Кремний карбидті жабыны,SiC жабыны деп аталатын бұл химиялық бу тұндыру (CVD), физикалық бу тұндыру (PVD) немесе термиялық бүрку сияқты әдістер арқылы беттерге кремний карбиді қабатын жағу процесін білдіреді. Бұл кремний карбиді керамикалық жабыны ерекше тозуға төзімділік, термиялық тұрақтылық және коррозиядан қорғау арқылы әртүрлі негіздердің беттік қасиеттерін жақсартады. SiC жоғары балқу температурасы (шамамен 2700℃), өте қаттылық (Могс шкаласы 9), тамаша коррозияға және тотығуға төзімділік және ерекше абляция өнімділігі сияқты керемет физикалық және химиялық қасиеттерімен танымал.
Өнеркәсіптік қолданудағы кремний карбидті жабынының негізгі артықшылықтары
Осы ерекшеліктеріне байланысты кремний карбиді жабыны аэроғарыш, қару-жарақ жабдықтары және жартылай өткізгіштерді өңдеу сияқты салаларда кеңінен қолданылады. Төтенше ортада, әсіресе 1800-2000℃ диапазонында, SiC жабыны керемет термиялық тұрақтылық пен абляциялық төзімділік көрсетеді, бұл оны жоғары температуралық қолдану үшін өте қолайлы етеді. Дегенмен, тек кремний карбиді көптеген қолдану үшін қажетті құрылымдық тұтастыққа ие емес, сондықтан оның бірегей қасиеттерін компоненттің беріктігін төмендетпей пайдалану үшін жабын әдістері қолданылады. Жартылай өткізгіштер өндірісінде кремний карбидімен қапталған элементтер MOCVD процестерінде қолданылатын жабдықта сенімді қорғаныс пен өнімділік тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
Кремний карбиді жабынын дайындаудың кең таралған әдістері
Ⅰ● Химиялық бу тұндыру (CVD) кремний карбидінің жабыны
Бұл әдісте SiC жабындары субстраттарды реакция камерасына орналастыру арқылы түзіледі, онда метилтрихлорсилан (MTS) прекурсор ретінде әрекет етеді. Бақыланатын жағдайларда — әдетте 950-1300°C және теріс қысымда — MTS ыдырайды, ал кремний карбиді бетіне тұндырылады. Бұл CVD SiC жабын процесі жартылай өткізгіш және аэроғарыш салаларында жоғары дәлдіктегі қолдану үшін өте қолайлы, тамаша адгезияға ие тығыз, біркелкі жабынды қамтамасыз етеді.
Ⅱ● Прекурсорды түрлендіру әдісі (полимерді импрегнациялау және пиролиз – PIP)
Кремний карбидін бүріккішпен жабудың тағы бір тиімді тәсілі - алдын ала өңделген үлгіні керамикалық алдын ала ерітіндіге батыруды қамтитын прекурсорлық түрлендіру әдісі. Сіңдіру ыдысын шаңсорғышпен тазалап, жабынды қысымдағаннан кейін үлгі қыздырылады, бұл салқындаған кезде кремний карбиді жабынының пайда болуына әкеледі. Бұл әдіс біркелкі жабын қалыңдығын және тозуға төзімділікті арттыруды қажет ететін компоненттер үшін қолайлы.
Кремний карбидінің жабынының физикалық қасиеттері
Кремний карбидті жабындары оларды күрделі өнеркәсіптік қолданбалар үшін өте қолайлы ететін қасиеттерге ие. Бұл қасиеттерге мыналар жатады:
Жылу өткізгіштік: 120-270 Вт/м·К
Жылулық кеңею коэффициенті: 4,3 × 10^(-6)/K (20~800℃ кезінде)
Электрлік кедергі: 10^5– 10^6Ω·см
Қаттылығы: Моос шкаласы 9
Кремний карбидті жабынының қолданылуы
Жартылай өткізгіштер өндірісінде MOCVD және басқа да жоғары температуралы процестерге арналған кремний карбиді жабыны реакторлар мен сусцепторлар сияқты маңызды жабдықтарды жоғары температураға төзімділік пен тұрақтылықты қамтамасыз ету арқылы қорғайды. Аэроғарыш және қорғаныс салаларында кремний карбиді керамикалық жабындар жоғары жылдамдықты соққыларға және коррозиялық ортаға төтеп беруі керек компоненттерге қолданылады. Сонымен қатар, кремний карбиді бояуы немесе жабындары стерилизация процедуралары кезінде беріктік талап ететін медициналық құрылғыларда да қолданылуы мүмкін.
Неліктен кремний карбидті жабынды таңдау керек?
Компоненттердің қызмет ету мерзімін ұзартуда дәлелденген тәжірибесімен кремний карбидті жабындар теңдесі жоқ беріктік пен температура тұрақтылығын қамтамасыз етеді, бұл оларды ұзақ мерзімді пайдалану үшін тиімді етеді. Кремний карбидті жабынды бетті таңдау арқылы салалар техникалық қызмет көрсету шығындарының төмендеуінен, жабдықтың сенімділігінің артуынан және пайдалану тиімділігінің жақсаруынан пайда көреді.
Неліктен VET ENERGY таңдау керек?
VET ENERGY - Қытайдағы кремний карбидті жабын өнімдерінің кәсіби өндірушісі және зауыты. Негізгі SiC жабын өнімдеріне кремний карбидті керамикалық жабын жылытқышы кіреді.CVD кремний карбидті жабыны MOCVD Susceptor, CVD SiC жабыны бар MOCVD графит тасымалдаушысы, SiC жабыны бар графит негізіндегі тасымалдаушыларЖартылай өткізгіштерге арналған кремний карбидімен қапталған графит негізі,Жартылай өткізгіштерге арналған SiC жабыны/жабыны бар графит негізі/науа, CVD SiC жабыны бар көміртекті-көміртекті композитті CFC қайық қалыбыVET ENERGY жартылай өткізгіштер өнеркәсібі үшін озық технологиялар мен өнім шешімдерін ұсынуға міндеттенеді. Біз Қытайдағы сіздің ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуға шын жүректен үміттенеміз.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 2 қыркүйек