Покриття з карбіду кремнію,Широко відоме як покриття SiC, стосується процесу нанесення шару карбіду кремнію на поверхні за допомогою таких методів, як хімічне осадження з парової фази (CVD), фізичне осадження з парової фази (PVD) або термічне напилення. Це керамічне покриття з карбіду кремнію покращує властивості поверхні різних підкладок, надаючи їм виняткову зносостійкість, термостабільність та захист від корозії. SiC відомий своїми видатними фізичними та хімічними властивостями, включаючи високу температуру плавлення (приблизно 2700℃), надзвичайну твердість (шкала Мооса 9), відмінну стійкість до корозії та окислення, а також виняткову абляційну здатність.
Основні переваги покриття з карбіду кремнію в промисловому застосуванні
Завдяки цим особливостям, покриття з карбіду кремнію широко використовується в таких галузях, як аерокосмічна промисловість, виробництво збройового обладнання та обробка напівпровідників. В екстремальних умовах, особливо в діапазоні 1800-2000℃, покриття SiC демонструє чудову термостабільність та абляційну стійкість, що робить його ідеальним для застосування при високих температурах. Однак, сам по собі карбід кремнію не має структурної цілісності, необхідної для багатьох застосувань, тому використовуються методи нанесення покриттів, щоб використовувати його унікальні властивості без шкоди для міцності компонентів. У виробництві напівпровідників елементи з карбідом кремнію забезпечують надійний захист та стабільність роботи обладнання, що використовується в процесах MOCVD.
Загальні методи приготування карбід-кремнієвих покриттів
Ⅰ● Покриття карбідом кремнію методом хімічного осадження з парової фази (CVD)
У цьому методі покриття SiC формуються шляхом розміщення підкладок у реакційній камері, де метилтрихлорсилан (MTS) виступає в якості прекурсора. У контрольованих умовах, зазвичай за температури 950-1300°C та негативного тиску, MTS розкладається, а карбід кремнію осідає на поверхні. Цей процес CVD-нанесення покриття SiC забезпечує щільне, рівномірне покриття з відмінною адгезією, ідеальне для високоточних застосувань у напівпровідниковій та аерокосмічній галузях.
Ⅱ● Метод перетворення прекурсорів (просочення та піроліз полімерів – PIP)
Ще один ефективний підхід до нанесення карбіду кремнію напиленням – це метод перетворення прекурсора, який передбачає занурення попередньо обробленого зразка в розчин керамічного прекурсора. Після вакуумування резервуара для просочення та створення тиску в покритті, зразок нагрівається, що призводить до утворення карбіду кремнію при охолодженні. Цей метод є кращим для компонентів, що потребують рівномірної товщини покриття та підвищеної зносостійкості.
Фізичні властивості покриття з карбіду кремнію
Карбідкремнієві покриття демонструють властивості, які роблять їх ідеальними для вимогливих промислових застосувань. Ці властивості включають:
Теплопровідність: 120-270 Вт/м·K
Коефіцієнт теплового розширення: 4,3 × 10^(-6)/К (при 20~800℃)
Питомий електричний опір: 10^5– 10^6Ом·см
Твердість: 9 балів за шкалою Мооса
Застосування карбід-кремнієвого покриття
У виробництві напівпровідників карбід-кремнієве покриття для MOCVD та інших високотемпературних процесів захищає критично важливе обладнання, таке як реактори та токоприймачі, забезпечуючи як стійкість до високих температур, так і стабільність. В аерокосмічній та оборонній галузях карбід-кремнієві керамічні покриття наносяться на компоненти, які повинні витримувати удари на високій швидкості та агресивні середовища. Крім того, карбід-кремнієва фарба або покриття також можуть використовуватися на медичних виробах, які потребують довговічності під час процедур стерилізації.
Чому варто обрати покриття з карбіду кремнію?
Маючи перевірений досвід у подовженні терміну служби компонентів, покриття з карбіду кремнію забезпечують неперевершену довговічність та температурну стабільність, що робить їх економічно ефективними для тривалого використання. Вибираючи поверхню з карбіду кремнію, промисловість отримує вигоду від зниження витрат на обслуговування, підвищення надійності обладнання та підвищення експлуатаційної ефективності.
Чому варто обрати VET ENERGY?
VET ENERGY — професійний виробник і фабрика продуктів для покриття з карбіду кремнію в Китаї. Основні продукти для покриття SiC включають керамічний нагрівач з карбіду кремнію,CVD карбід-кремнієве покриття MOCVD токсцептор, Графітовий носій MOCVD з покриттям SiC CVD, Графітові носії з покриттям SiC, Графітова підкладка з покриттям з карбіду кремнію для напівпровідників,Підкладка/лоток з покриттям SiC/графіту з покриттям для напівпровідників, Форма для човна з вуглецево-вуглецевого композиту CFC з покриттям CVD SiCVET ENERGY прагне надавати передові технології та продуктові рішення для напівпровідникової промисловості. Ми щиро сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
Час публікації: 02 вересня 2023 р.