Suseptor dan Pembawa Grafit Berlapis SiC untuk Wafer

Deskripsi Singkat:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Produk ini memiliki ketahanan panas dan keseragaman termal yang sangat baik, kemurnian tinggi, ketahanan erosi, menjadikannya solusi yang sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.

Bahan:Grafit isostatik dengan kemurnian tinggi

Pemurnian: <5ppm

Lapisan:CVD-SiC, CVD-TaC, Piro-karbon

Produk OEM dan ODM:Tersedia

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Wadah grafit berlapis SiCmerupakan komponen utama yang digunakan dalam berbagai proses produksi semikonduktor. Kami menggunakan teknologi yang telah dipatenkan untuk membuat substrat berlapis SiC dengan kemurnian yang sangat tinggi, keseragaman lapisan yang baik, dan masa pakai yang sangat baik, serta ketahanan kimia dan sifat stabilitas termal yang tinggi.

Fitur produk kami:

1. Tahan terhadap oksidasi suhu tinggi hingga 1700℃.
2. Kemurnian tinggi dan keseragaman termal
3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, partikel halus.
5. Masa pakai lebih lama dan lebih tahan lama

Penyakit kardiovaskular SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dasar CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Kepadatan	3,21 gram/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（beban 500g）
晶粒大小 / Ukuran Butiran	Ukuran 2~10 mikrometer
纯度 / Kemurnian Kimia	99,99995%
热容 / Kapasitas Panas	640 J kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 / Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃
导热系数 / TermaakuDaya konduksi	Daya 300Wm^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy adalah produsen profesional yang berfokus pada penelitian dan pengembangan serta produksi material canggih kelas atas seperti grafit, silikon karbida, kuarsa, serta perawatan material seperti pelapisan SiC, pelapisan TaC, pelapisan karbon kaca, pelapisan karbon pirolitik, dll. Produk-produk tersebut banyak digunakan dalam fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat menyediakan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Keunggulan VET Energy meliputi:
• Pabrik sendiri dan laboratorium profesional;
• Tingkat kemurnian dan kualitas terdepan di industri;
• Harga kompetitif & Waktu pengiriman cepat;
• Berbagai kemitraan industri di seluruh dunia;

Kami mengundang Anda untuk mengunjungi pabrik dan laboratorium kami kapan saja!