Hobaneng o hloka ho ota?

Sethaleng sa ts'ebetso ea morao-rao, thesephaphatha (sephaphatha sa silicone nang le li-circuits tse ka pele) e hloka ho fokotsoa ka morao pele ho cheka, ho tjheseletsa le ho paka ho fokotsa bophahamo ba sephutheloana, ho fokotsa bophahamo ba sephutheloana sa chip, ho ntlafatsa ts'ebetso ea phallo ea mocheso ea chip, ts'ebetso ea motlakase, thepa ea mochini le ho fokotsa palo ea li-dicing. Ho sila ka morao ho na le melemo ea ts'ebetso e phahameng le theko e tlaase. E nkile sebaka sa mekhoa ea khale ea ho roala metsi le ion etching hore e be theknoloji ea bohlokoa ka ho fetisisa ea ho fokotsa mokokotlo.

Sephaphatha se tšesaane

Joang ho tšesaane?

Mokhoa o ka sehloohong oa ho fokotsa liphaphatha ka mokhoa oa setso oa ho paka

Mehato e khethehileng easephaphathathinning ke ho tlama sephaphatha hore se sebetsoe ho filimi e tšesaane, ebe o sebelisa vacuum ho khabisa filimi e tšesaane le chip e holim'a tafole ea porous ceramic wafer, ho lokisa mela e bohareng le e kantle ea seketsoana sa sebaka sa tšebetso sa lebili le silang la daemane ho ea bohareng ba sephaphatha sa silicon, le lebili la silicon le silang. ho sila ka ho seha. Ho sila ho kenyelletsa mekhahlelo e meraro: ho sila ka thata, ho sila hantle le ho bentša.

Sephaphatha se tsoang femeng ea liphaephe se siloa ka morao ho tšesaane ho isa botenya bo hlokahalang bakeng sa ho paka. Ha u sila sephaphatha, tepi e lokela ho sebelisoa ka pele (Active Area) ho sireletsa sebaka sa potoloho, 'me lehlakoreng le ka morao le fatše ka nako e le' ngoe. Ka mor'a ho sila, tlosa tepi 'me u lekanye botenya.
Mekhoa ea ho sila e sebelisitsoeng ka katleho ho lokisoa ha silicon oafer e kenyelletsa ho sila tafoleng ea rotary,sephaphatha sa siliconho sila ka ho potoloha, ho sila ka mahlakoreng a mabeli, joalo-joalo Ka ntlafatso e eketsehileng ea litlhoko tsa boleng ba holim'a metsi a silicon e le 'ngoe ea kristale, mekhoa e mecha ea ho sila e lula e hlahisoa, e kang ho sila ea TAIKO, ho sila ka lik'hemik'hale tsa lik'hemik'hale, ho sila le ho sila lipolanete.

Ho sila tafoleng ka rotary:

Ho sila ha tafole ea rotary (ho sila ha tafole ea rotary) ke ts'ebetso ea pele ea ho sila e sebelisoang ha ho etsoa silicon wafer le ho fokotsa mokokotlo. Molao-motheo oa eona o bontšoa ho Setšoantšo sa 1. Li-wafers tsa silicon li tsitsitse holim'a linoelo tse hulang tsa tafole e potolohang, 'me li potoloha ka mokhoa o ts'oanang o khannoang ke tafole e potolohang. Li-wafers tsa silicon ka botsona ha li potolohe ho potoloha axis ea tsona; lebili le silang le feptjoa ka axially ha le ntse le potoloha ka lebelo le phahameng, 'me bophara ba lebili la ho sila le leholo ho feta bophara ba sephaphatha sa silicon. Ho na le mefuta e 'meli ea ho sila tafoleng ea rotary: ho sila sefahleho le ho sila ka sefahleho. Ha sefahleho se sila, bophara ba lebili le silang le leholo ho feta bophara ba silicon oafer, 'me lebili le silang le ntse le fepa ka tsela e tsoelang pele ho latela tsela ea eona ea axial ho fihlela ho feta ho sebetsoa, 'me joale sephaphatha sa silicon se potoloha ka tlas'a koloi ea tafole ea rotary; ka sefahleho sa tangential sila, lebili sila fepa ka tsela ea lona axial, 'me sephaphatha silicon e tsoela pele ho potoloha tlas'a drive ea rotating disk,' me sila phethoa ka ho fepa ka ho pheta-pheta (reciprocation) kapa creep feeding (creepfeed).

Setšoantšo sa 1, setšoantšo sa schematic sa molao-motheo oa ho sila tafoleng ea rotary (sefahleho sa tangential).

Ha ho bapisoa le mokhoa oa ho sila, ho sila ha tafole ea rotary ho na le melemo ea sekhahla se phahameng sa ho tlosa, tšenyo e nyenyane ea holim'a metsi, le ho iketsetsa habonolo. Leha ho le joalo, sebaka sa sebele sa ho sila (ho sila ka mafolofolo) B le sekhutlo se sehiloeng θ ( angle pakeng tsa selikalikoe se ka ntle sa lebili la ho sila le selikalikoe se ka ntle sa sephaphatha sa silicon) ha ho sila ho fetoha ka phetoho ea boemo ba ho itšeha ea lebili la ho sila, ho fella ka matla a sa tsitsang a ho sila, a etsang hore ho be thata ho fumana boleng bo phahameng ba Tdget le ho etsa hore ho be bonolo ho fumana boleng bo phahameng ba Tdget, ho etsa hore ho be thata ho fumana boleng bo phahameng ba Tv ho putlama ka bohale. Theknoloji ea ho sila ea litafole ea rotary e sebelisoa haholo-holo bakeng sa ho lokisa liphaephe tsa silicon e le 'ngoe tse ka tlase ho 200mm. Keketseho ea boholo ba liphaphatha tsa kristale tsa silicon e hlahisitse litlhoko tse phahameng bakeng sa ho nepahala ha bokaholimo le ho nepahala ha motsamao oa benche ea lisebelisoa, ka hona, ho sila ha tafole ea rotary ha hoa lokela ho sila liphaephe tsa kristale tsa kristale tse fetang 300mm.
Bakeng sa ho ntlafatsa ts'ebetso ea ho sila, lisebelisoa tsa ho sila ka sefofane sa khoebo hangata li amohela sebopeho sa mabili a mangata. Ka mohlala, sete ea mabili a makukuno a sila le sete ea mabili a matle a sila a hlomelloa holim'a thepa, 'me tafole ea rotary e potoloha selikalikoe se le seng ho phethahatsa ho sila ho thata le ho sila hantle ka ho latellana. Mofuta ona oa thepa o kenyelletsa G-500DS ea American GTI Company (Setšoantšo sa 2).

Setšoantšo sa 2, G-500DS lisebelisoa tsa ho sila litafole tsa rotary tsa GTI Company United States.

Ho sila ha silicon wafer:

Bakeng sa ho fihlela litlhoko tsa ho lokisoa ha silicon ea boholo bo boholo le ts'ebetso ea ho fokotsa mokokotlo, le ho fumana ho nepahala ha bokaholimo ka boleng bo botle ba TTV. Ka 1988, setsebi sa Lejapane Matsui se ile sa etsa tlhahiso ea mokhoa oa ho sila oa silicon oafer rotation (in-feedgrinding). Molao-motheo oa eona o bontšoa ho Setšoantšo sa 3. Lebili le le leng la kristale la silicon le lebili la ho sila le nang le kopi e nang le kopi ea taemane e adsorbed holim'a benche ea mosebetsi e potoloha ho pota-pota lilepe tsa bona, 'me lebili le silang le ntse le fepeloa ka tsela e tsoelang pele ea axial ka nako e le' ngoe. Har'a tsona, bophara ba lebili le silang le leholo ho feta bophara ba sephaphatha sa silicon se sebetsitsoeng, 'me selikalikoe sa sona se feta bohareng ba sephaphatha sa silicon. Bakeng sa ho fokotsa matla a ho sila le ho fokotsa mocheso o silang, kopi e monyang e silang hangata e raloa hore e be sebopeho sa convex kapa concave kapa angle e lipakeng tsa spindle ea lebili le suction cup spindle axis e lokisoa ho etsa bonnete ba hore ho sila ha semi-contact lipakeng tsa lebili le silang le silicon wafer.

Setšoantšo sa 3, Setšoantšo sa Setšoantšo sa molao-motheo oa ho sila oa silicon wafer rotary

Ha ho bapisoa le ho sila ha litafole tse rotary, silicon wafer rotary sila e na le melemo e latelang: ① Ho sila ka nako e le 'ngoe ka sekontiri se le seng ho ka sebetsa liphaephe tsa silicon tse boholo bo boholo ho feta 300mm; ② Sebaka sa sebele sa ho sila B le sekhahla sa ho itšeha θ se lula se le teng, 'me matla a ho sila a batla a tsitsitse; ③ Ka ho lokisa angle e sekametseng lipakeng tsa mabili a sila le axis ea silicon wafer, sebopeho sa bokaholimo ba sephaphatha sa kristale se le seng se ka laoloa ka mafolofolo ho fumana ho nepahala ha sebopeho sa bokaholimo. Ho phaella moo, sebaka sa ho sila le ho seha angle θ ea silicon wafer rotary grinding e boetse e na le melemo ea ho sila e kholo ea marang-rang, botenya bo bonolo ba marang-rang le ho lemoha le ho laola boleng ba holim'a metsi, sebopeho sa thepa e kopanetsoeng, ho sila ho kopantsoeng ha li-multi-station, le bokhoni bo phahameng ba ho sila.
E le ho ntlafatsa katleho ea tlhahiso le ho finyella litlhoko tsa melapo ea tlhahiso ea semiconductor, thepa ea ho sila ea khoebo e thehiloeng ho molao-motheo oa silicon wafer rotary grinding e nka mohaho oa li-multi-spindle multi-station, o ka qetellang ho sila ka thata le ho sila hantle ka ho kenya le ho laolla. Ha e kopantsoe le lisebelisoa tse ling tse thusang, e khona ho hlokomela ho sila ka ho feletseng ha liphaephe tsa kristale tsa "dry-in/dry-out" le "cassette to cassette".

Ho sila ka mahlakoreng a mabeli:

Ha silicon wafer rotary sila e sebetsa bokaholimo bo kaholimo le bo tlase ba sephaphatha sa silicon, sesebelisoa se hloka ho phetoa le ho etsoa ka mehato, e fokotsang ts'ebetso. Ka nako e ts'oanang, ho sila ha silicon wafer rotary ho na le phoso ea holim'a ho kopitsa (kopitsoa) le matšoao a ho sila (grindingmark), 'me ho ke ke ha khoneha ho tlosa ka katleho litšitiso tse kang waviness le taper holim'a sephaphatha se le seng sa kristale sa silicon ka mor'a ho seha terata (saha tse ngata), joalokaha ho bontšitsoe setšoantšong sa 4. Lilemong tsa bo-1990, 'me molao-motheo oa eona o bontšoa ho Setšoantšo sa 5. Li-clamps tse arolelitsoeng ka mokhoa o ts'oanang mahlakoreng ka bobeli li koala sephaephe se le seng sa kristale sa silicon ka har'a selikalikoe sa ho boloka le ho potoloha butle-butle ho tsamaisoa ke rolara. Mabili a sila a daemane a bōpehileng joaloka kopi a batla a le ka mahlakoreng a mabeli a lesela le le leng la crystal silicon. Li khannoa ke moea o nang le seluloana sa motlakase, li potoloha ka mahlakoreng a fapaneng 'me li fepa ka mokhoa o ts'oanelang ho fihlela mahlakore a mabeli a lesela le le leng la crystal silicon. Joalokaha ho ka bonoa ho tsoa setšoantšong, ho sila ka mahlakoreng a mabeli ho ka tlosa ka mokhoa o atlehileng botenya le taper holim'a sephaphatha se le seng sa kristale sa silicon kamora ho seha terata. Ho ea ka tataiso ea tlhophiso ea axis ea lebili la ho sila, ho sila ka mahlakoreng a mabeli ho ka ba ho rapama le ho ema. Har'a tsona, ho sila ka mahlakoreng a mabeli ho ka fokotsa ka katleho tšusumetso ea silicon wafer deformation e bakoang ke boima bo shoeleng ba silicon oafer holim'a boleng ba ho sila, 'me ho bonolo ho etsa bonnete ba hore maemo a ho sila ka mahlakoreng ka bobeli a sephaphatha sa kristale sa kristale a tšoana,' me likaroloana tse senyang le li-chips tse silang ha li bonolo ho lula holim'a silicon e le 'ngoe. Ke mokhoa o batlang o nepahetse oa ho sila.

Setšoantšo sa 4, "Kopitsa ea phoso" le ho roala liphoso tsa matšoao ho sila ha silicon wafer rotation

Setšoantšo sa 5, setšoantšo sa schematic sa molao-motheo oa ho sila ka mahlakoreng a mabeli

Letlapa la 1 le bontša papiso pakeng tsa ho sila le ho sila ka mahlakoreng a mabeli a mefuta e meraro e ka holimo ea li-wafers tsa crystal silicon tse le 'ngoe. Ho sila ka mahlakoreng a mabeli ho sebelisoa haholo-holo bakeng sa ts'ebetso ea silicon wafer ka tlase ho 200mm, 'me e na le chai e ngata ea sephaphatha. Ka lebaka la ts'ebeliso ea mabili a tsitsitseng a ho sila, ho sila ha li-wafers tsa silicon e le 'ngoe ho ka fumana boleng bo holimo haholo ho feta ba ho sila ka mahlakoreng a mabeli. Ka hona, ho sila ka bobeli ba silicon wafer rotary le ho sila ka mahlakoreng a mabeli ho ka fihlela litlhoko tsa boleng ba 300mm silicon wafers, 'me hajoale ke mekhoa ea bohlokoa ka ho fetisisa ea ho lokisa. Ha u khetha mokhoa oa ho sebetsa oa silicon wafer flattening, hoa hlokahala hore u nahane ka botlalo litlhoko tsa boholo ba bophara, boleng ba bokaholimo, le theknoloji ea ho lokisa sephaphatha sa kristale e le 'ngoe ea silicon. Mokokotlo o mosesane oa sephaphatha o ka khetha mokhoa oa ho lokisa o lehlakoreng le le leng feela, joalo ka mokhoa oa ho sila oa silicon wafer rotary.

Ntle le ho khetha mokhoa oa ho sila ka silicon oafer grinding, ho boetse hoa hlokahala ho etsa qeto ea khetho ea maemo a nepahetseng a ts'ebetso joalo ka khatello e ntle, boholo ba lijo-thollo tsa lebili, binder ea lebili, lebelo la ho sila, lebelo la silicon oafer, viscosity ea mokelikeli le sekhahla sa phallo, joalo-joalo, le ho tseba tsela e nepahetseng ea ts'ebetso. Hangata, mokhoa o arohaneng oa ho sila o kenyelletsang ho sila ka mokhoa o thata, ho sila ka halofo, ho qeta ho sila, ho sila ntle le tlhase le ho tšehetsa butle-butle ho sebelisoa ho fumana liphaphatha tsa kristale tsa silicon tse nang le ts'ebetso e phahameng ea ts'ebetso, botenya bo phahameng le tšenyo e tlaase ea holim'a metsi.