebetsana le li-wafer tsa silicon tse le 'ngoe tsa kristale. Ho tšesaane ha wafer ka morao ho ka khetha mokhoa oa ho sebetsana le mahlakore a le 'ngoe feela, joalo ka mokhoa oa ho sila oa silicon wafer o rotary.

Ntle le ho khetha mokhoa oa ho sila ha ho sila ka silicon wafer, ho boetse ho hlokahala ho fumana khetho ea liparamente tse utloahalang tsa ts'ebetso tse kang khatello e ntle, boholo ba mabili a ho sila, binder ea mabili a ho sila, lebelo la mabili a ho sila, lebelo la silicon wafer, viscosity ea mokelikeli oa ho sila le sekhahla sa phallo, jj., le ho fumana tsela e utloahalang ea ts'ebetso. Hangata, ts'ebetso ea ho sila e arotsoeng ka likarolo ho kenyeletsoa ho sila ka mokhoa o sa lokelang, ho sila ho qetang halofo, ho sila ho qetang, ho sila ho se nang tlhase le ho khutlela morao butle ho sebelisoa ho fumana li-wafer tsa silicon tse le 'ngoe tsa kristale tse nang le bokhoni bo phahameng ba ts'ebetso, ho batalatsa holimo le tšenyo e tlase ea bokaholimo.