Gịnị mere o ji dị mkpa ịbelata?

N'ọkwa usoro azụ,wafer (eriri siliconyana sekit dị n'ihu) kwesịrị ịchacha n'azụ tupu ịkpụcha, ịgbado ọkụ na nkwakọ ngwaahịa ọzọ iji belata elu nrụnye ngwugwu, belata olu ngwugwu mgbawa, melite arụmọrụ mgbasa ọkụ nke mgbawa, arụmọrụ eletriki, njirimara igwe ma belata oke ịkpụcha. Ịkpụcha azụ nwere uru nke arụmọrụ dị elu na ọnụ ala dị ala. O dochiela usoro ịkpụcha mmiri mmiri ọdịnala na ịkpụcha ion iji bụrụ teknụzụ kachasị mkpa maka ịchacha azụ.

Wafer a kpụchara akpụcha

Kedu ka esi akpụ akpụ?

Isi usoro nke ịcha wafer na usoro nkwakọ ngwaahịa ọdịnala

Nzọụkwụ ndị a kapịrị ọnụ nkewaferỊkpụcha ihe bụ iji jikọta wafer a ga-ahazi na ihe nkiri ahụ dị gịrịgịrị, wee jiri vacuum mee ka ihe nkiri ahụ dị gịrịgịrị na chip dị na ya bata na tebụl wafer seramiiki dị oghere, gbanwee ahịrị dị n'etiti ụgbọ mmiri dị n'ime na mpụta nke elu ọrụ nke wiil igweri diamond dị ka iko na etiti wafer silicon, wafer silicon na wiil igwerigharị na-agbagharị gburugburu axes ha maka ịkpụcha ihe. Ịkpụcha ihe gụnyere usoro atọ: ịkpụcha ihe siri ike, ịkpụcha ihe nke ọma na ịkpụcha ihe.

A na-egweri wafer ahụ nke si n'ụlọ ọrụ wafer pụta azụ iji mee ka wafer ahụ dị nro ruo n'ọkpụrụkpụ achọrọ maka nkwakọ ngwaahịa. Mgbe a na-egweri wafer ahụ, a ga-etinye teepu ahụ n'ihu (Active Area) iji chebe mpaghara sekit ahụ, a ga-egwerikwa akụkụ azụ ya n'otu oge. Mgbe e gwerichara ya, wepụ teepu ahụ ma tụọ ọkpụrụkpụ ya.
Usoro ngweri nke etinyere nke ọma na nkwadebe silicon wafer gụnyere ngweri tebụl rotary,eriri siliconỊkpụgharị ihe, ịkpụcha ihe n'akụkụ abụọ, wdg. Site na mmeziwanye ihe achọrọ maka ịdị mma elu nke wafer silicon kristal otu, a na-atụ aro teknụzụ ịkpụcha ihe ọhụrụ mgbe niile, dịka ịpịcha TAIKO, ịkpụcha ihe n'ime kemịkalụ, ịkpụcha ihe n'ime na ịkpụcha diski ụwa.

Rotary tebụl egweri:

Ịkpụcha tebụl rotary (ịkpụcha tebụl rotary) bụ usoro ntụtụ mbụ e ji eme nkwadebe wafer silicon na ịcha azụ. E gosiri ụkpụrụ ya na Foto 1. A na-etinye wafer silicon n'elu iko mmiri nke tebụl na-agbanwe agbanwe, ma tebụl na-agbanwe agbanwe na-agbagharị n'otu oge. Wafer silicon n'onwe ha anaghị agbagharị gburugburu axis ha; a na-enye wiil na-agwakọta ihe n'akụkụ axial mgbe ọ na-agbagharị n'ọsọ dị elu, dayameta nke wiil na-agwakọta ihe karịrị dayameta nke wafer silicon. E nwere ụdị abụọ nke ịkpụcha tebụl rotary: ịkpụcha ihu na ịpịcha ihu. N'ịkpụcha ihu na ịpịcha ihu, obosara wiil na-agwakọta ihe karịrị dayameta wafer silicon, spindle wiil na-agagharị na-aga n'ihu n'akụkụ axial ya ruo mgbe a ga-ahazi ihe karịrị ya, wee tụgharịa wafer silicon n'okpuru draịva nke tebụl rotary; n'ịkpụcha ihu na ịpịcha ihu, wiil na-agagharị n'akụkụ axial ya, a na-atụgharị wafer silicon n'okpuru draịva nke diski na-agbanwe agbanwe mgbe niile, a na-emechakwa ịkpụcha ya site na inye nri (ịtụgharị) ma ọ bụ inye nri (ịtụgharị).

Foto nke 1, eserese eserese nke ụkpụrụ nhazi tebụl rotary (tangential ihu)

Ma e jiri ya tụnyere usoro ịkpụcha ihe, ịkpụcha ihe tebụl na-agbanwe agbanwe nwere uru dị na oke mwepụ dị elu, obere mmebi elu, na obere akpaaka. Agbanyeghị, ebe ịkpụcha ihe (ịkpụcha ihe na-arụ ọrụ) B na akụkụ ịkpụcha ihe θ (akụkụ dị n'etiti okirikiri mpụta nke wiil igwe na-egweri ihe na okirikiri mpụta nke wafer silicon) na usoro ịkpụcha ihe na-agbanwe site na mgbanwe nke ọnọdụ ịkpụcha ihe nke wiil igwe, na-ebute ike ịkpụcha ihe na-adịghị agbanwe agbanwe, na-eme ka o sie ike inweta izi ezi elu zuru oke (uru TTV dị elu), na-ebutekwa nsogbu dị mfe dịka ọdịda ọnụ na ọdịda ọnụ. A na-ejikarị teknụzụ ịkpụcha ihe tebụl igwe na-agbanwe agbanwe eme ihe maka nhazi nke wafer silicon otu kristal dị n'okpuru 200mm. Mmụba na nha nke wafer silicon otu kristal etinyela ihe achọrọ dị elu maka izi ezi elu na izi ezi mmegharị nke bench ọrụ akụrụngwa, yabụ ịkpụcha ihe tebụl igwe na-agbanwe agbanwe adabaghị maka ịkpụcha wafer silicon otu kristal dị n'elu 300mm.
Iji mee ka arụmọrụ igwepịa dị mma, ngwa igwepịa tangential nke azụmahịa na-ejikarị usoro wiil igwepịa ọtụtụ. Dịka ọmụmaatụ, a na-etinye wiil igwepịa siri ike na wiil igwepịa dị mma n'ime ngwa ahụ, tebụl na-agbanwe agbanwe na-agbagharị otu okirikiri iji mezue igwepịa siri ike na igwepịa dị mma n'otu oge. Ụdị ngwa a gụnyere G-500DS nke American GTI Company (Foto nke 2).

Foto nke 2, Ngwa igwe ngwe tebụl G-500DS nke ụlọ ọrụ GTI na United States

Ịkpụgharị wafer silicon:

Iji mezuo mkpa nkwadebe wafer silicon buru ibu na nhazi ịcha azụ, ma nweta izi ezi elu yana ezigbo uru TTV. Na 1988, ọkà mmụta Japan bụ Matsui tụrụ aro usoro ịkpụgharị wafer silicon (in-feedgrinding). E gosiri ụkpụrụ ya na Foto nke 3. Wafer silicon kristal otu na wiil ịkpụzi diamond nke dị n'elu oche ọrụ na-agbagharị gburugburu axes ha, a na-enyekwa wiil ịkpụzi mgbe niile n'akụkụ axial n'otu oge. N'ime ha, dayameta nke wiil ịkpụzi buru ibu karịa dayameta nke wafer silicon a haziri ahazi, gburugburu ya na-agafekwa n'etiti wafer silicon. Iji belata ike ịkpụzi ma belata okpomọkụ ịkpụzi, a na-ebipụkarị iko nsị vacuum ka ọ bụrụ ọdịdị convex ma ọ bụ concave ma ọ bụ na-agbanwe akụkụ dị n'etiti spindle wiil ịkpụzi na axis spindle cup axis iji hụ na a na-egweri ihe n'etiti wiil ịkpụzi na wafer silicon.

Ọgụgụ 3, eserese atụmatụ nke ụkpụrụ igwekota silicon wafer

Ma e jiri ya tụnyere igwe e ji atụgharị tebụl, igwe e ji atụgharị tebụl nwere uru ndị a: ① Igwe e ji otu wafer mee otu ugboro nwere ike ịhazi nnukwu wafer silicon karịa 300mm; ② Ebe e ji atụgharị B na akụkụ e ji kpụọ θ na-agbanwe agbanwe, ike igwe e ji atụgharị ahụ kwụsiri ike; ③ Site n'ịgbanwe akụkụ nkuku dị n'etiti axis wiil e ji atụgharị na axis silicon e ji atụgharị silicon, enwere ike ijikwa ọdịdị elu nke wafer silicon kristal crystal iji nweta izi ezi ka mma. Na mgbakwunye, ebe e ji atụgharị na akụkụ e ji kpụọ θ nke igwe e ji atụgharị silicon e ji atụgharị silicon nwekwara uru nke igwe e ji atụgharị nnukwu, ịdị mfe n'ịntanetị na nchọpụta na njikwa mma elu, nhazi akụrụngwa dị obere, igwe e ji ọtụtụ ebe mee ka ọ dị mfe, na arụmọrụ dị elu nke igwe e ji agwakọta ya.
Iji melite arụmọrụ mmepụta ma mezuo mkpa nke ahịrị mmepụta semiconductor, akụrụngwa igwe eji egweri azụmaahịa dabere na ụkpụrụ nke igwe eji egweri silicon wafer rotary na-eji usoro multi-spindle multi-spindle, nke nwere ike imecha igwe eji egweri ike ma gwerie ya nke ọma n'otu ibu na nbudata. Tinyere ihe ndị ọzọ dị mkpa, ọ nwere ike ime ka igwe eji egweri kristal kristal "kpọọ nkụ/kpọọ nkụ" na "kaseeti gaa na kaseti" akpaghị aka.

Ịkpụcha akụkụ abụọ:

Mgbe ígwè silicon wafer na-agbagharị agbagharị na-arụ ọrụ n'elu na ala nke waya silicon, ọ dị mkpa ka a tụgharịa ya ma mee ya n'usoro, nke na-egbochi arụmọrụ. N'otu oge ahụ, ígwè silicon wafer na-agbagharị agbagharị nwere mmejọ elu (e depụtaghachiri) na akara igwepịa (akara igwepịa), ọ gaghị ekwe omume iwepụ ntụpọ dị ka waviness na taper n'elu otu waya silicon kristal mgbe e bechachara waya (ọtụtụ igwepịa), dịka egosiri na Foto 4. Iji merie ntụpọ ndị dị n'elu, teknụzụ igwepịa akụkụ abụọ (igwepịa akụkụ abụọ) pụtara na 1990s, a na-egosikwa ụkpụrụ ya na Foto 5. Mkpọchi ndị ahụ kesara n'akụkụ abụọ ahụ na-ejide otu waya silicon kristal na mgbanaka njide ma na-atụgharị nwayọ site na igwegharị ahụ. Otu wiil igwepịa diamond dị ka iko dị n'akụkụ abụọ nke otu waya silicon kristal. Site na spindle eletriki na-ebu ikuku, ha na-agbagharị n'akụkụ dị iche iche ma na-eri nri n'akụkụ iji nweta igwepịa akụkụ abụọ nke otu waya silicon kristal. Dịka a pụrụ ịhụ site na eserese ahụ, ịkpụcha akụkụ abụọ nwere ike iwepụ oke na mbelata n'elu otu wafer silicon kristal mgbe ewepụchara waya. Dịka ntụziaka nhazi nke axis wiil igwe egweri si dị, ịkpụcha akụkụ abụọ nwere ike ịbụ kwụ ọtọ na kwụ ọtọ. N'ime ha, ịkpụcha akụkụ abụọ kwụ ọtọ nwere ike ibelata mmetụta nke mgbanwe wafer silicon nke oke arọ nke wafer silicon kpatara na ịdị mma ịkpụcha, ọ dịkwa mfe ijide n'aka na ọnọdụ usoro ịkpụcha n'akụkụ abụọ nke wafer silicon kristal kristal bụ otu, ihe ndị na-emebi emebi na ibe igwe egweri adịghịkwa mfe ịnọ n'elu wafer silicon kristal kristal otu. Ọ bụ usoro igwe egweri zuru oke.

Foto nke 4, "Ndepụta njehie" na ntụpọ akara iyi na ntụgharị wafer silicon

Ọgụgụ nke 5, eserese atụmatụ nke ụkpụrụ ngweri akụkụ abụọ

Tebụl nke 1 na-egosi ntụnyere dị n'etiti ịkpụcha na ịkpụcha akụkụ abụọ nke ụdị wafer silicon kristal atọ dị n'elu. A na-ejikarị ịkpụcha akụkụ abụọ eme ihe maka nhazi wafer silicon n'okpuru 200mm, ma nwee nnukwu mkpụrụ wafer. N'ihi ojiji nke wiil igwe a na-apịachi a ...

Na mgbakwunye na ịhọrọ ụzọ e si egweri ihe n'ime igwe silicon wafer, ọ dịkwa mkpa ịchọpụta nhọrọ nke paramita usoro ezi uche dị na ya dịka nrụgide dị mma, nha ọka wiil, ihe e ji agwakọta wiil, ọsọ wiil egweri ihe, ọsọ wafer silicon, viscosity mmiri na ọnụego mmiri, wdg, ma chọpụta ụzọ usoro ezi uche dị na ya. Ọtụtụ mgbe, a na-eji usoro egweri nkewa gụnyere egweri ihe siri ike, egweri ihe ọkara, egweri ihe, egweri ihe na-enweghị ọkụ na nkwado nwayọ iji nweta wafer silicon kristal kristal nwere arụmọrụ nhazi dị elu, ịdị larịị elu na mmebi elu dị ala.