Seaparo sa silicon carbide,Sekoahelo sa SiC, se tsejoang haholo e le ho penta ha SiC, se bolela mokhoa oa ho sebelisa lera la silicon carbide holim'a libaka ka mekhoa e kang Chemical Vapor Deposition (CVD), Physical Vapor Deposition (PVD), kapa ho fafatsa ka mocheso. Sekoahelo sena sa ceramic sa silicon carbide se ntlafatsa litšobotsi tsa bokaholimo ba li-substrate tse fapaneng ka ho fana ka khanyetso e ikhethang ea ho tsofala, botsitso ba mocheso le tšireletso ea ho tsofala. SiC e tsebahala ka litšobotsi tsa eona tse ikhethang tsa 'mele le tsa lik'hemik'hale, ho kenyeletsoa le ntlha e phahameng ea ho qhibiliha (hoo e ka bang 2700℃), ho thatafala ho feteletseng (sekala sa Mohs 9), khanyetso e ntle ea ho tsofala le ho oxidation, le ts'ebetso e ikhethang ea ablation.
Melemo ea Bohlokoa ea ho Koahela Silicon Carbide Litšebelisong tsa Liindasteri
Ka lebaka la likarolo tsena, sekoahelo sa silicon carbide se sebelisoa haholo masimong a kang sefofane, lisebelisoa tsa libetsa, le ts'ebetso ea semiconductor. Libakeng tse feteletseng, haholo-holo ka har'a mefuta ea 1800-2000℃, sekoahelo sa SiC se bontša botsitso bo tsotehang ba mocheso le khanyetso ea ho phatloha, e leng se etsang hore e be e loketseng lits'ebetsong tsa mocheso o phahameng. Leha ho le joalo, silicon carbide feela ha e na botšepehi ba sebopeho bo hlokahalang bakeng sa lits'ebetso tse ngata, kahoo mekhoa ea sekoahelo e sebelisoa ho sebelisa thepa ea eona e ikhethang ntle le ho beha matla a likarolo kotsing. Tlhahisong ea semiconductor, likarolo tse koahetsoeng ka silicon carbide li fana ka tšireletso e tšepahalang le botsitso ba ts'ebetso ka har'a lisebelisoa tse sebelisoang lits'ebetsong tsa MOCVD.
Mekhoa e Tloaelehileng ea ho Lokisetsa ho Koahela ka Silicon Carbide
Ⅰ● Sekoahelo sa Khaba ea Khaba ea Silicon ea Lik'hemik'hale (CVD)
Mokhoeng ona, lipehelo tsa SiC li thehoa ka ho beha li-substrate ka kamoreng ea karabelo, moo methyltrichlorosilane (MTS) e sebetsang e le selelekela. Tlas'a maemo a laoloang—hangata 950-1300°C le khatello e mpe—MTS ea bola, 'me silicon carbide e beoa holim'a metsi. Ts'ebetso ena ea ho koahela ea CVD SiC e netefatsa hore pehelo e teteaneng, e ts'oanang e khomaretse hantle, e loketse lits'ebetso tse nepahetseng haholo makaleng a semiconductor le aerospace.
Ⅱ● Mokhoa oa ho Fetola Sesupa-tsela (Polymer Impregnation le Pyrolysis – PIP)
Mokhoa o mong o sebetsang oa ho roala ka silicon carbide ke mokhoa oa phetoho ea precursor, o kenyeletsang ho qoelisa sampole e phekotsoeng esale pele ka har'a tharollo ea ceramic precursor. Kamora ho hloekisa tanka ea ho monya le ho hatella coating, sampole ea futhumatsoa, e leng se lebisang ho thehoeng ha coating ea silicon carbide ha e pholile. Mokhoa ona o ratoa bakeng sa likarolo tse hlokang botenya bo tšoanang ba coating le ho hanyetsa ho tsofala ho eketsehileng.
Matlotlo a 'Mele a Sekoahelo sa Silicon Carbide
Liaparo tsa silicon carbide li bontša litšobotsi tse etsang hore li be ntle bakeng sa lits'ebetso tse boima tsa indasteri. Lintho tsena li kenyelletsa:
Ho tsamaisa mocheso: 120-270 W/m·K
Katoloso ea Thermal Coefficient: 4.3 × 10^(-6)/K (ho 20~800℃)
Ho hanyetsa motlakase: 10^5– 10^6Ω·cm
Boima: Mohs sekala sa 9
Litšebeliso tsa Sekoahelo sa Silicon Carbide
Tlhahisong ea semiconductor, sekoahelo sa silicon carbide bakeng sa MOCVD le lits'ebetso tse ling tsa mocheso o phahameng se sireletsa lisebelisoa tsa bohlokoa, joalo ka li-reactor le li-susceptor, ka ho fana ka khanyetso le botsitso ba mocheso o phahameng. Sebakeng sa lifofane le tšireletso, sekoahelo sa silicon carbide sa ceramic se sebelisoa likarolong tse lokelang ho mamella litlamorao tse potlakileng le libaka tse senyang. Ho feta moo, pente kapa sekoahelo sa silicon carbide le tsona li ka sebelisoa lisebelisoa tsa bongaka tse hlokang ho tšoarella tlas'a mekhoa ea ho bolaea likokoana-hloko.
Hobaneng o lokela ho khetha seaparo sa silicon carbide?
Ka rekoto e pakiloeng ea ho atolosa bophelo ba likarolo, liphahlo tsa silicon carbide li fana ka ho tšoarella ho sa bapisoeng le botsitso ba mocheso, e leng se etsang hore li be le litšenyehelo tse tlase bakeng sa tšebeliso ea nako e telele. Ka ho khetha bokaholimo bo koahetsoeng ka silicon carbide, liindasteri li rua molemo ka litšenyehelo tse fokotsehileng tsa tlhokomelo, ts'epo e ntlafalitsoeng ea lisebelisoa, le katleho e ntlafetseng ea ts'ebetso.
Hobaneng o lokela ho kgetha MATLA A VET?
VET ENERGY ke moetsi oa litsebi le fektheri ea lihlahisoa tsa ho roala ka silicon carbide Chaena. Lihlahisoa tse ka sehloohong tsa ho roala ka SiC li kenyelletsa hitara ea ho roala ka silicon carbide ceramic,Sekoahelo sa CVD Silicon Carbide MOCVD Susceptor, MOCVD Graphite Carrier e nang le CVD SiC Coating, Bajari ba Motheo ba Graphite ba Koahetsoeng ke SiC, Silicon Carbide e koahetsoeng ka Graphite Substrate bakeng sa Semiconductor,Sekoahelo sa SiC/Sekoahelo sa Graphite se koahetsoeng/Terei bakeng sa Semiconductor, CVD SiC e koahetsoeng ka khabone-khabone e kopantsoeng CFC Boat MoldVET ENERGY e ikemiselitse ho fana ka theknoloji e tsoetseng pele le litharollo tsa lihlahisoa bakeng sa indasteri ea semiconductor. Re tšepa ka tieo ho ba molekane oa hau oa nako e telele Chaena.
Nako ea poso: Loetse-02-2023
