Silikon karbid örtüyü,SiC örtüyü kimi tanınan, Kimyəvi Buxar Çökdürmə (CVD), Fiziki Buxar Çökdürmə (PVD) və ya termal püskürtmə kimi üsullarla səthlərə silikon karbid təbəqəsinin tətbiqi prosesinə aiddir. Bu silikon karbid keramika örtüyü, müstəsna aşınma müqaviməti, istilik sabitliyi və korroziyadan qorunma təmin etməklə müxtəlif substratların səth xüsusiyyətlərini artırır. SiC, yüksək ərimə nöqtəsi (təxminən 2700℃), həddindən artıq sərtlik (Mohs şkalası 9), əla korroziya və oksidləşmə müqaviməti və müstəsna ablasiya performansı da daxil olmaqla, üstün fiziki və kimyəvi xüsusiyyətləri ilə tanınır.
Sənaye Tətbiqlərində Silikon Karbid Örtüklərinin Əsas Faydaları
Bu xüsusiyyətlərə görə, silikon karbid örtüyü aerokosmik, silah avadanlığı və yarımkeçirici emal kimi sahələrdə geniş istifadə olunur. Ekstremal mühitlərdə, xüsusən də 1800-2000℃ diapazonunda, SiC örtüyü diqqətəlayiq istilik sabitliyi və ablativ müqavimət göstərir və bu da onu yüksək temperatur tətbiqləri üçün ideal edir. Bununla belə, təkcə silikon karbid bir çox tətbiq üçün lazım olan struktur bütövlüyünə malik deyil, buna görə də komponent möhkəmliyindən ödün vermədən onun unikal xüsusiyyətlərindən istifadə etmək üçün örtük metodlarından istifadə olunur. Yarımkeçirici istehsalında silikon karbid örtüklü elementlər MOCVD proseslərində istifadə olunan avadanlıqlarda etibarlı qorunma və performans sabitliyi təmin edir.
Silikon karbid örtüyünün hazırlanması üçün ümumi üsullar
Ⅰ● Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD) Silikon Karbid Örtüyü
Bu üsulda, SiC örtükləri substratları metiltrixlorsilan (MTS) öncül kimi çıxış etdiyi reaksiya kamerasına yerləşdirməklə əmələ gəlir. Nəzarətli şəraitdə - adətən 950-1300°C və mənfi təzyiqdə - MTS parçalanmaya məruz qalır və silikon karbid səthə çökür. Bu CVD SiC örtük prosesi, yarımkeçirici və aerokosmik sektorlarda yüksək dəqiqlikli tətbiqlər üçün ideal olan, əla yapışmaya malik sıx, vahid bir örtük təmin edir.
Ⅱ● Prekursor Çevirmə Metodu (Polimer İmpreqnasiya və Piroliz – PIP)
Digər effektiv silikon karbid püskürtmə örtük yanaşması, əvvəlcədən işlənmiş nümunənin keramika prekursor məhluluna batırılmasını əhatə edən prekursor çevrilmə metodudur. Emprenye çənini vakuumla təmizlədikdən və örtüyə təzyiq göstərdikdən sonra nümunə qızdırılır və bu da soyuduqda silikon karbid örtüyünün əmələ gəlməsinə səbəb olur. Bu üsul vahid örtük qalınlığı və artan aşınma müqaviməti tələb edən komponentlər üçün üstünlük təşkil edir.
Silikon karbid örtüyünün fiziki xüsusiyyətləri
Silikon karbid örtükləri onları tələbkar sənaye tətbiqləri üçün ideal hala gətirən xüsusiyyətlərə malikdir. Bu xüsusiyyətlərə aşağıdakılar daxildir:
İstilik keçiriciliyi: 120-270 Vt/m·K
İstilik Genişlənmə Əmsalı: 4.3 × 10^(-6)/K (20~800℃-də)
Elektrik Müqaviməti: 10^5– 10^6Ω·sm
Sərtlik: Mohs şkalası 9
Silikon Karbid Örtüklərinin Tətbiqləri
Yarımkeçirici istehsalında, MOCVD və digər yüksək temperaturlu proseslər üçün silikon karbid örtüyü həm yüksək temperatur müqaviməti, həm də stabillik təklif etməklə reaktorlar və susseptorlar kimi vacib avadanlıqları qoruyur. Aerokosmik və müdafiə sahələrində silikon karbid keramika örtükləri yüksək sürətli zərbələrə və korroziyalı mühitlərə davam gətirməli olan komponentlərə tətbiq olunur. Bundan əlavə, silikon karbid boyası və ya örtükləri sterilizasiya prosedurları altında davamlılıq tələb edən tibbi cihazlarda da istifadə edilə bilər.
Niyə Silikon Karbid Örtüyü Seçməlisiniz?
Komponentlərin ömrünü uzatmaqda sübut olunmuş bir təcrübəyə malik silikon karbid örtükləri misilsiz davamlılıq və temperatur sabitliyi təmin edir və bu da onları uzunmüddətli istifadə üçün səmərəli edir. Silikon karbid örtüklü səth seçməklə sənaye sahələri texniki xidmət xərclərinin azalmasından, avadanlıqların etibarlılığının artmasından və əməliyyat səmərəliliyinin artmasından faydalanırlar.
Niyə VET ENERGY-ni seçməlisiniz?
VET ENERGY, Çində peşəkar silikon karbid örtük məhsulları istehsalçısı və fabrikidir. Əsas SiC örtük məhsullarına silikon karbid keramika örtük qızdırıcısı daxildir.CVD Silikon Karbid Örtüyü MOCVD Susceptor, CVD SiC örtüklü MOCVD qrafit daşıyıcısı, SiC örtüklü qrafit əsaslı daşıyıcılarYarımkeçiricilər üçün Silikon Karbidlə Örtülmüş Qrafit Substratı,Yarımkeçiricilər üçün SiC örtüklü/örtüklü qrafit substratı/qabı, CVD SiC örtüklü karbon-karbon Kompozit CFC Qayıq KalıpıVET ENERGY, yarımkeçirici sənayesi üçün qabaqcıl texnologiya və məhsul həlləri təqdim etməyə sadiqdir. Çində sizin uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səmimi qəlbdən ümid edirik.
Yazı vaxtı: 02 sentyabr 2023