Ни өчен сирәкләнергә кирәк?

Арткы өлеш процессы этабында,вафли (кремний пластинасыалгы якта схемалар белән), пакетны урнаштыру биеклеген киметү, чип пакеты күләмен киметү, чипның термик диффузия нәтиҗәлелеген, электр эшчәнлеген, механик үзлекләрен яхшырту һәм кисү күләмен киметү өчен, аннан соң ваклау, эретеп ябыштыру һәм төрү алдыннан арткы өлешен сирәкләндерергә кирәк. Арткы яктан тарту югары нәтиҗәлелек һәм түбән бәя кебек өстенлекләргә ия. Ул традицион дымлы эшкәртү һәм ионлы эшкәртү процессларын алыштырды, иң мөһим арткы яктан сирәкләү технологиясенә әйләнде.

Сирәкләнгән вафли

Ничек ябыкырга?

Традицион төрү процессында пластинаны сыеклатуның төп процессы

Конкрет адымнарвафлиСирәкләү эшкәртеләчәк пластинаны сирәкләү пленкасына беркетү, аннары вакуум ярдәмендә сирәкләү пленкасын һәм андагы кисәкне күзәнәкле керамик пластина өстәленә адсорбцияләү, чынаяк формасындагы алмаз тарту тәгәрмәченең эш өслегенең эчке һәм тышкы түгәрәк үзәк сызыкларын кремний пластинасының үзәгенә көйләү, һәм кремний пластинасы һәм тарту тәгәрмәче кисү өчен үз күчәрләре тирәсендә әйләнү. Тарту өч этаптан тора: тупас тарту, вак тарту һәм ялтырату.

Вафли заводыннан чыккан пластина упаковка өчен кирәкле калынлыкка кадәр сирәкләндерү өчен кире тартыла. Вафлины тартылганда, схема өлкәсен саклау өчен алгы өлешенә (актив өлкә) тасма ябыштырырга кирәк, ә арткы ягы шул ук вакытта тартыла. Тартканнан соң, тасманы алыгыз һәм калынлыгын үлчәгез.
Кремний пластинасын әзерләүдә уңышлы кулланылган тарту процессларына әйләндергеч өстәл тарту керә,кремний пластинасыәйләндереп тарту, ике яклы тарту һ.б. Монокристалл кремний пластиналарының өслек сыйфатына таләпләр тагын да яхшыру белән, TAIKO тарту, химик механик тарту, полировкалау һәм планетар диск тарту кебек яңа тарту технологияләре даими рәвештә тәкъдим ителә.

Әйләнмәле өстәл тарту:

Әйләнмәле өстәл тарту (әйләнмәле өстәл тарту) - кремний пластиналарын әзерләүдә һәм кире сирәкләүдә кулланыла торган иртә тарту процессы. Аның принцибы 1 нче рәсемдә күрсәтелгән. Кремний пластиналары әйләнүче өстәлнең суыргычларына беркетелгән һәм әйләнүче өстәл белән синхрон рәвештә әйләнәләр. Кремний пластиналары үзләре үз күчәрләре тирәсендә әйләнмиләр; тарту тәгәрмәче югары тизлектә әйләнгәндә күчәр буенча бирелә, һәм тарту тәгәрмәченең диаметры кремний пластинасының диаметрыннан зуррак. Әйләнмәле өстәл тартуның ике төре бар: йөз белән батырып тарту һәм йөз белән тангенциаль тарту. Йөз белән батырып тартуда тарту тәгәрмәченең киңлеге кремний пластинасының диаметрыннан зуррак, һәм тарту тәгәрмәче шпинделе артык эшкәртелгәнче күчәр юнәлеше буенча өзлексез туклана, аннары кремний пластинасы әйләнүче өстәлнең приводында әйләнә; йөз белән тангенциаль тартуда тарту тәгәрмәче үзенең күчәр юнәлеше буенча туклана, һәм кремний пластинасы әйләнүче диск приводында өзлексез әйләнә, һәм тарту үзара тукландыру (кире кайтару) яки сыдыру (сыдыру) белән тәмамлана.

1 нче рәсем, әйләндергеч өстәлне тарту (бит тангенциаль) принцибының схематик схемасы

Тарту ысулы белән чагыштырганда, әйләндергеч өстәл тартуның югары бетерү тизлеге, өслекнең аз зыян күрүе һәм җиңел автоматизация кебек өстенлекләре бар. Ләкин, тарту процессында чын тарту мәйданы (актив тарту) B һәм кисү почмагы θ (тарту тәгәрмәченең тышкы түгәрәге белән кремний пластинасының тышкы түгәрәге арасындагы почмак) тарту тәгәрмәченең кисү урыны үзгәрү белән үзгәрә, нәтиҗәдә тотрыксыз тарту көче барлыкка килә, бу идеаль өслек төгәллегенә ирешүне авырайта (югары TTV кыйммәте) һәм кырыйның җимерелүе һәм кырыйның җимерелүе кебек җитешсезлекләргә китерә. Әйләнгеч өстәл тарту технологиясе, нигездә, 200 мм дан түбәнрәк монокристалл кремний пластиналарын эшкәртү өчен кулланыла. Монокристалл кремний пластиналарының зурлыгы арту җиһазларның эш өстәленең өслек төгәллегенә һәм хәрәкәт төгәллегенә югарырак таләпләр куйды, шуңа күрә әйләнгеч өстәл тарту 300 мм дан югарырак монокристалл кремний пластиналарын тарту өчен яраклы түгел.
Тарту нәтиҗәлелеген арттыру өчен, коммерция яссы тангенциаль тарту җиһазлары гадәттә күп тарту тәгәрмәч структурасын кулланалар. Мәсәлән, җиһазда тупас тарту тәгәрмәчләре һәм нечкә тарту тәгәрмәчләре җыелмасы урнаштырылган, һәм әйләндергеч өстәл бер әйләнеш әйләнеп, тупас тарту һәм нечкә тартуны чиратлап тәмамлый. Бу төр җиһазларга Америка GTI компаниясенең G-500DS керә (2 нче рәсем).

2 нче рәсем, Америка Кушма Штатларындагы GTI компаниясенең G-500DS әйләндергеч өстәлле тарту җиһазы

Кремний пластинасын әйләндереп тарту:

Зур күләмле кремний пластинасын әзерләү һәм арткы яктан нечкәрәк эшкәртү ихтыяҗларын канәгатьләндерү, шулай ук яхшы TTV кыйммәте белән өслек төгәллегенә ирешү өчен. 1988 елда япон галиме Мацуи кремний пластинасын әйләндереп тарту (эчтә тарту) ысулын тәкъдим итте. Аның принцибы 3 нче рәсемдә күрсәтелгән. Эш өстәленә адсорбцияләнгән бер кристалллы кремний пластинасы һәм чынаяк формасындагы бриллиант тарту тәгәрмәче үз күчәрләре тирәсендә әйләнә, һәм тарту тәгәрмәче бер үк вакытта күчәр юнәлеше буенча өзлексез туклана. Алар арасында тарту тәгәрмәченең диаметры эшкәртелгән кремний пластинасының диаметрыннан зуррак, һәм аның әйләнәсе кремний пластинасының үзәге аша үтә. Тарту көчен киметү һәм тарту җылылыгын киметү өчен, вакуум суыру стаканы гадәттә кабарынкы яки батынкы формага киселә, яки тарту тәгәрмәче шпинделе белән суыру стаканы шпинделе күчәре арасындагы почмак, тарту тәгәрмәче һәм кремний пластинасы арасында ярымконтактлы тартуны тәэмин итү өчен көйләнә.

3 нче рәсем, Кремний пластинасын әйләндереп тарту принцибының схемасы

Әйләнмәле өстәл тарту белән чагыштырганда, кремний пластинасын әйләндерүнең түбәндәге өстенлекләре бар: ① Бер тапкыр бер пластина тарту 300 мм дан артык зурлыктагы кремний пластиналарын эшкәртә ала; ② Чын тарту мәйданы B һәм кисү почмагы θ даими, һәм тарту көче чагыштырмача тотрыклы; ③ Тарту тәгәрмәче күчәре һәм кремний пластина күчәре арасындагы авышлык почмагын көйләү аша, бер кристалллы кремний пластинасының өслек формасын актив рәвештә контрольдә тотып, өслек формасының төгәллеген арттырырга мөмкин. Моннан тыш, кремний пластинасын әйләндерүнең тарту мәйданы һәм кисү почмагы θ зур чикле тарту, онлайн калынлыкны һәм өслек сыйфатын җиңел ачыклау һәм контрольдә тоту, компакт җиһаз структурасы, җиңел күп станцияле интеграцияләнгән тарту һәм югары тарту нәтиҗәлелеге кебек өстенлекләргә ия.
Җитештерү нәтиҗәлелеген арттыру һәм ярымүткәргеч җитештерү линияләренең ихтыяҗларын канәгатьләндерү өчен, кремний пластинасын әйләндереп тарту принцибына нигезләнгән коммерция тарту җиһазлары күп шпиндельле күп станцияле структураны куллана, ул бер йөкләү һәм бушату вакытында тупас тартуны һәм вак тартуны тәмамлый ала. Башка ярдәмче корылмалар белән берлектә, ул монокристалл кремний пластиналарын тулысынча автоматик рәвештә "киптерү/киптерү" һәм "кассетадан кассетага" тартуны гамәлгә ашыра ала.

Ике яклы тарту:

Кремний пластинасы әйләндереп тарту кремний пластинасының өске һәм аскы өслекләрен эшкәрткәндә, эш кисәген әйләндереп, этаплап башкарырга кирәк, бу нәтиҗәлелекне чикли. Шул ук вакытта, кремний пластинасы әйләндереп тартуда өслек хатасы күчерү (күчерү) һәм тарту билгеләре (тарту билгесе) бар, һәм 4 нче рәсемдә күрсәтелгәнчә, чыбык кискәннән соң (күп пычкы белән) монокристалл кремний пластинасы өслегендәге дулкынлылык һәм конус кебек кимчелекләрне нәтиҗәле бетерү мөмкин түгел. Югарыдагы кимчелекләрне бетерү өчен, 1990-нчы елларда ике яклы тарту технологиясе (ике яклы тарту) барлыкка килде, һәм аның принцибы 5 нче рәсемдә күрсәтелгән. Ике якка да симметрик рәвештә таралган кыскычлар монокристалл кремний пластинасын тоткарлаучы боҗрага кысалар һәм ролик белән хәрәкәтләндерелеп әкрен әйләнәләр. Монокристалл кремний пластинасының ике ягында да чынаяк формасындагы алмаз тарту тәгәрмәчләре чагыштырмача урнашкан. Һава йөртүче электр шпинделе белән хәрәкәтләндерелеп, алар капма-каршы юнәлештә әйләнәләр һәм күчәр буенча бирәләр, монокристалл кремний пластинасын ике яклы тартуга ирешәләр. Рәсемнән күренгәнчә, ике яклы тарту чыбык кискәннән соң монокристалл кремний пластинасы өслегендәге дулкынлылыкны һәм конусны нәтиҗәле рәвештә бетерә ала. Тарту тәгәрмәче күчәренең урнашу юнәлешенә карап, ике яклы тарту горизонталь һәм вертикаль булырга мөмкин. Алар арасында горизонталь ике яклы тарту кремний пластинасының үле авырлыгы аркасында килеп чыккан кремний пластинасы деформациясенең тарту сыйфатына йогынтысын нәтиҗәле рәвештә киметә ала, һәм монокристалл кремний пластинасының ике ягындагы тарту процессы шартларының бер үк булуын тәэмин итү җиңел, ә абразив кисәкчәләр һәм тарту кисәкчәләре монокристалл кремний пластинасы өслегендә калуы җиңел түгел. Бу чагыштырмача идеаль тарту ысулы.

4 нче рәсем, Кремний пластинасын әйләндереп тартуда "Күчерү хатасы" һәм тузу билгеләре җитешсезлекләре

5 нче рәсем, ике яклы тарту принцибының схематик схемасы

1 нче таблицада югарыда күрсәтелгән өч төрдәге монокристалл кремний пластиналарын тарту һәм ике яклы тарту чагыштырмасы күрсәтелгән. Ике яклы тарту, нигездә, 200 мм дан түбән кремний пластиналарын эшкәртү өчен кулланыла һәм пластинаның югары чыгышына ия. Абразив тарту тәгәрмәчләре кулланылганлыктан, монокристалл кремний пластиналарын тарту ике яклы тартуга караганда күпкә югарырак өслек сыйфатына ия була ала. Шуңа күрә, кремний пластиналарын әйләндереп тарту да, ике яклы тарту да төп агым 300 мм кремний пластиналарының эшкәртү сыйфаты таләпләренә туры килә ала һәм хәзерге вакытта иң мөһим яссылау эшкәртү ысуллары булып тора. Кремний пластиналарын яссылау эшкәртү ысулын сайлаганда, монокристалл кремний пластинасының диаметр зурлыгы, өслек сыйфаты һәм ялтырату пластиналарын эшкәртү технологиясе таләпләрен комплекслы исәпкә алырга кирәк. Пластинаны арткы яктан нечкәртү өчен кремний пластиналарын әйләндереп тарту ысулы кебек бер яклы эшкәртү ысулын гына сайларга мөмкин.

Кремний пластинасын тартуда тарту ысулын сайлаудан тыш, уңай басым, тарту тәгәрмәченең бөртек зурлыгы, тарту тәгәрмәченең бәйләгече, тарту тәгәрмәченең тизлеге, кремний пластинасының тизлеге, тарту сыекчасының ябышлыгы һәм агым тизлеге һ.б. кебек акылга сыярлык процесс параметрларын сайлауны билгеләү һәм акылга сыярлык процесс маршрутын билгеләү кирәк. Гадәттә, югары эшкәртү нәтиҗәлелегенә, югары өслек тигезлегенә һәм түбән өслек зыянына ия булган монокристалл кремний пластиналарын алу өчен тупас тарту, ярым эшкәртү, эшкәртү, очкынсыз тарту һәм әкрен арткы өлешне үз эченә алган сегментланган тарту процессы кулланыла.