וואָס איז סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג?

סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג,באַקאַנט ווי SiC קאָוטינג, באַציט זיך צום פּראָצעס פון אַפּלייינג אַ שיכט פון סיליקאָן קאַרבייד אויף ייבערפלאַכן דורך מעטאָדן ווי כעמישע דאַמף דעפּאַזישאַן (CVD), פיזישע דאַמף דעפּאַזישאַן (PVD), אָדער טערמישע שפּריצן. די סיליקאָן קאַרבייד קעראַמישע קאָוטינג פֿאַרבעסערט די ייבערפלאַך אייגנשאַפטן פון פֿאַרשידענע סאַבסטראַטן דורך געבן אויסערגעוויינלעכע טראָגן קעגנשטעל, טערמישע פעסטקייט, און קעראָוזשאַן שוץ. SiC איז באַקאַנט פֿאַר זייַנע אויסערגעוויינלעכע פיזישע און כעמישע אייגנשאַפטן, אַרייַנגערעכנט אַ הויך שמעלץ פונט (בעערעך 2700 ℃), עקסטרעמע כאַרדנאַס (מאָהס סקאַלע 9), ויסגעצייכנט קעראָוזשאַן און אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל, און אויסערגעוויינלעכע אַבליישאַן פאָרשטעלונג.

שליסל בענעפיטן פון סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג אין אינדוסטריעלע אַפּלאַקיישאַנז

צוליב די אייגנשאפטן ווערט סיליקאן קארבייד באדעקונג ברייט גענוצט אין פעלדער ווי לופטפארט, וואפן-אויסריכטונג, און האלב-קאנדוקטאר פראצעסירונג. אין עקסטרעמע סביבות, ספעציעל אין די 1800-2000℃ קייט, ווייזט SiC באדעקונג באמערקבארע טערמישע פעסטקייט און אבלאטיוו קעגנשטאנד, מאכנדיג עס אידעאל פאר הויך-טעמפּעראַטור אפליקאציעס. אבער, סיליקאן קארבייד אליין פעלט די סטרוקטורעלע אינטעגריטעט וואס איז נויטיג פאר פילע אפליקאציעס, ממילא ווערן באדעקונג מעטאדן גענוצט צו נוצן זיינע אייגנארטיגע אייגנשאפטן אן קאמפראמיסירן קאמפאנענט שטארקייט. אין האלב-קאנדוקטאר פאבריקאציע, צושטעלן סיליקאן קארבייד באדעקטע עלעמענטן פארלעסלעכע שוץ און פערפארמענס פעסטקייט אין אויסריכטונג גענוצט אין MOCVD פראצעסן.

געוויינטלעכע מעטאָדן פֿאַר סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג צוגרייטונג

Ⅰ● כעמישע פארע דעפאזיציע (CVD) סיליקאן קארבייד באַדעקונג

אין דעם מעטאָד ווערן SiC קאָוטינגז געשאפן דורך שטעלן סאַבסטראַטן אין אַ רעאַקציע קאַמער, וואו מעטילטריכלאָראָסילאַן (MTS) אַקט ווי אַ פאָרגייער. אונטער קאָנטראָלירטע באַדינגונגען - טיפּיש 950-1300°C און נעגאַטיוו דרוק - גייט דער MTS דורך דעקאָמפּאָזיציע, און סיליקאָן קאַרבייד ווערט דעפּאָנירט אויף דער ייבערפלאַך. דער CVD SiC קאָוטינג פּראָצעס גאַראַנטירט אַ דיכט, מונדיר קאָוטינג מיט ויסגעצייכנט אַדכיראַנס, ידעאַל פֿאַר הויך-פּינקטלעכקייט אַפּלאַקיישאַנז אין האַלב-קאָנדוקטאָר און אַעראָספּייס סעקטאָרן.

Ⅱ● פּרעקורסאָר קאָנווערסיע מעטאָד (פּאָלימער ימפּרעגניישאַן און פּיראָליזיס – PIP)

נאך אן עפעקטיווער סיליקאן קארבייד שפריץ באדעקונג צוגאנג איז די פארגייער קאנווערזשאן מעטאד, וואס באשטייט פון איינטונקען דעם פאר-באהאנדלטן מוסטער אין א קעראמישער פארגייער לייזונג. נאכדעם וואס מען וואקומירט דעם אימפרעגנאציע טאנק און שטעלט דרוק אויף דער באדעקונג, ווערט דער מוסטער געהייצט, וואס פירט צו א סיליקאן קארבייד באדעקונג פארמאציע נאכן אפקילן. די מעטאד איז באוואנדערט פאר קאמפאנענטן וואס דארפן גלייכמעסיגע באדעקונג גרעב און פארבעסערטע אטראז קעגנשטאנד.

פיזישע אייגנשאפטן פון סיליקאן קאַרבייד קאָוטינג

סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינגז ווייַזן אייגנשאַפטן וואָס מאַכן זיי ידעאַל פֿאַר פאָדערנדיקע אינדוסטריעלע אַפּלאַקיישאַנז. די אייגנשאַפטן אַרייַננעמען:

טערמישע קאַנדאַקטיוויטי: 120-270 W/m·K
קאָעפיציענט פון טערמישער עקספּאַנשאַן: 4.3 × 10^^(-6)/K (ביי 20~800℃)
עלעקטרישע קעגנשטאנד: 10^⁵– 10^⁶Ω·cm
כאַרטקייט: מאָהס סקאַלע 9

אַפּליקאַציעס פון סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג

אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע, סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג פֿאַר MOCVD און אַנדערע הויך-טעמפּעראַטור פּראָצעסן באַשיצט קריטישע ויסריכט, אַזאַ ווי רעאַקטאָרן און סאַסעפּטאָרס, דורך פאָרשלאָגן ביידע הויך-טעמפּעראַטור קעגנשטעל און פעסטקייט. אין אַעראָספּייס און פאַרטיידיקונג, סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק קאָוטינגז זענען געווענדט צו קאַמפּאָונאַנץ וואָס מוזן וויטסטאַנד הויך-גיכקייַט ימפּאַקס און קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ. דערצו, סיליקאָן קאַרבייד פאַרב אָדער קאָוטינגז קענען אויך זיין געניצט אויף מעדיציניש דעוויסעס וואָס דאַרפן געווער אונטער סטעריליזאַציע פּראָוסידזשערז.

פארוואס קלייַבן סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג?

מיט א באוויזענע רעקארד אין פארלענגערן קאמפאנענט לעבן, צושטעלן סיליקאן קארבייד באדעקונגען אומגעגלייכע הארטקייט און טעמפעראטור סטאביליטעט, מאכנדיג זיי קאסטן-עפעקטיוו פאר לאנג-טערמין באנוץ. דורך אויסקלויבן א סיליקאן קארבייד באדעקטע אויבערפלאך, נוץ אינדוסטריעס פון פארקלענערטע אויפהאלטונג קאסטן, פארבעסערטע עקוויפמענט פארלעסלעכקייט, און פארבעסערטע אפעראציאנעלע עפעקטיווקייט.

פארוואס זאָל מען אויסקלײַבן וועטערינאַט ענערגיע?

וועט ענערגיע איז א פראפעסיאנעלע פאבריקאנט און פאבריק פון סיליקאן קארבייד באדעק פראדוקטן אין כינע. די הויפט SiC באדעק פראדוקטן שליסן איין סיליקאן קארבייד קעראמיש באדעק כיטער,CVD סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג MOCVD סאַסעפּטאָר, MOCVD גראַפיט טרעגער מיט CVD SiC קאָוטינג, SiC באדעקטע גראַפיט באַזע טרעגערססיליקאָן קאַרבייד באדעקטע גראַפיט סאַבסטראַט פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר,SiC קאָוטינג/קאָוטאַד גראַפיט סאַבסטראַט/טאַץ פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר, CVD SiC באדעקטע קאַרבאָן-קאַרבאָן קאָמפּאָסיט CFC שיפל פורעםוועט ענערגיע איז מחויב צו צושטעלן פארגעשריטענע טעכנאָלאָגיע און פּראָדוקט לייזונגען פֿאַר די האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע. מיר האָפן באמת צו ווערן אייער לאַנג-טערמין שותף אין כינע.