Povlak z karbidu kremíka,Bežne známy ako povlak SiC, označuje proces nanášania vrstvy karbidu kremíka na povrchy metódami, ako je chemické nanášanie z pár (CVD), fyzikálne nanášanie z pár (PVD) alebo tepelné striekanie. Tento keramický povlak z karbidu kremíka zlepšuje povrchové vlastnosti rôznych substrátov tým, že im dodáva výnimočnú odolnosť proti opotrebovaniu, tepelnú stabilitu a ochranu proti korózii. SiC je známy svojimi vynikajúcimi fyzikálnymi a chemickými vlastnosťami vrátane vysokého bodu topenia (približne 2700 ℃), extrémnej tvrdosti (Mohsova stupnica 9), vynikajúcej odolnosti voči korózii a oxidácii a výnimočného ablačného výkonu.
Kľúčové výhody povlaku z karbidu kremíka v priemyselných aplikáciách
Vďaka týmto vlastnostiam sa povlaky z karbidu kremíka široko používajú v oblastiach, ako je letecký a kozmický priemysel, zbraňové zariadenia a spracovanie polovodičov. V extrémnych prostrediach, najmä v rozsahu 1800 – 2000 ℃, vykazuje povlak SiC pozoruhodnú tepelnú stabilitu a odolnosť voči ablacii, vďaka čomu je ideálny pre aplikácie pri vysokých teplotách. Samotný karbid kremíka však nemá štrukturálnu integritu potrebnú pre mnohé aplikácie, preto sa používajú metódy povlakovania, ktoré využívajú jeho jedinečné vlastnosti bez toho, aby sa ohrozila pevnosť súčiastok. Pri výrobe polovodičov poskytujú prvky s povlakom z karbidu kremíka spoľahlivú ochranu a stabilitu výkonu v zariadeniach používaných v procesoch MOCVD.
Bežné metódy prípravy povlakov z karbidu kremíka
Ⅰ● Chemické nanášanie z pár (CVD) karbidom kremíka
Pri tejto metóde sa povlaky SiC vytvárajú umiestnením substrátov do reakčnej komory, kde metyltrichlórsilán (MTS) pôsobí ako prekurzor. Za kontrolovaných podmienok – zvyčajne 950 – 1300 °C a podtlaku – sa MTS rozkladá a na povrch sa ukladá karbid kremíka. Tento proces CVD povlakovania SiC zaisťuje hustý, rovnomerný povlak s vynikajúcou priľnavosťou, ideálny pre vysoko presné aplikácie v polovodičovom a leteckom priemysle.
Ⅱ● Metóda konverzie prekurzorov (impregnácia a pyrolýza polymérov – PIP)
Ďalším účinným prístupom k nanášaniu povlaku striekaním karbidu kremíka je metóda konverzie prekurzora, ktorá zahŕňa ponorenie predspracovanej vzorky do roztoku keramického prekurzora. Po vákuovaní impregnačnej nádrže a natlakovaní povlaku sa vzorka zahreje, čo vedie k vytvoreniu povlaku karbidu kremíka po ochladení. Táto metóda je uprednostňovaná pre súčiastky vyžadujúce rovnomernú hrúbku povlaku a zvýšenú odolnosť proti opotrebovaniu.
Fyzikálne vlastnosti povlaku z karbidu kremíka
Povlaky z karbidu kremíka vykazujú vlastnosti, vďaka ktorým sú ideálne pre náročné priemyselné aplikácie. Medzi tieto vlastnosti patria:
Tepelná vodivosť: 120 – 270 W/m·K
Koeficient tepelnej rozťažnosti: 4,3 × 10^(-6)/K (pri 20~800℃)
Elektrický odpor: 10^5– 10^6Ω·cm
Tvrdosť: Mohsova stupnica 9
Aplikácie povlaku z karbidu kremíka
Pri výrobe polovodičov chráni karbid kremíka pre MOCVD a iné vysokoteplotné procesy kritické zariadenia, ako sú reaktory a susceptory, tým, že ponúka odolnosť voči vysokým teplotám a stabilitu. V leteckom a obrannom priemysle sa keramické povlaky z karbidu kremíka nanášajú na súčiastky, ktoré musia odolávať nárazom pri vysokých rýchlostiach a korozívnemu prostrediu. Okrem toho sa farby alebo povlaky z karbidu kremíka môžu použiť aj na zdravotnícke pomôcky, ktoré vyžadujú odolnosť pri sterilizačných postupoch.
Prečo si vybrať povlak z karbidu kremíka?
Povlaky z karbidu kremíka, ktoré sa preukázateľne vyznačujú predlžovaním životnosti súčiastok, poskytujú bezkonkurenčnú odolnosť a teplotnú stabilitu, vďaka čomu sú cenovo výhodné pre dlhodobé používanie. Výberom povrchu s povlakom z karbidu kremíka profitujú priemyselné odvetvia zo znížených nákladov na údržbu, zvýšenej spoľahlivosti zariadení a zlepšenej prevádzkovej efektívnosti.
Prečo si vybrať VET ENERGY?
Spoločnosť VET ENERGY je profesionálny výrobca a továreň na výrobky z karbidu kremíka a povlakov v Číne. Medzi hlavné výrobky z karbidu kremíka a povlakov patrí ohrievač z karbidu kremíka a keramiky,CVD povlak z karbidu kremíka MOCVD susceptor, Grafitový nosič MOCVD s CVD SiC povlakom, Nosiče základne s grafitom potiahnutým SiC, Grafitový substrát s povlakom z karbidu kremíka pre polovodiče,SiC povlak/potiahnutý grafitový substrát/zásobník pre polovodiče, Forma na lode z uhlíkovo-uhlíkového kompozitu CFC s CVD SiC povlakomSpoločnosť VET ENERGY sa zaväzuje poskytovať pokročilé technologické a produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Úprimne dúfame, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čas uverejnenia: 2. septembra 2023