Kas ir silīcija karbīda pārklājums?

Silīcija karbīda pārklājums,SiC pārklājums, kas plašāk pazīstams kā SiC pārklājums, attiecas uz silīcija karbīda slāņa uzklāšanas procesu uz virsmām, izmantojot tādas metodes kā ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD), fizikālā tvaiku pārklāšana (PVD) vai termiskā izsmidzināšana. Šis silīcija karbīda keramikas pārklājums uzlabo dažādu substrātu virsmas īpašības, piešķirot tiem izcilu nodilumizturību, termisko stabilitāti un aizsardzību pret koroziju. SiC ir pazīstams ar savām izcilajām fizikālajām un ķīmiskajām īpašībām, tostarp augstu kušanas temperatūru (aptuveni 2700 ℃), ārkārtīgu cietību (Mohsa skala 9), lielisku izturību pret koroziju un oksidēšanos, kā arī izcilu ablācijas veiktspēju.

Silīcija karbīda pārklājuma galvenās priekšrocības rūpnieciskos lietojumos

Šo īpašību dēļ silīcija karbīda pārklājums tiek plaši izmantots tādās jomās kā aviācija un kosmoss, ieroču aprīkojums un pusvadītāju apstrāde. Ekstremālos apstākļos, īpaši 1800–2000 ℃ diapazonā, SiC pārklājumam piemīt ievērojama termiskā stabilitāte un ablācijas izturība, padarot to ideāli piemērotu augstas temperatūras pielietojumiem. Tomēr silīcija karbīdam vienam pašam trūkst strukturālās integritātes, kas nepieciešama daudziem pielietojumiem, tāpēc tiek izmantotas pārklāšanas metodes, lai izmantotu tā unikālās īpašības, neapdraudot komponentu izturību. Pusvadītāju ražošanā ar silīcija karbīdu pārklāti elementi nodrošina uzticamu aizsardzību un veiktspējas stabilitāti iekārtās, ko izmanto MOCVD procesos.

Silīcija karbīda pārklājuma sagatavošanas izplatītākās metodes

Ⅰ● Ķīmiskās tvaiku pārklāšanas (CVD) silīcija karbīda pārklājums

Šajā metodē SiC pārklājumus veido, ievietojot substrātus reakcijas kamerā, kur metiltrihlorosilāns (MTS) darbojas kā prekursors. Kontrolētos apstākļos — parasti 950–1300 °C temperatūrā un negatīvā spiedienā — MTS sadalās, un uz virsmas tiek nogulsnēts silīcija karbīds. Šis CVD SiC pārklāšanas process nodrošina blīvu, vienmērīgu pārklājumu ar lielisku saķeri, kas ir ideāli piemērots augstas precizitātes pielietojumiem pusvadītāju un kosmosa nozarēs.

II● Prekursoru konversijas metode (polimēru impregnēšana un pirolīze – PIP)

Vēl viena efektīva silīcija karbīda izsmidzināšanas pārklāšanas metode ir prekursora konversijas metode, kas ietver iepriekš apstrādāta parauga iegremdēšanu keramikas prekursora šķīdumā. Pēc impregnēšanas tvertnes vakuuma apstrādes un pārklājuma spiediena paaugstināšanas paraugu karsē, atdzesējot, veidojot silīcija karbīda pārklājumu. Šī metode ir ieteicama detaļām, kurām nepieciešams vienmērīgs pārklājuma biezums un uzlabota nodilumizturība.

Silīcija karbīda pārklājuma fizikālās īpašības

Silīcija karbīda pārklājumiem piemīt īpašības, kas padara tos ideāli piemērotus sarežģītiem rūpnieciskiem pielietojumiem. Šīs īpašības ietver:

Siltumvadītspēja: 120–270 W/m·K
Termiskās izplešanās koeficients: 4,3 × 10^^(-6)/K (pie 20 ~ 800 ℃)
Elektriskā pretestība: 10^⁵– 10^⁶Ω·cm
Cietība: Mosa skala 9

Silīcija karbīda pārklājuma pielietojumi

Pusvadītāju ražošanā silīcija karbīda pārklājums MOCVD un citiem augstas temperatūras procesiem aizsargā kritiski svarīgas iekārtas, piemēram, reaktorus un susceptorus, nodrošinot gan izturību pret augstu temperatūru, gan stabilitāti. Kosmosa un aizsardzības nozarē silīcija karbīda keramikas pārklājumus uzklāj uz detaļām, kurām jāiztur ātrgaitas triecieni un kodīga vide. Turklāt silīcija karbīda krāsu vai pārklājumus var izmantot arī medicīnas ierīcēm, kurām nepieciešama izturība sterilizācijas procedūru laikā.

Kāpēc izvēlēties silīcija karbīda pārklājumu?

Ar pierādītu pieredzi detaļu kalpošanas laika pagarināšanā, silīcija karbīda pārklājumi nodrošina nepārspējamu izturību un temperatūras stabilitāti, padarot tos rentablus ilgstošai lietošanai. Izvēloties ar silīcija karbīda pārklājumu pārklātu virsmu, nozares gūst labumu no samazinātām uzturēšanas izmaksām, uzlabotas iekārtu uzticamības un uzlabotas darbības efektivitātes.

Kāpēc izvēlēties VET ENERGY?

VET ENERGY ir profesionāls silīcija karbīda pārklājumu produktu ražotājs un rūpnīca Ķīnā. Galvenie SiC pārklājumu produkti ietver silīcija karbīda keramikas pārklājuma sildītāju,CVD silīcija karbīda pārklājums MOCVD susceptors, MOCVD grafīta nesējs ar CVD SiC pārklājumu, SiC pārklāti grafīta bāzes nesēji, Ar silīcija karbīdu pārklāts grafīta substrāts pusvadītājiem,SiC pārklājums/pārklāts grafīta substrāts/paplāte pusvadītājiem, CVD SiC pārklāta oglekļa-oglekļa kompozītmateriāla CFC laivu veidneVET ENERGY ir apņēmies nodrošināt progresīvas tehnoloģijas un produktu risinājumus pusvadītāju nozarei. Mēs patiesi ceram kļūt par jūsu ilgtermiņa partneri Ķīnā.