የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ምንድን ነው?

የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን፣በተለምዶ SiC ሽፋን በመባል የሚታወቀው፣ እንደ ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (CVD)፣ ፊዚካል ትነት ዲፖዚሽን (PVD) ወይም ቴርማል ስፕሬይ ባሉ ዘዴዎች አማካኝነት የሲሊኮን ካርቢይድ ንብርብር በገጽታዎች ላይ የመተግበር ሂደትን ያመለክታል። ይህ የሲሊኮን ካርቢይድ ሴራሚክ ሽፋን ልዩ የሆነ የመልበስ መቋቋም፣ የሙቀት መረጋጋት እና የዝገት መከላከያ በመስጠት የተለያዩ ንጣፎችን የገጽታ ባህሪያትን ያሻሽላል። SiC ከፍተኛ የመቅለጥ ነጥብ (በግምት 2700℃)፣ ከፍተኛ ጥንካሬ (Mohs ልኬት 9)፣ እጅግ በጣም ጥሩ የዝገት እና የኦክሳይድ መቋቋም እና ልዩ የመደምሰስ አፈፃፀምን ጨምሮ በሚያስደንቅ አካላዊ እና ኬሚካላዊ ባህሪያቱ ይታወቃል።

በኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ዋና ዋና ጥቅሞች

በእነዚህ ባህሪያት ምክንያት፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን እንደ ኤሮስፔስ፣ የጦር መሳሪያ መሳሪያዎች እና ሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ ባሉ መስኮች በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። በከባድ አካባቢዎች፣ በተለይም በ1800-2000℃ ክልል ውስጥ፣ የSiC ሽፋን አስደናቂ የሙቀት መረጋጋት እና የአብላቲቭ መቋቋምን ያሳያል፣ ይህም ለከፍተኛ ሙቀት አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ያደርገዋል። ሆኖም፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ብቻውን ለብዙ አፕሊኬሽኖች የሚያስፈልገውን መዋቅራዊ ታማኝነት የለውም፣ ስለዚህ የሽፋን ዘዴዎች የክፍሉን ጥንካሬ ሳይጎዱ ልዩ ባህሪያቱን ለመጠቀም ያገለግላሉ። በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ያላቸው አካላት በMOCVD ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ በሚውሉ መሳሪያዎች ውስጥ አስተማማኝ ጥበቃ እና የአፈጻጸም መረጋጋት ይሰጣሉ።

የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ዝግጅት የተለመዱ ዘዴዎች

Ⅰ● የኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (CVD) የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን

በዚህ ዘዴ፣ የSiC ሽፋኖች የሚፈጠሩት ሜቲልትሪክሎሮሲላን (MTS) እንደ ቅድመ ሁኔታ ሆኖ በሚያገለግልበት የምላሽ ክፍል ውስጥ ንጣፎችን በማስቀመጥ ነው። በተቆጣጠሩ ሁኔታዎች - በተለምዶ ከ950-1300°ሴ እና አሉታዊ ግፊት - MTS ይፈርሳል፣ እና የሲሊኮን ካርቦይድ በላዩ ላይ ይቀመጣል። ይህ የCVD SiC ሽፋን ሂደት ጥቅጥቅ ያለ፣ ወጥ የሆነ ሽፋን ያለው እና በሴሚኮንዳክተር እና በኤሮስፔስ ዘርፎች ውስጥ ለከፍተኛ ትክክለኛነት አፕሊኬሽኖች ተስማሚ መሆኑን ያረጋግጣል።

Ⅱ● የቅድመ-መቀየሪያ ልወጣ ዘዴ (ፖሊመር ኢምፕሬግናሽን እና ፒሮሊሲስ - ፒአይፒ)

ሌላው ውጤታማ የሲሊኮን ካርቦይድ የሚረጭ ሽፋን አቀራረብ የቅድመ-መቀየሪያ ዘዴ ሲሆን ይህም አስቀድሞ የታከመውን ናሙና በሴራሚክ ፕሪኮርደር መፍትሄ ውስጥ ማስገባትን ያካትታል። የመርጨት ታንኩን በቫክዩም ካጸዳ እና ሽፋኑን ከተጫነ በኋላ ናሙናው ይሞቃል፣ ይህም ሲቀዘቅዝ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን እንዲፈጠር ያደርጋል። ይህ ዘዴ ወጥ የሆነ የሽፋን ውፍረት እና የተሻሻለ የአለባበስ መቋቋም ለሚፈልጉ ክፍሎች ተመራጭ ነው።

የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን አካላዊ ባህሪያት

የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋኖች ለኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች ተስማሚ የሚያደርጓቸው ባህሪያት አሏቸው። እነዚህ ባህሪያት የሚከተሉትን ያካትታሉ፡

የሙቀት ማስተላለፊያ፡ 120-270 W/m·K
የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት፡ 4.3 × 10^^(-6)/ኬ (በ20~800℃)
የኤሌክትሪክ መቋቋም ችሎታ፡ 10^⁵– 10^⁶Ω·ሴሜ
ጥንካሬ፡ የሞህስ ሚዛን 9

የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን አፕሊኬሽኖች

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ፣ ለMOCVD እና ለሌሎች ከፍተኛ የሙቀት መጠን ሂደቶች የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን እንደ ሬአክተሮች እና ሱሰሰተሮች ያሉ ወሳኝ መሳሪያዎችን ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም እና መረጋጋትን በማቅረብ ይከላከላል። በአየር በረራ እና በመከላከያ ውስጥ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ ሽፋኖች ከፍተኛ ፍጥነት ያላቸውን ተፅእኖዎች እና የዝገት አካባቢዎችን መቋቋም በሚያስፈልጋቸው ክፍሎች ላይ ይተገበራሉ። በተጨማሪም፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ቀለም ወይም ሽፋኖች በማምከን ሂደቶች ስር ዘላቂነት በሚያስፈልጋቸው የሕክምና መሳሪያዎች ላይም ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ።

የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ለምን ይመርጣሉ?

የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋኖች የክፍሉን ዕድሜ በማራዘም ረገድ የተረጋገጠ ሪከርድ ስላላቸው ተወዳዳሪ የሌለው ዘላቂነት እና የሙቀት መረጋጋት ይሰጣሉ፣ ይህም ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ የሚውሉ ወጪዎችን ይቀንሳል። የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ያለው ወለል በመምረጥ ኢንዱስትሪዎች የጥገና ወጪዎችን በመቀነስ፣ የመሳሪያዎችን አስተማማኝነት በመጨመር እና የተሻሻለ የአሠራር ቅልጥፍናን ይጠቀማሉ።

የቬት ኢነርጂ ለምን መምረጥ አለብዎት?

VET ENERGY በቻይና የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ምርቶች ፕሮፌሽናል አምራች እና ፋብሪካ ነው። ዋናዎቹ የሲሲ ሽፋን ምርቶች የሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ ሽፋን ማሞቂያ ያካትታሉ፣የሲቪዲ ሲሊከን ካርባይድ ሽፋን MOCVD ሱሴፕተር, የMOCVD ግራፋይት ተሸካሚ ከCVD SiC ሽፋን ጋር, የሲሲ ሽፋን ያለው የግራፋይት ቤዝ ተሸካሚዎች, ለሴሚኮንዳክተር በሲሊኮን ካርባይድ የተሸፈነ ግራፋይት ንጣፍ፣ለሴሚኮንዳክተር የሲሲ ሽፋን/የተሸፈነ ግራፋይት ንጣፍ/ትሪ, የሲቪዲ ሲሲ የተሸፈነ የካርቦን-ካርቦን ኮምፖዚት ሲኤፍሲ የጀልባ ሻጋታየቬት ኢነርጂ ለሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ የላቀ ቴክኖሎጂ እና የምርት መፍትሄዎችን ለማቅረብ ቁርጠኛ ነው። በቻይና የረጅም ጊዜ አጋርዎ ለመሆን ከልብ ተስፋ እናደርጋለን።