Kial necesas maldikiĝo?

En la malantaŭa procezfazo, laoblato (silicia oblatokun cirkvitoj sur la fronto) bezonas esti maldensigita sur la malantaŭo antaŭ posta hakado, veldado kaj pakado por redukti la pakaĵan muntan altecon, redukti la pakaĵan volumenon de la ĉipo, plibonigi la termika difuzan efikecon, elektran rendimenton, mekanikajn ecojn de la ĉipo kaj redukti la kvanton de hakado. Malantaŭa muelado havas la avantaĝojn de alta efikeco kaj malalta kosto. Ĝi anstataŭigis la tradiciajn malsekan gratvundadon kaj jongratvundadon por fariĝi la plej grava malantaŭa maldensiga teknologio.

La maldensigita oblato

Kiel maldikiĝi?

Ĉefa procezo de oblato-maldensigo en tradicia enpakadprocezo

La specifaj paŝoj deoblatoMaldikigo estas kunligi la prilaborotan silabon al la maldikiga filmo, kaj poste uzi vakuon por adsorbi la maldikigan filmon kaj la peceton sur ĝi al la pora ceramika silaba tablo, alĝustigi la internajn kaj eksterajn cirklajn boatajn centrajn liniojn de la laborsurfaco de la tasforma diamanta muelilo al la centro de la silicia silabo, kaj la silicia silabo kaj la muelilo rotacias ĉirkaŭ siaj respektivaj aksoj por entranĉa muelado. Muelado inkluzivas tri etapojn: malglata muelado, fajna muelado kaj polurado.

La siliciplato eliranta el la siliciplatfabriko estas malantaŭe muelita por maldensigi ĝin ĝis la dikeco bezonata por la pakado. Dum muelado de la siliciplato, oni devas apliki glubendon al la fronto (aktiva areo) por protekti la cirkvitan areon, kaj la malantaŭa flanko estas samtempe muelita. Post la muelado, forigu la glubendon kaj mezuru la dikecon.
La muelprocezoj, kiuj estis sukcese aplikitaj al la preparado de siliciaj oplatetoj, inkluzivas rotaciantan tablon mueladon,silicia oblatorotacia muelado, duflanka muelado, ktp. Kun la plua plibonigo de la surfackvalitaj postuloj de unukristalaj siliciaj obletoj, novaj muelteknologioj estas konstante proponitaj, kiel ekzemple TAIKO-muelado, kemie-mekanika muelado, polurado-muelado kaj planeda disko-muelado.

Rotacianta tablo-muelado:

Rotacitabla muelado (rotacitabla muelado) estas frua muelprocezo uzata en la preparado kaj malantaŭa maldensigo de siliciaj ...

Figuro 1, skema diagramo de la principo de rotacianta tablo-muelado (surfaco tangenta)

Kompare kun la muelado, rotacitabla muelado havas la avantaĝojn de alta foriga rapideco, malgranda surfaca difekto kaj facila aŭtomatigo. Tamen, la efektiva muelada areo (aktiva muelado) B kaj la entranĉa angulo θ (la angulo inter la ekstera cirklo de la muelilo kaj la ekstera cirklo de la silicia silicia plateto) en la muelado ŝanĝiĝas kun la ŝanĝo de la tranĉpozicio de la muelilo, rezultante en malstabila muelforto, malfaciligante atingi la idealan surfacan precizecon (alta TTV-valoro), kaj facile kaŭzante difektojn kiel randofalo kaj randofalo. La rotacitabla muelada teknologio estas ĉefe uzata por la prilaborado de unu-kristalaj siliciaj platoj sub 200 mm. La kresko de la grandeco de unu-kristalaj siliciaj platoj starigis pli altajn postulojn por la surfaca precizeco kaj mova precizeco de la ekipaĵa labortablo, do la rotacitabla muelado ne taŭgas por la muelado de unu-kristalaj siliciaj platoj super 300 mm.
Por plibonigi la efikecon de la muelado, komercaj tangentaj ebenaj mueliloj kutime alprenas mult-muelilajn strukturojn. Ekzemple, aro da malglataj mueliloj kaj aro da fajnaj mueliloj estas ekipitaj sur la ekipaĵo, kaj la rotacia tablo rotacias unu cirklon por kompletigi la malglatan kaj fajnan mueladon laŭvice. Ĉi tiu tipo de ekipaĵo inkluzivas la G-500DS de la usona kompanio GTI (Figuro 2).

Figuro 2, G-500DS rotacianta tablo-muelila ekipaĵo de GTI Company en Usono

Rotacia muelado de siliciaj siliciaj oblato-platetoj:

Por plenumi la bezonojn de preparado kaj maldensigado de grand-grandaj siliciaj ...

Figuro 3, Skemo de la principo de rotacia muelado de siliciaj oplatetoj

Kompare kun rotacitabla muelado, rotacia muelado de siliciaj ...
Por plibonigi la produktadan efikecon kaj kontentigi la bezonojn de duonkonduktaĵaj produktadlinioj, komercaj mueliloj bazitaj sur la principo de rotacia muelado de siliciaj ...

Duflanka muelado:

Kiam la rotacia muelado de silicia ... Kiel videblas el la figuro, duflanka muelado povas efike forigi la ondecojn kaj konusformajn striojn sur la surfaco de la unukristala silicia silicia oblato post drattranĉado. Laŭ la aranĝa direkto de la akso de la muelilo, duflanka muelado povas esti horizontala kaj vertikala. Inter ili, horizontala duflanka muelado povas efike redukti la influon de la deformado de la silicia silicia oblato kaŭzita de la morta pezo de la silicia oblato sur la muelkvalito, kaj estas facile certigi, ke la kondiĉoj de la muelprocezo ambaŭflanke de la unukristala silicia silicia oblato estas samaj, kaj ke la abraziaj partikloj kaj muelpecetoj ne facile restas sur la surfaco de la unukristala silicia silicia oblato. Ĝi estas relative ideala muelmetodo.