ପତଳା ହେବାର କାହିଁକି ଆବଶ୍ୟକତା ଅଛି?

ବ୍ୟାକ-ଏଣ୍ଡ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ,ୱାଫର (ସିଲିକନ୍ ୱାଫର(ସମ୍ମୁଖ ଭାଗରେ ସର୍କିଟ୍ ସହିତ) ପରବର୍ତ୍ତୀ ଡାଇସିଂ, ୱେଲ୍ଡିଂ ଏବଂ ପ୍ୟାକେଜିଂ ପୂର୍ବରୁ ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱରେ ପତଳା କରିବାକୁ ପଡିବ ଯାହା ଦ୍ଵାରା ପ୍ୟାକେଜ୍ ମାଉଣ୍ଟିଂ ଉଚ୍ଚତା ହ୍ରାସ ପାଇବ, ଚିପ୍ ପ୍ୟାକେଜ୍ ପରିମାଣ ହ୍ରାସ ପାଇବ, ଚିପ୍ ର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଦକ୍ଷତା, ବୈଦ୍ୟୁତିକ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା, ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ଉନ୍ନତ କରାଯିବ ଏବଂ ଡାଇସିଂ ପରିମାଣ ହ୍ରାସ ପାଇବ। ବ୍ୟାକ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂର ଉଚ୍ଚ ଦକ୍ଷତା ଏବଂ କମ ମୂଲ୍ୟର ସୁବିଧା ଅଛି। ଏହା ପାରମ୍ପରିକ ଓଦା ଏଚିଂ ଏବଂ ଆୟନ୍ ଏଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ବଦଳାଇ ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ବ୍ୟାକ୍ ଥିନିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ହୋଇଛି।

ପତଳା ୱାଫର

କିପରି ପତଳା କରିବେ?

ପାରମ୍ପରିକ ପ୍ୟାକେଜିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ୱାଫର ପତଳା ହେବାର ମୁଖ୍ୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା

ଏହାର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପଦକ୍ଷେପଗୁଡ଼ିକୱାଫରଥିନିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ୱେଫରକୁ ଥିନିଂ ଫିଲ୍ମ ସହିତ ବାନ୍ଧିବାକୁ ପଡିବ, ଏବଂ ତା’ପରେ ଥିନିଂ ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ଏଥିରେ ଥିବା ଚିପ୍ କୁ ଛିଦ୍ର ସିରାମିକ୍ ୱେଫର ଟେବୁଲରେ ଶୋଷିତ କରିବା ପାଇଁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବ୍ୟବହାର କରିବାକୁ ପଡିବ, କପ୍-ଆକୃତିର ହୀରା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକର କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ପୃଷ୍ଠର ଭିତର ଏବଂ ବାହ୍ୟ ବୃତ୍ତାକାର ଡଙ୍ଗା କେନ୍ଦ୍ର ରେଖାଗୁଡ଼ିକୁ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର କେନ୍ଦ୍ର ସହିତ ସଜାଡ଼ିବାକୁ ପଡିବ, ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ଏବଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ କଟିଂ-ଇନ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପାଇଁ ସେମାନଙ୍କ ନିଜ ନିଜ ଅକ୍ଷ ଚାରିପାଖରେ ଘୂରିବ। ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂରେ ତିନୋଟି ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ: ରଫ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ, ଫାଇନ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ପଲିସିଂ।

ୱାଫର କାରଖାନାରୁ ବାହାରୁଥିବା ୱାଫରକୁ ପ୍ୟାକେଜିଂ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ଘନତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପତଳା କରିବା ପାଇଁ ପଛକୁ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡ କରାଯାଏ। ୱାଫରକୁ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡ କରିବା ସମୟରେ, ସର୍କିଟ କ୍ଷେତ୍ରକୁ ସୁରକ୍ଷା ଦେବା ପାଇଁ ସମ୍ମୁଖ ଭାଗରେ (ସକ୍ରିୟ କ୍ଷେତ୍ର) ଟେପ୍ ଲଗାଇବାକୁ ପଡିବ, ଏବଂ ସେହି ସମୟରେ ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡ ହେବ। ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପରେ, ଟେପ୍ କାଢି ଘନତା ମାପନ୍ତୁ।
ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ପ୍ରସ୍ତୁତିରେ ସଫଳତାର ସହ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଇଥିବା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ରୋଟାରୀ ଟେବୁଲ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ,ସିଲିକନ୍ ୱାଫରଘୂର୍ଣ୍ଣନ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ, ଡବଲ-ସାଇଡେଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ, ଇତ୍ୟାଦି। ସିଙ୍ଗଲ୍ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍‌ର ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା ଆବଶ୍ୟକତାର ଆହୁରି ଉନ୍ନତି ସହିତ, ନୂତନ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ନିରନ୍ତର ପ୍ରସ୍ତାବିତ ହେଉଛି, ଯେପରିକି TAIKO ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ, ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ, ପଲିସିଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ପ୍ଲାନେଟ୍ରି ଡିସ୍କ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ।

ରୋଟାରୀ ଟେବୁଲ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ:

ରୋଟାରୀ ଟେବୁଲ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ (ରୋଟାରୀ ଟେବୁଲ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ) ହେଉଛି ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ପ୍ରସ୍ତୁତି ଏବଂ ପଛକୁ ଥଇନ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ଏକ ପ୍ରାରମ୍ଭିକ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା। ଏହାର ନୀତି ଚିତ୍ର 1 ରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି। ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ଗୁଡ଼ିକ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ଟେବୁଲ୍‌ର ସକ୍ସନ୍ କପ୍ ଉପରେ ସ୍ଥିର ହୋଇଥାଏ, ଏବଂ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ଟେବୁଲ୍ ଦ୍ୱାରା ସମକାଳୀନ ଭାବରେ ଘୂରେ। ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ଗୁଡ଼ିକ ନିଜେ ସେମାନଙ୍କର ଅକ୍ଷ ଚାରିପାଖରେ ଘୂରେ ନାହିଁ; ଉଚ୍ଚ ଗତିରେ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ସମୟରେ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକକୁ ଅକ୍ଷୀୟ ଭାବରେ ଖିଆଯାଏ, ଏବଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକର ବ୍ୟାସ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ବ୍ୟାସ ଅପେକ୍ଷା ବଡ଼। ଦୁଇ ପ୍ରକାରର ରୋଟାରୀ ଟେବୁଲ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଅଛି: ଫେସ୍ ପ୍ଲଞ୍ଜ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ଫେସ୍ ଟାଞ୍ଜେନିଆଲ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ। ଫେସ୍ ପ୍ଲଞ୍ଜ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂରେ, ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ପ୍ରସ୍ଥ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ବ୍ୟାସ ଅପେକ୍ଷା ବଡ଼ ହୋଇଥାଏ, ଏବଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ ଏହାର ଅକ୍ଷୀୟ ଦିଗରେ ନିରନ୍ତର ଫିଡ୍ କରେ ଯେପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଅତିରିକ୍ତ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ହୁଏ ନାହିଁ, ଏବଂ ତା’ପରେ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ରୋଟାରୀ ଟେବୁଲ୍‌ର ଡ୍ରାଇଭ୍ ଅଧୀନରେ ଘୂରାଯାଏ; ଫେସ୍ ଟାଞ୍ଜେନିଆଲ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂରେ, ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ଏହାର ଅକ୍ଷୀୟ ଦିଗରେ ଫିଡ୍ କରେ, ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ଡିସ୍କର ଡ୍ରାଇଭ୍ ଅଧୀନରେ ନିରନ୍ତର ଘୂରାଯାଏ, ଏବଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ରେସିପ୍ରୋକେଟିଂ ଫିଡିଂ (ରେସିପ୍ରୋକେସନ୍) କିମ୍ବା କ୍ରିପ୍ ଫିଡିଂ (କ୍ରିପ୍ ଫିଡ୍) ଦ୍ୱାରା ସମାପ୍ତ ହୁଏ।

ଚିତ୍ର ୧, ରୋଟାରୀ ଟେବୁଲ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ (ମୁଖ ଟାଞ୍ଜେସିଆଲ୍) ନୀତିର ଯୋଜନାବଦ୍ଧ ଚିତ୍ର

ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପଦ୍ଧତି ତୁଳନାରେ, ରୋଟାରୀ ଟେବୁଲ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂର ଉଚ୍ଚ ଅପସାରଣ ହାର, ଛୋଟ ପୃଷ୍ଠ କ୍ଷତି ଏବଂ ସହଜ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତତାର ସୁବିଧା ଅଛି। ତଥାପି, ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ପ୍ରକୃତ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ କ୍ଷେତ୍ର (ସକ୍ରିୟ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ) B ଏବଂ କଟ୍-ଇନ୍ କୋଣ θ (ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକର ବାହ୍ୟ ବୃତ୍ତ ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର ବାହ୍ୟ ବୃତ୍ତ ମଧ୍ୟରେ କୋଣ) ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକର କଟିଂ ସ୍ଥିତି ପରିବର୍ତ୍ତନ ସହିତ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଏକ ଅସ୍ଥିର ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ବଳ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଯାହା ଆଦର୍ଶ ପୃଷ୍ଠ ସଠିକତା (ଉଚ୍ଚ TTV ମୂଲ୍ୟ) ପାଇବାକୁ କଷ୍ଟକର କରିଥାଏ, ଏବଂ ସହଜରେ ଧାର ଧ୍ୱଂସ ଏବଂ ଧାର ଧ୍ୱଂସ ପରି ତ୍ରୁଟି ସୃଷ୍ଟି କରିଥାଏ। ରୋଟାରୀ ଟେବୁଲ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ମୁଖ୍ୟତଃ 200mm ତଳେ ସିଙ୍ଗଲ୍-କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ସିଙ୍ଗଲ୍-କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରଗୁଡ଼ିକର ଆକାର ବୃଦ୍ଧି ଉପକରଣ ୱର୍କବେଞ୍ଚର ପୃଷ୍ଠ ସଠିକତା ଏବଂ ଗତି ସଠିକତା ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ଆବଶ୍ୟକତାକୁ ଆଗକୁ ବଢାଇଛି, ତେଣୁ ରୋଟାରୀ ଟେବୁଲ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ 300mm ଉପରେ ସିଙ୍ଗଲ୍-କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରଗୁଡ଼ିକର ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ନୁହେଁ।
ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ, ବାଣିଜ୍ୟିକ ସମତଳ ଟାଞ୍ଜେସିଆଲ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତଃ ଏକ ମଲ୍ଟି-ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ଗଠନ ଗ୍ରହଣ କରନ୍ତି। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଉପକରଣରେ ଏକ ରଫ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ଏବଂ ଏକ ସୂକ୍ଷ୍ମ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକର ସେଟ୍ ସଜ୍ଜିତ ହୋଇଥାଏ, ଏବଂ ରୋଟାରୀ ଟେବୁଲ୍ ଗୋଟିଏ ବୃତ୍ତ ଘୂରାଏ ଯାହା ଦ୍ୱାରା ରଫ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ପାଳିରେ ସୂକ୍ଷ୍ମ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ସମାପ୍ତ ହୁଏ। ଏହି ପ୍ରକାରର ଉପକରଣରେ ଆମେରିକୀୟ GTI କମ୍ପାନୀର G-500DS (ଚିତ୍ର 2) ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।

ଚିତ୍ର 2, ଯୁକ୍ତରାଷ୍ଟ୍ରର GTI କମ୍ପାନୀର G-500DS ରୋଟାରୀ ଟେବୁଲ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଉପକରଣ

ସିଲିକନ୍ ୱାଫର ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ:

ବଡ଼ ଆକାରର ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ପ୍ରସ୍ତୁତି ଏବଂ ପଛକୁ ଥିନ୍ କରିବା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ, ଏବଂ ଭଲ TTV ମୂଲ୍ୟ ସହିତ ପୃଷ୍ଠ ସଠିକତା ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ। 1988 ମସିହାରେ, ଜାପାନୀ ବିଦ୍ୱାନ ମାତ୍ସୁଇ ଏକ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ (ଇନ୍-ଫିଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ) ପଦ୍ଧତି ପ୍ରସ୍ତାବ ଦେଇଥିଲେ। ଏହାର ନୀତି ଚିତ୍ର 3 ରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି। ୱର୍କବେଞ୍ଚରେ ଶୋଷିତ ଏକକ ସ୍ଫଟିକ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ଏବଂ କପ୍-ଆକୃତିର ହୀରା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ସେମାନଙ୍କର ସମ୍ପୃକ୍ତ ଅକ୍ଷ ଚାରିପାଖରେ ଘୂରେ, ଏବଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକକୁ ସମାନ ସମୟରେ ଅକ୍ଷୀୟ ଦିଗରେ ନିରନ୍ତର ଭାବରେ ଖୋଳାଯାଏ। ସେମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରେ, ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକର ବ୍ୟାସ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୃତ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର ବ୍ୟାସ ଅପେକ୍ଷା ବଡ଼, ଏବଂ ଏହାର ପରିଧି ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର କେନ୍ଦ୍ର ଦେଇ ଗତି କରେ। ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ବଳକୁ ହ୍ରାସ କରିବା ଏବଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଉତ୍ତାପକୁ ହ୍ରାସ କରିବା ପାଇଁ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସକ୍ସନ୍ କପ୍ କୁ ସାଧାରଣତଃ ଉତ୍ତଳ କିମ୍ବା ଅବତଳ ଆକାରରେ କାଟି ଦିଆଯାଏ କିମ୍ବା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ ଏବଂ ସକ୍ସନ୍ କପ୍ ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ ଅକ୍ଷ ମଧ୍ୟରେ କୋଣକୁ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ମଧ୍ୟରେ ଅର୍ଦ୍ଧ-ସଂପର୍କ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ସଜାଯାଏ।

ଚିତ୍ର 3, ସିଲିକନ୍ ୱାଫର ରୋଟାରୀ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ନୀତିର ଯୋଜନାବଦ୍ଧ ଚିତ୍ର

ରୋଟାରୀ ଟେବୁଲ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ତୁଳନାରେ, ସିଲିକନ୍ ୱାଫର ରୋଟାରୀ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂର ନିମ୍ନଲିଖିତ ସୁବିଧା ଅଛି: ① ଏକକ-କାଳୀନ ଏକକ-ୱେଫର ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ 300mm ରୁ ଅଧିକ ବଡ଼ ଆକାରର ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରିପାରିବ; ② ପ୍ରକୃତ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ କ୍ଷେତ୍ର B ଏବଂ କଟିଙ୍ଗ କୋଣ θ ସ୍ଥିର, ଏବଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ବଳ ତୁଳନାତ୍ମକ ଭାବରେ ସ୍ଥିର; ③ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ଅକ୍ଷ ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ୱାଫର ଅକ୍ଷ ମଧ୍ୟରେ ଢଳା କୋଣକୁ ଆଡଜଷ୍ଟ କରି, ଏକକ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର ପୃଷ୍ଠ ଆକୃତିକୁ ସକ୍ରିୟ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ ଯାହା ଦ୍ଵାରା ପୃଷ୍ଠ ଆକୃତି ସଠିକତା ହାସଲ କରାଯାଇପାରିବ। ଏହା ସହିତ, ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ରୋଟାରୀ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂର ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ କ୍ଷେତ୍ର ଏବଂ କଟିଙ୍ଗ କୋଣ θ ମଧ୍ୟ ବଡ଼ ମାର୍ଜିନ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ, ସହଜ ଅନଲାଇନ୍ ଘନତା ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା ଚିହ୍ନଟ ଏବଂ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ, କମ୍ପାକ୍ଟ ଉପକରଣ ଗଠନ, ସହଜ ମଲ୍ଟି-ଷ୍ଟେସନ୍ ସମନ୍ୱିତ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଦକ୍ଷତାର ସୁବିଧା ରହିଛି।
ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତା ବୃଦ୍ଧି କରିବା ଏବଂ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଲାଇନଗୁଡ଼ିକର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ, ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ରୋଟାରୀ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂର ନୀତି ଉପରେ ଆଧାରିତ ବାଣିଜ୍ୟିକ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଏକ ମଲ୍ଟି-ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ ମଲ୍ଟି-ଷ୍ଟେସନ୍ ଗଠନ ଗ୍ରହଣ କରନ୍ତି, ଯାହା ଗୋଟିଏ ଲୋଡିଂ ଏବଂ ଅନଲୋଡିଂରେ ରଫ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ଫାଇନ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ସମାପ୍ତ କରିପାରିବ। ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସହାୟକ ସୁବିଧା ସହିତ ମିଳିତ ଭାବରେ, ଏହା ସିଙ୍ଗଲ୍ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର "ଡ୍ରାଏ-ଇନ୍/ଡ୍ରାଏ-ଆଉଟ୍" ଏବଂ "କ୍ୟାସେଟ୍ ରୁ କ୍ୟାସେଟ୍" ର ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଅନୁଭବ କରିପାରିବ।

ଦୁଇ-ପାର୍ଶ୍ୱ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ:

ଯେତେବେଳେ ସିଲିକନ୍ ୱାଫର ରୋଟାରୀ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ସିଲିକନ୍ ୱାଫରର ଉପର ଏବଂ ତଳ ପୃଷ୍ଠକୁ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରେ, ସେତେବେଳେ ୱର୍କପିସ୍କୁ ଓଲଟାଇ ପର୍ଯ୍ୟାୟକ୍ରମେ କରାଯିବା ଆବଶ୍ୟକ, ଯାହା ଦକ୍ଷତାକୁ ସୀମିତ କରେ। ସେହି ସମୟରେ, ସିଲିକନ୍ ୱାଫର ରୋଟାରୀ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂରେ ପୃଷ୍ଠ ତ୍ରୁଟି କପି (କପି) ଏବଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚିହ୍ନ (ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂମାର୍କ) ଥାଏ, ଏବଂ ଚିତ୍ର 4 ରେ ଦେଖାଯାଇଥିବା ପରି, ତାର କଟିବା (ମଲ୍ଟି-ସ) ପରେ ସିଙ୍ଗଲ୍ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱାଫରର ପୃଷ୍ଠରେ ତରଙ୍ଗ ଏବଂ ଟେପର ଭଳି ତ୍ରୁଟିକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଦୂର କରିବା ଅସମ୍ଭବ। ଉପରୋକ୍ତ ତ୍ରୁଟିଗୁଡ଼ିକୁ ଦୂର କରିବା ପାଇଁ, 1990 ଦଶକରେ ଡବଲ୍-ସାଇଡେଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା (ଡବଲ୍ସାଇଡେଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ) ଦେଖାଯାଇଥିଲା, ଏବଂ ଏହାର ନୀତି ଚିତ୍ର 5 ରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି। ଉଭୟ ପାର୍ଶ୍ୱରେ ସମମିତ ଭାବରେ ବଣ୍ଟାଯାଇଥିବା କ୍ଲାମ୍ପଗୁଡ଼ିକ ରିଟେନ୍ିଙ୍ଗ୍ ରିଙ୍ଗରେ ସିଙ୍ଗଲ୍ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱାଫରକୁ କ୍ଲାମ୍ପ କରନ୍ତି ଏବଂ ରୋଲର ଦ୍ୱାରା ଧୀରେ ଧୀରେ ଘୂରନ୍ତି। କପ୍-ଆକୃତିର ହୀରା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକଗୁଡ଼ିକର ଏକ ଯୋଡ଼ା ସିଙ୍ଗଲ୍ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱାଫରର ଉଭୟ ପାର୍ଶ୍ୱରେ ଆପେକ୍ଷିକ ଭାବରେ ଅବସ୍ଥିତ। ବାୟୁ ବହନକାରୀ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ ଦ୍ୱାରା ଚାଳିତ, ସେମାନେ ବିପରୀତ ଦିଗରେ ଘୂରନ୍ତି ଏବଂ ସିଙ୍ଗଲ୍ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱାଫରର ଡବଲ୍-ସାଇଡେଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ଅକ୍ଷୀୟ ଭାବରେ ଖାଦ୍ୟ ଦିଅନ୍ତି। ଚିତ୍ରରୁ ଦେଖାଯାଇପାରିବ ଯେ, ତାର କାଟିବା ପରେ ଦୁଇପାର୍ଶ୍ଵ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ସିଙ୍ଗଲ୍ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର ପୃଷ୍ଠରେ ଥିବା ତରଙ୍ଗ ଏବଂ ଟେପରକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଦୂର କରିପାରିବ। ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ଅକ୍ଷର ବ୍ୟବସ୍ଥା ଦିଗ ଅନୁସାରେ, ଦୁଇପାର୍ଶ୍ଵ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଭୂସମାନ୍ତର ଏବଂ ଭୂଲମ୍ବ ହୋଇପାରେ। ସେମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରୁ, ଭୂସମାନ୍ତର ଦୁଇପାର୍ଶ୍ଵ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ସିଙ୍ଗଲ୍ ୱେଫରର ମୃତ ଓଜନ ଦ୍ୱାରା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଗୁଣବତ୍ତା ଉପରେ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ବିକୃତିର ପ୍ରଭାବକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ, ଏବଂ ଏହା ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ସହଜ ଯେ ସିଙ୍ଗଲ୍ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର ଉଭୟ ପାର୍ଶ୍ୱରେ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅବସ୍ଥା ସମାନ, ଏବଂ ଘୃଣ୍ୟ କଣିକା ଏବଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚିପ୍ସ ସିଙ୍ଗଲ୍ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର ପୃଷ୍ଠରେ ରହିବା ସହଜ ନୁହେଁ। ଏହା ଏକ ଅପେକ୍ଷାକୃତ ଆଦର୍ଶ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପଦ୍ଧତି।

ଚିତ୍ର ୪, ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂରେ "ତ୍ରୁଟି କପି" ଏବଂ ୱେୟାର ମାର୍କ ତ୍ରୁଟି

ଚିତ୍ର 5, ଦୁଇ-ପାର୍ଶ୍ୱ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ନୀତିର ଯୋଜନାବଦ୍ଧ ଚିତ୍ର

ସାରଣୀ 1 ଉପରୋକ୍ତ ତିନି ପ୍ରକାରର ସିଙ୍ଗଲ୍ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍‌ର ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ଡବଲ୍-ସାଇଡେଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ମଧ୍ୟରେ ତୁଳନା ଦର୍ଶାଉଛି। ଡବଲ୍-ସାଇଡେଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ମୁଖ୍ୟତଃ 200mm ତଳେ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଏବଂ ଏହାର ଉଚ୍ଚ ୱେଫର୍ ଉପଜ ଅଛି। ସ୍ଥିର ଆବ୍ରାସିଭ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ବ୍ୟବହାର ଯୋଗୁଁ, ସିଙ୍ଗଲ୍-କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍‌ର ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଡବଲ୍-ସାଇଡେଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଅପେକ୍ଷା ବହୁତ ଅଧିକ ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା ପାଇପାରିବ। ତେଣୁ, ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ରୋଟାରୀ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ଡବଲ୍-ସାଇଡେଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଉଭୟ ମୁଖ୍ୟଧାରାର 300mm ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍‌ର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଗୁଣବତ୍ତା ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ, ଏବଂ ବର୍ତ୍ତମାନ ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଫ୍ଲାଟେନିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପଦ୍ଧତି। ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ଫ୍ଲାଟେନିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପଦ୍ଧତି ଚୟନ କରିବା ସମୟରେ, ସିଙ୍ଗଲ୍-କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍‌ର ବ୍ୟାସ ଆକାର, ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ପଲିସିଂ ୱେଫର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ଆବଶ୍ୟକତାଗୁଡ଼ିକୁ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବିଚାର କରିବା ଆବଶ୍ୟକ। ୱେଫର୍‌ର ପଛ ପତଳା ହେବା କେବଳ ଏକକ-ପାର୍ଶ୍ୱ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପଦ୍ଧତି ଚୟନ କରିପାରିବ, ଯେପରିକି ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ରୋଟାରୀ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପଦ୍ଧତି।

ସିଲିକନ୍ ୱାଫର ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂରେ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପଦ୍ଧତି ଚୟନ କରିବା ସହିତ, ସକାରାତ୍ମକ ଚାପ, ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ଶସ୍ୟ ଆକାର, ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ବାଇଣ୍ଡର୍, ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଚକ ଗତି, ସିଲିକନ୍ ୱାଫର ଗତି, ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ତରଳ ସାନ୍ଦ୍ରତା ଏବଂ ପ୍ରବାହ ହାର ଇତ୍ୟାଦି ଯୁକ୍ତିଯୁକ୍ତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକର ଚୟନ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରିବା ଏବଂ ଏକ ଯୁକ୍ତିଯୁକ୍ତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାର୍ଗ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ। ସାଧାରଣତଃ, ଉଚ୍ଚ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଦକ୍ଷତା, ଉଚ୍ଚ ପୃଷ୍ଠ ସମତଳତା ଏବଂ କମ୍ ପୃଷ୍ଠ କ୍ଷତି ସହିତ ଏକକ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ପାଇବା ପାଇଁ ରଫ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ, ସେମି-ଫିନିସିଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ, ଫିନିସିଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ, ସ୍ପାର୍କ-ମୁକ୍ତ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ସ୍ଲୋ ବ୍ୟାକିଂ ସମେତ ଏକ ସେଗମେଣ୍ଟେଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ।