Silikonkarbiedlaag,Algemeen bekend as SiC-bedekking, verwys dit na die proses om 'n laag silikonkarbied op oppervlaktes aan te wend deur middel van metodes soos Chemiese Dampneerslag (CVD), Fisiese Dampneerslag (PVD) of termiese bespuiting. Hierdie silikonkarbied-keramiekbedekking verbeter die oppervlakeienskappe van verskeie substrate deur uitsonderlike slytasieweerstand, termiese stabiliteit en korrosiebeskerming te bied. SiC is bekend vir sy uitstaande fisiese en chemiese eienskappe, insluitend 'n hoë smeltpunt (ongeveer 2700 ℃), uiterste hardheid (Mohs-skaal 9), uitstekende korrosie- en oksidasieweerstand, en uitsonderlike ablasieprestasie.
Belangrike voordele van silikonkarbiedbedekking in industriële toepassings
As gevolg van hierdie eienskappe word silikonkarbiedbedekkings wyd gebruik in velde soos lugvaart, wapentoerusting en halfgeleierverwerking. In uiterste omgewings, veral binne die 1800-2000 ℃-reeks, vertoon SiC-bedekkings merkwaardige termiese stabiliteit en ablatiewe weerstand, wat dit ideaal maak vir hoëtemperatuurtoepassings. Silikonkarbied alleen het egter nie die strukturele integriteit wat vir baie toepassings benodig word nie, daarom word bedekkingsmetodes gebruik om die unieke eienskappe daarvan te benut sonder om komponentsterkte in die gedrang te bring. In halfgeleiervervaardiging bied silikonkarbiedbedekte elemente betroubare beskerming en werkverrigtingsstabiliteit binne toerusting wat in MOCVD-prosesse gebruik word.
Algemene metodes vir die voorbereiding van silikonkarbiedbedekkings
Ⅰ● Chemiese dampafsetting (CVD) silikonkarbiedlaag
In hierdie metode word SiC-bedekkings gevorm deur substrate in 'n reaksiekamer te plaas, waar metieltrichlorosilaan (MTS) as 'n voorloper optree. Onder beheerde toestande – tipies 950-1300°C en negatiewe druk – ondergaan die MTS ontbinding, en silikonkarbied word op die oppervlak neergelê. Hierdie CVD SiC-bedekkingsproses verseker 'n digte, eenvormige laag met uitstekende adhesie, ideaal vir hoë-presisie toepassings in die halfgeleier- en lugvaartsektore.
II● Voorloper-omskakelingsmetode (Polimeerimpregnasie en Pirolise – PIP)
Nog 'n effektiewe silikonkarbied-spuitbedekkingsbenadering is die voorloper-omskakelingsmetode, wat die onderdompeling van die voorbehandelde monster in 'n keramiek-voorloperoplossing behels. Nadat die impregneringstenk gestofsuig is en die deklaag onder druk geplaas is, word die monster verhit, wat lei tot die vorming van silikonkarbied-deklaag na afkoeling. Hierdie metode word verkies vir komponente wat 'n eenvormige deklaagdikte en verbeterde slytasieweerstand benodig.
Fisiese eienskappe van silikonkarbiedlaag
Silikonkarbiedbedekkings vertoon eienskappe wat hulle ideaal maak vir veeleisende industriële toepassings. Hierdie eienskappe sluit in:
Termiese geleidingsvermoë: 120-270 W/m·K
Koëffisiënt van termiese uitbreiding: 4.3 × 10^(-6)/K (teen 20~800℃)
Elektriese weerstand: 10^5– 10^6Ω·cm
Hardheid: Mohs-skaal 9
Toepassings van silikonkarbiedbedekking
In halfgeleiervervaardiging beskerm silikonkarbiedbedekkings vir MOCVD en ander hoëtemperatuurprosesse kritieke toerusting, soos reaktore en susceptors, deur beide hoëtemperatuurweerstand en stabiliteit te bied. In lugvaart en verdediging word silikonkarbied-keramiekbedekkings aangewend op komponente wat hoëspoed-impakte en korrosiewe omgewings moet weerstaan. Verder kan silikonkarbiedverf of -bedekkings ook gebruik word op mediese toestelle wat duursaamheid onder sterilisasieprosedures benodig.
Waarom kies jy 'n silikonkarbiedlaag?
Met 'n bewese rekord in die verlenging van komponentlewe, bied silikonkarbiedbedekkings ongeëwenaarde duursaamheid en temperatuurstabiliteit, wat hulle koste-effektief maak vir langtermyngebruik. Deur 'n silikonkarbiedbedekte oppervlak te kies, trek nywerhede voordeel uit laer onderhoudskoste, verbeterde toerustingbetroubaarheid en verbeterde operasionele doeltreffendheid.
Waarom VETERANIE-ENERGIE kies?
VET ENERGY is 'n professionele vervaardiger en fabriek van silikonkarbied-bedekkingsprodukte in China. Die belangrikste SiC-bedekkingsprodukte sluit in silikonkarbied-keramiekbedekkingsverwarmer,CVD Silikonkarbiedlaag MOCVD Susceptor, MOCVD Grafietdraer met CVD SiC-laag, SiC-bedekte grafietbasisdraers, Silikonkarbiedbedekte grafietsubstraat vir halfgeleier,SiC-bedekking/bedekte grafietsubstraat/bakkie vir halfgeleier, CVD SiC Bedekte Koolstof-koolstof Saamgestelde CFC BootvormVET ENERGY is daartoe verbind om gevorderde tegnologie en produkoplossings vir die halfgeleierbedryf te verskaf. Ons hoop opreg om u langtermynvennoot in China te word.
Plasingstyd: 2 September 2023
