Kiselkarbidbeläggning,Allmänt känd som SiC-beläggning, avser processen att applicera ett lager kiselkarbid på ytor genom metoder som kemisk ångdeponering (CVD), fysisk ångdeponering (PVD) eller termisk sprutning. Denna keramiska kiselkarbidbeläggning förbättrar ytegenskaperna hos olika substrat genom att ge exceptionell slitstyrka, termisk stabilitet och korrosionsskydd. SiC är känt för sina enastående fysikaliska och kemiska egenskaper, inklusive en hög smältpunkt (cirka 2700 ℃), extrem hårdhet (Mohs-skala 9), utmärkt korrosions- och oxidationsbeständighet och exceptionell ablationsprestanda.
Viktiga fördelar med kiselkarbidbeläggning i industriella tillämpningar
På grund av dessa egenskaper används kiselkarbidbeläggningar i stor utsträckning inom områden som flyg- och rymdteknik, vapenutrustning och halvledarbearbetning. I extrema miljöer, särskilt inom temperaturområdet 1800–2000 ℃, uppvisar SiC-beläggningar anmärkningsvärd termisk stabilitet och ablativ motståndskraft, vilket gör dem idealiska för högtemperaturapplikationer. Kiselkarbid ensamt saknar dock den strukturella integritet som behövs för många tillämpningar, så beläggningsmetoder används för att utnyttja dess unika egenskaper utan att kompromissa med komponentstyrkan. Vid halvledartillverkning ger kiselkarbidbelagda element tillförlitligt skydd och prestandastabilitet i utrustning som används i MOCVD-processer.
Vanliga metoder för framställning av kiselkarbidbeläggningar
Ⅰ● Kemisk ångdeponering (CVD) kiselkarbidbeläggning
I denna metod bildas SiC-beläggningar genom att placera substrat i en reaktionskammare, där metyltriklorsilan (MTS) fungerar som en prekursor. Under kontrollerade förhållanden – vanligtvis 950–1300 °C och negativt tryck – genomgår MTS:en nedbrytning, och kiselkarbid avsätts på ytan. Denna CVD SiC-beläggningsprocess säkerställer en tät, enhetlig beläggning med utmärkt vidhäftning, idealisk för högprecisionstillämpningar inom halvledar- och flygindustrin.
II● Prekursoromvandlingsmetod (polymerimpregnering och pyrolys – PIP)
En annan effektiv metod för sprutbeläggning av kiselkarbid är prekursorkonverteringsmetoden, som innebär att det förbehandlade provet nedsänks i en keramisk prekursorlösning. Efter att impregneringstanken vakuumsugits och beläggningen trycksatts, värms provet upp, vilket leder till kiselkarbidbeläggning vid kylning. Denna metod är lämplig för komponenter som kräver jämn beläggningstjocklek och förbättrad slitstyrka.
Fysikaliska egenskaper hos kiselkarbidbeläggning
Kiselkarbidbeläggningar uppvisar egenskaper som gör dem idealiska för krävande industriella tillämpningar. Dessa egenskaper inkluderar:
Värmeledningsförmåga: 120–270 W/m·K
Värmeutvidgningskoefficient: 4,3 × 10^(-6)/K (vid 20~800℃)
Elektrisk resistivitet: 10^5– 10^6Ω·cm
Hårdhet: Mohs skala 9
Tillämpningar av kiselkarbidbeläggning
Inom halvledartillverkning skyddar kiselkarbidbeläggningar för MOCVD och andra högtemperaturprocesser kritisk utrustning, såsom reaktorer och susceptorer, genom att erbjuda både högtemperaturbeständighet och stabilitet. Inom flyg- och rymdfart och försvar appliceras keramiska kiselkarbidbeläggningar på komponenter som måste motstå höghastighetsstötar och korrosiva miljöer. Dessutom kan kiselkarbidfärg eller beläggningar också användas på medicintekniska produkter som kräver hållbarhet under steriliseringsprocedurer.
Varför välja kiselkarbidbeläggning?
Med dokumenterad erfarenhet av att förlänga komponenternas livslängd ger kiselkarbidbeläggningar oöverträffad hållbarhet och temperaturstabilitet, vilket gör dem kostnadseffektiva för långvarig användning. Genom att välja en kiselkarbidbelagd yta drar industrier nytta av minskade underhållskostnader, förbättrad utrustningstillförlitlighet och förbättrad driftseffektivitet.
Varför välja VET ENERGY?
VET ENERGY är en professionell tillverkare och fabrik av kiselkarbidbeläggningsprodukter i Kina. De viktigaste SiC-beläggningsprodukterna inkluderar kiselkarbidkeramisk beläggningsvärmare,CVD-kiselkarbidbeläggning MOCVD-susceptor, MOCVD grafitbärare med CVD SiC-beläggning, SiC-belagda grafitbasbärare, Kiselkarbidbelagt grafitsubstrat för halvledare,SiC-beläggning/belagt grafitsubstrat/bricka för halvledare, CVD SiC-belagd kol-kol-komposit CFC-båtformVET ENERGY har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknik och produktlösningar för halvledarindustrin. Vi hoppas innerligt kunna bli er långsiktiga partner i Kina.
Publiceringstid: 2 september 2023