Cincin Grafit Berlapis Silikon Karbida CVD

Deskripsi Singkat:

Cincin grafit berlapis silikon karbida VET Energy adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Produk ini memiliki ketahanan panas dan keseragaman termal yang sangat baik, kemurnian tinggi, serta ketahanan terhadap erosi, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.

Kirim email kepada kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Sifat-Sifat Khas Material Grafit Dasar:

Kepadatan Tampak:	1,85 g/cm3
Resistivitas Listrik:	11 μΩm
Kekuatan Lentur:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Kekerasan Shore:	58
Abu:	<5ppm
Konduktivitas Termal:	116 W/mK (100 kkal/mhr-℃)

Kami menyediakan berbagai susceptor dan komponen grafit untuk semua reaktor epitaksi yang ada saat ini. Produk kami meliputi susceptor barel untuk unit LPE, susceptor pancake untuk unit LPE, CSD, dan Gemini, serta susceptor wafer tunggal untuk unit terapan dan ASM.

Dengan menggabungkan kemitraan yang kuat dengan OEM terkemuka, keahlian material, dan pengetahuan manufaktur, vet menawarkan desain optimal untuk aplikasi Anda.

VET Energy adalah ituProdusen asli produk grafit dan silikon karbida yang disesuaikan dengan pelapisan CVD,dapat memasokbermacam-macamKomponen khusus untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. OTim teknis kami berasal dari lembaga penelitian terkemuka di dalam negeri, sehingga dapat memberikan solusi material yang lebih profesional.untukmu.

FFitur-fitur produk kami:

1. Ketahanan oksidasi suhu tinggi hingga 1700℃.
2. Kemurnian tinggi dankeseragaman termal
3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam, dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, partikel halus.
5. Masa pakai lebih lama dan lebih tahan lama

Penyakit kardiovaskular SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dasar SiC CVDlapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Kepadatan	3,21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（beban 500g）
晶粒大小 Ukuran Butir	2~10μm
纯度 Kemurnian Kimiawi	99,99995%
热容 / Kapasitas Panas	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 Modulus Young	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
导热系数 / ThermalDaya konduksi	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1