සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය යනු කුමක්ද?

සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය,SiC ආලේපනය ලෙස පොදුවේ හඳුන්වනු ලබන මෙය, රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD), භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (PVD) හෝ තාප ඉසීම වැනි ක්‍රම හරහා මතුපිටට සිලිකන් කාබයිඩ් තට්ටුවක් යෙදීමේ ක්‍රියාවලියට යොමු වේ. මෙම සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනය සුවිශේෂී ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය, තාප ස්ථායිතාව සහ විඛාදන ආරක්ෂාව ලබා දීමෙන් විවිධ උපස්ථරවල මතුපිට ගුණාංග වැඩි දියුණු කරයි. SiC එහි කැපී පෙනෙන භෞතික හා රසායනික ගුණාංග සඳහා ප්‍රසිද්ධය, ඉහළ ද්‍රවාංකයක් (ආසන්න වශයෙන් 2700℃), අධික දෘඪතාව (මෝස් පරිමාණය 9), විශිෂ්ට විඛාදන සහ ඔක්සිකරණ ප්‍රතිරෝධය සහ සුවිශේෂී ඉවත් කිරීමේ ක්‍රියාකාරිත්වය ඇතුළුව.

කාර්මික යෙදීම්වල සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයේ ප්‍රධාන ප්‍රතිලාභ

මෙම ලක්ෂණ නිසා, සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය අභ්‍යවකාශය, ආයුධ උපකරණ සහ අර්ධ සන්නායක සැකසුම් වැනි ක්ෂේත්‍රවල බහුලව භාවිතා වේ. විශේෂයෙන් 1800-2000℃ පරාසය තුළ, ආන්තික පරිසරවල, SiC ආලේපනය කැපී පෙනෙන තාප ස්ථායිතාව සහ ක්ෂය වීමේ ප්‍රතිරෝධය පෙන්නුම් කරන අතර එමඟින් එය ඉහළ උෂ්ණත්ව යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. කෙසේ වෙතත්, සිලිකන් කාබයිඩ් පමණක් බොහෝ යෙදුම් සඳහා අවශ්‍ය ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව නොමැති බැවින්, සංරචක ශක්තියට හානි නොකර එහි අද්විතීය ගුණාංග උත්තේජනය කිරීම සඳහා ආලේපන ක්‍රම භාවිතා කරනු ලැබේ. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී, සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත මූලද්‍රව්‍ය MOCVD ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා කරන උපකරණ තුළ විශ්වාසදායක ආරක්ෂාවක් සහ කාර්ය සාධන ස්ථායිතාවයක් සපයයි.

සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන සකස් කිරීම සඳහා පොදු ක්‍රම

Ⅰ Ⅰ (අ)● රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD) සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය

මෙම ක්‍රමයේදී, ප්‍රතික්‍රියා කුටියක උපස්ථර තැබීමෙන් SiC ආලේපන සෑදී ඇති අතර, එහිදී මෙතිල්ට්‍රයික්ලෝරෝසිලේන් (MTS) පූර්වගාමියා ලෙස ක්‍රියා කරයි. පාලිත තත්වයන් යටතේ - සාමාන්‍යයෙන් 950-1300°C සහ සෘණ පීඩනය - MTS වියෝජනයට ලක් වන අතර සිලිකන් කාබයිඩ් මතුපිටට තැන්පත් වේ. මෙම CVD SiC ආලේපන ක්‍රියාවලිය අර්ධ සන්නායක සහ අභ්‍යවකාශ අංශවල ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් යෙදුම් සඳහා කදිම, විශිෂ්ට ඇලීමකින් යුත් ඝන, ඒකාකාර ආලේපනයක් සහතික කරයි.

Ⅱ Ⅱ ශ්‍රේණිය● පූර්වගාමී පරිවර්තන ක්‍රමය (පොලිමර් කාවැද්දීම සහ පයිෙරොලිසිස් - PIP)

තවත් ඵලදායී සිලිකන් කාබයිඩ් ඉසින ආලේපන ප්‍රවේශයක් වන්නේ පූර්වගාමී පරිවර්තන ක්‍රමයයි, එයට පෙර-ප්‍රතිකාර කළ සාම්පලය සෙරමික් පූර්වගාමී ද්‍රාවණයක ගිල්වීම ඇතුළත් වේ. කාවැද්දීමේ ටැංකිය රික්ත කර ආලේපනය පීඩනයට ලක් කිරීමෙන් පසු, සාම්පලය රත් කරනු ලැබේ, එය සිසිලනය වූ විට සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය සෑදීමට හේතු වේ. ඒකාකාර ආලේපන ඝණකම සහ වැඩි දියුණු කළ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය අවශ්‍ය සංරචක සඳහා මෙම ක්‍රමය ප්‍රිය කරයි.

සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයේ භෞතික ගුණාංග

සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනවල ගුණාංග ප්‍රදර්ශනය කරන අතර එමඟින් ඒවා ඉල්ලුමක් ඇති කාර්මික යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. මෙම ගුණාංගවලට ඇතුළත් වන්නේ:

තාප සන්නායකතාවය: 120-270 W/m·K
තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය: 4.3 × 10^^(-6)/K (20~800℃ දී)
විද්‍යුත් ප්‍රතිරෝධකතාව: 10^⁵– 10^⁶Ω·සෙ.මී.
දෘඪතාව: මෝස් පරිමාණය 9

සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයේ යෙදුම්

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී, MOCVD සහ අනෙකුත් ඉහළ-උෂ්ණත්ව ක්‍රියාවලීන් සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය, ප්‍රතික්‍රියාකාරක සහ සස්පෙක්ටර් වැනි තීරණාත්මක උපකරණ ආරක්ෂා කරයි, ඉහළ-උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය සහ ස්ථාවරත්වය යන දෙකම ලබා දෙයි. අභ්‍යවකාශ හා ආරක්ෂක කටයුතුවලදී, සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපන අධිවේගී බලපෑම් සහ විඛාදන පරිසරයන්ට ඔරොත්තු දිය යුතු සංරචක සඳහා යොදනු ලැබේ. තවද, විෂබීජහරණ ක්‍රියා පටිපාටි යටතේ කල්පැවැත්ම අවශ්‍ය වෛද්‍ය උපාංග සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් තීන්ත හෝ ආලේපන ද භාවිතා කළ හැකිය.

සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය තෝරා ගන්නේ ඇයි?

සංරචක ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීම සම්බන්ධයෙන් ඔප්පු කරන ලද වාර්තාවක් සමඟින්, සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන අසමසම කල්පැවැත්මක් සහ උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාවයක් ලබා දෙන අතර, දිගු කාලීන භාවිතය සඳහා ඒවා ලාභදායී වේ. සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත මතුපිටක් තෝරා ගැනීමෙන්, කර්මාන්ත සඳහා නඩත්තු වියදම් අඩු වීම, උපකරණ විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කිරීම සහ මෙහෙයුම් කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම තුළින් ප්‍රතිලාභ ලැබේ.

VET ENERGY තෝරා ගන්නේ ඇයි?

VET ENERGY යනු චීනයේ සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන නිෂ්පාදනවල වෘත්තීය නිෂ්පාදකයෙකු සහ කර්මාන්ත ශාලාවකි. ප්‍රධාන SiC ආලේපන නිෂ්පාදන අතර සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපන තාපකය,CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන MOCVD ප්‍රතිග්‍රාහකය, CVD SiC ආලේපනය සහිත MOCVD ග්‍රැෆයිට් වාහකය, SiC ආලේපිත මිනිරන් පාදක වාහක, අර්ධ සන්නායක සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත ග්‍රැෆයිට් උපස්ථරය,අර්ධ සන්නායක සඳහා SiC ආලේපනය/ආලේපිත ග්‍රැෆයිට් උපස්ථරය/තැටි, CVD SiC ආලේපිත කාබන්-කාබන් සංයුක්ත CFC බෝට්ටු අච්චුව. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය සඳහා උසස් තාක්ෂණය සහ නිෂ්පාදන විසඳුම් සැපයීමට VET ENERGY කැපවී සිටී. චීනයේ ඔබේ දිගුකාලීන සහකරු වීමට අපි අවංකවම බලාපොරොත්තු වෙමු.