Hva er silisiumkarbidbelegg?

Silisiumkarbidbelegg,SiC-belegg, ofte kjent som SiC-belegg, refererer til prosessen med å påføre et lag med silisiumkarbid på overflater gjennom metoder som kjemisk dampavsetning (CVD), fysisk dampavsetning (PVD) eller termisk sprøyting. Dette keramiske silisiumkarbidbelegget forbedrer overflateegenskapene til ulike underlag ved å gi eksepsjonell slitestyrke, termisk stabilitet og korrosjonsbeskyttelse. SiC er kjent for sine enestående fysiske og kjemiske egenskaper, inkludert et høyt smeltepunkt (omtrent 2700 ℃), ekstrem hardhet (Mohs-skala 9), utmerket korrosjons- og oksidasjonsmotstand og eksepsjonell ablasjonsytelse.

Viktige fordeler med silisiumkarbidbelegg i industrielle applikasjoner

På grunn av disse egenskapene er silisiumkarbidbelegg mye brukt innen felt som luftfart, våpenutstyr og halvlederbehandling. I ekstreme miljøer, spesielt innenfor området 1800–2000 ℃, viser SiC-belegg bemerkelsesverdig termisk stabilitet og ablativ motstand, noe som gjør det ideelt for høytemperaturapplikasjoner. Silisiumkarbid alene mangler imidlertid den strukturelle integriteten som er nødvendig for mange bruksområder, så beleggmetoder brukes for å utnytte dets unike egenskaper uten å gå på kompromiss med komponentstyrken. I halvlederproduksjon gir silisiumkarbidbelagte elementer pålitelig beskyttelse og ytelsesstabilitet i utstyr som brukes i MOCVD-prosesser.

Vanlige metoder for fremstilling av silisiumkarbidbelegg

Ⅰ● Kjemisk dampavsetning (CVD) silisiumkarbidbelegg

I denne metoden dannes SiC-belegg ved å plassere substrater i et reaksjonskammer, hvor metyltriklorsilan (MTS) fungerer som en forløper. Under kontrollerte forhold – vanligvis 950–1300 °C og negativt trykk – gjennomgår MTS dekomponering, og silisiumkarbid avsettes på overflaten. Denne CVD SiC-beleggingsprosessen sikrer et tett, jevnt belegg med utmerket vedheft, ideelt for høypresisjonsapplikasjoner innen halvleder- og luftfartssektoren.

II.● Forløperkonverteringsmetode (polymerimpregnering og pyrolyse – PIP)

En annen effektiv metode for sprøytebelegg av silisiumkarbid er prekursorkonverteringsmetoden, som innebærer å senke den forbehandlede prøven ned i en keramisk prekursorløsning. Etter at impregneringstanken er vakuumert og belegget er satt under trykk, varmes prøven opp, noe som fører til dannelse av silisiumkarbidbelegg ved avkjøling. Denne metoden er foretrukket for komponenter som krever jevn beleggtykkelse og forbedret slitestyrke.

Fysiske egenskaper ved silisiumkarbidbelegg

Silisiumkarbidbelegg har egenskaper som gjør dem ideelle for krevende industrielle applikasjoner. Disse egenskapene inkluderer:

Varmeledningsevne: 120–270 W/m·K
Termisk utvidelseskoeffisient: 4,3 × 10^^(-6)/K (ved 20~800℃)
Elektrisk resistivitet: 10^⁵– 10^⁶Ω·cm
Hardhet: Mohs skala 9

Anvendelser av silisiumkarbidbelegg

I halvlederproduksjon beskytter silisiumkarbidbelegg for MOCVD og andre høytemperaturprosesser kritisk utstyr, som reaktorer og susceptorer, ved å tilby både høytemperaturmotstand og stabilitet. Innen luftfart og forsvar påføres keramiske silisiumkarbidbelegg på komponenter som må tåle høyhastighetsstøt og korrosive miljøer. Videre kan silisiumkarbidmaling eller -belegg også brukes på medisinsk utstyr som krever holdbarhet under steriliseringsprosedyrer.

Hvorfor velge silisiumkarbidbelegg?

Med dokumenterte resultater innen forlengelse av komponenters levetid gir silisiumkarbidbelegg uovertruffen holdbarhet og temperaturstabilitet, noe som gjør dem kostnadseffektive for langvarig bruk. Ved å velge en silisiumkarbidbelagt overflate drar industrien nytte av reduserte vedlikeholdskostnader, forbedret utstyrspålitelighet og forbedret driftseffektivitet.

Hvorfor velge VET ENERGY?

VET ENERGY er en profesjonell produsent og fabrikk av silisiumkarbidbeleggprodukter i Kina. De viktigste SiC-beleggproduktene inkluderer keramisk silisiumkarbidbeleggvarmer,CVD silisiumkarbidbelegg MOCVD-susceptor, MOCVD grafittbærer med CVD SiC-belegg, SiC-belagte grafittbasebærereSilisiumkarbidbelagt grafittsubstrat for halvledere,SiC-belegg/belagt grafittsubstrat/brett for halvledere, CVD SiC-belagt karbon-karbon-kompositt CFC-båtformVET ENERGY er forpliktet til å tilby avansert teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien. Vi håper inderlig å bli din langsiktige partner i Kina.