Cincin Grafit Berlapis Karbida Silikon CVD

Deskripsi Singkat:

Cincin grafit berlapis silikon karbida VET Energy adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Produk ini memiliki ketahanan panas dan keseragaman termal yang sangat baik, kemurnian tinggi, ketahanan erosi, menjadikannya solusi yang sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.


Detail Produk

Label Produk

Sifat Khas Material Dasar Grafit:

Kepadatan Tampak: 1,85 gram/cm3
Resistivitas Listrik: 11 mikron
Kekuatan Lentur: Tekanan 49MPa (500kgf/cm2)
Kekerasan Pantai: 58
Abu: <5ppm
Konduktivitas Termal: 116 W/mK (100 kkal/mjam-℃)

Kami menyediakan berbagai susceptor dan komponen grafit untuk semua reaktor epitaksi saat ini. Produk kami meliputi susceptor barel untuk unit LPE, susceptor pancake untuk unit LPE, CSD, dan Gemini, serta susceptor wafer tunggal untuk unit terapan dan ASM.

Dengan menggabungkan kemitraan yang kuat dengan OEM terkemuka, keahlian material, dan pengetahuan manufaktur, vet menawarkan desain optimal untuk aplikasi Anda.

3

VET Energi adalah ituprodusen nyata produk grafit dan silikon karbida yang disesuaikan dengan lapisan CVD,dapat menyediakanbermacam-macamkomponen khusus untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. OTim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat memberikan solusi material yang lebih profesionaluntukmu.

FFitur produk kami:

1. Tahan oksidasi suhu tinggi hingga 1700.
2. Kemurnian tinggi dankeseragaman termal
3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, partikel halus.
5. Masa pakai lebih lama dan lebih tahan lama

Penyakit kardiovaskular SiC薄膜基本物理性能

Sifat fisik dasar CVD SiClapisan

性质 / Properti

典型数值 / Nilai Khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Kepadatan

3,21 gram/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(beban 500g)

晶粒大小 / Ukuran Butiran

Ukuran 2~10 mikrometer

纯度 / Kemurnian Kimia

99,99995%

热容 / Kapasitas Panas

640 J kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700℃

抗弯强度 / Kekuatan Lentur

415 MPa RT 4 titik

杨氏模量 / Modulus Young

430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃

导热系数 / TermaakuDaya konduksi

Daya 300Wm-1·K-1

热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Obrolan Daring WhatsApp!