Suseptor dan Pembawa Grafit Berlapis SiC untuk Wafer

Gambar Unggulan Susceptor dan Pembawa Grafit Berlapis SiC untuk Wafer

Deskripsi Singkat:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Produk ini memiliki ketahanan panas dan keseragaman termal yang sangat baik, kemurnian tinggi, serta ketahanan terhadap erosi, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.

Bahan:Grafit isostatik dengan kemurnian tinggi

Pemurnian: <5ppm

Lapisan:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-karbon

OEM ODM:Tersedia

Kirim email kepada kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Suspensi grafit berlapis SiCSiC merupakan komponen kunci yang digunakan dalam berbagai proses manufaktur semikonduktor. Kami menggunakan teknologi yang dipatenkan untuk membuat susceptor berlapis SiC dengan kemurnian yang sangat tinggi, keseragaman lapisan yang baik, dan masa pakai yang sangat baik, serta ketahanan kimia dan stabilitas termal yang tinggi.

Fitur-fitur produk kami:

1. Ketahanan oksidasi suhu tinggi hingga 1700℃.
2. Kemurnian tinggi dan keseragaman termal
3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam, dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, partikel halus.
5. Masa pakai lebih lama dan lebih tahan lama

Penyakit kardiovaskular SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dasar SiC CVDlapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Kepadatan	3,21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（beban 500g）
晶粒大小 Ukuran Butir	2~10μm
纯度 Kemurnian Kimiawi	99,99995%
热容 / Kapasitas Panas	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 Modulus Young	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
导热系数 / ThermalDaya konduksi	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy adalah produsen profesional yang fokus pada penelitian dan pengembangan serta produksi material canggih kelas atas seperti grafit, silikon karbida, kuarsa, serta pengolahan material seperti pelapisan SiC, pelapisan TaC, pelapisan karbon kaca, pelapisan karbon pirolitik, dll. Produk-produk tersebut banyak digunakan dalam bidang fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian terkemuka di dalam negeri, dan dapat memberikan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Keunggulan VET Energy meliputi:
• Memiliki pabrik dan laboratorium profesional sendiri;
• Tingkat kemurnian dan kualitas terdepan di industri;
• Harga kompetitif & Waktu pengiriman cepat;
• Berbagai kemitraan industri di seluruh dunia;

Kami menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik dan laboratorium kami kapan saja!