Кремний карбидинин каптамасы,SiC каптоо деп аталган бул катмар беттерге химиялык буу чөктүрүү (CVD), физикалык буу чөктүрүү (PVD) же термикалык чачыратуу сыяктуу ыкмалар аркылуу кремний карбидинин катмарын колдонуу процессин билдирет. Бул кремний карбидинин керамикалык каптоосу ар кандай субстраттардын беттик касиеттерин өзгөчө эскирүүгө туруктуулукту, жылуулук туруктуулугун жана коррозиядан коргоону камсыз кылуу менен жакшыртат. SiC жогорку эрүү температурасы (болжол менен 2700℃), өтө катуулугун (Моос шкаласы 9), эң сонун коррозияга жана кычкылданууга туруктуулугу жана өзгөчө абляциялык көрсөткүчтөрүн камтыган мыкты физикалык жана химиялык касиеттери менен белгилүү.
Өнөр жайлык колдонмолордо кремний карбидинин каптоосунун негизги артыкчылыктары
Ушул өзгөчөлүктөрдөн улам, кремний карбиди менен каптоо аэрокосмостук, курал-жарак жабдуулары жана жарым өткөргүчтөрдү иштетүү сыяктуу тармактарда кеңири колдонулат. Өзгөчө чөйрөлөрдө, айрыкча 1800-2000℃ диапазонунда, SiC каптоосу укмуштуудай жылуулук туруктуулугун жана абляциялык каршылыкты көрсөтөт, бул аны жогорку температурадагы колдонмолор үчүн идеалдуу кылат. Бирок, кремний карбидинин өзү эле көптөгөн колдонмолор үчүн зарыл болгон структуралык бүтүндүккө ээ эмес, ошондуктан анын уникалдуу касиеттерин компоненттердин бекемдигине доо кетирбестен пайдалануу үчүн каптоо ыкмалары колдонулат. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө кремний карбиди менен капталган элементтер MOCVD процесстеринде колдонулган жабдууларда ишенимдүү коргоону жана иштөө туруктуулугун камсыз кылат.
Кремний карбидин каптоону даярдоонун кеңири таралган ыкмалары
Ⅰ● Химиялык буу чөктүрүү (CVD) кремний карбидинин каптоосу
Бул ыкмада SiC каптоолору субстраттарды реакция камерасына жайгаштыруу менен түзүлөт, ал жерде метилтрихлорсилан (MTS) прекурсор катары иштейт. Көзөмөлдөнгөн шарттарда — адатта 950-1300°C жана терс басымда — MTS ажыроого дуушар болот жана кремний карбиди бетке чөкмөлөнөт. Бул CVD SiC каптоо процесси жарым өткөргүчтөр жана аэрокосмостук тармактарда жогорку тактыктагы колдонмолор үчүн идеалдуу болгон тыгыз, бирдей каптоону камсыз кылат.
Ⅱ● Прекурсорду конвертациялоо ыкмасы (полимерди импрегнациялоо жана пиролиз – PIP)
Кремний карбидин чачыратма менен каптоонун дагы бир натыйжалуу ыкмасы - бул прекурсордук конверсия ыкмасы, ал алдын ала иштетилген үлгүнү керамикалык прекурсор эритмесине чөмүлтүүнү камтыйт. Импрегнациялык резервуарды чаң соргуч менен тазалап, каптамага басым жасагандан кийин, үлгү ысытылат, бул муздаганда кремний карбиди каптамасынын пайда болушуна алып келет. Бул ыкма бирдей каптоо калыңдыгын жана эскирүүгө туруктуулугун талап кылган компоненттер үчүн артыкчылыктуу.
Кремний карбидинин каптоосунун физикалык касиеттери
Кремний карбидинин каптоолору аларды өнөр жайлык талаптарга жооп бергендей касиеттерге ээ. Бул касиеттерге төмөнкүлөр кирет:
Жылуулук өткөрүмдүүлүгү: 120-270 Вт/м·К
Жылуулук кеңейүү коэффициенти: 4.3 × 10^(-6)/K (20~800℃ температурада)
Электрдик каршылыгы: 10^5– 10^6Ω·см
Катуулугу: Моос шкаласы 9
Кремний карбидинин каптоосун колдонуу
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө MOCVD жана башка жогорку температурадагы процесстер үчүн кремний карбидинин каптамасы реакторлор жана сусцепторлор сыяктуу маанилүү жабдууларды жогорку температурага туруктуулукту жана туруктуулукту камсыз кылуу менен коргойт. Аэрокосмос жана коргонуу тармактарында кремний карбидинин керамикалык каптамалары жогорку ылдамдыктагы соккуларга жана коррозиялык чөйрөлөргө туруштук бере турган компоненттерге колдонулат. Андан тышкары, кремний карбидинин боёгу же каптамалары стерилдөө процедураларында бышыктыкты талап кылган медициналык аппараттарда да колдонулушу мүмкүн.
Эмне үчүн кремний карбидинин каптоосун тандаш керек?
Компоненттердин иштөө мөөнөтүн узартуу боюнча далилденген көрсөткүчтөр менен, кремний карбид каптамалары теңдешсиз бышыктыкты жана температуранын туруктуулугун камсыз кылат, бул аларды узак мөөнөттүү колдонуу үчүн үнөмдүү кылат. Кремний карбид каптама бетин тандоо менен, тармактар техникалык тейлөө чыгымдарынын азайышынан, жабдуулардын ишенимдүүлүгүнүн жогорулашынан жана эксплуатациялык натыйжалуулуктун жогорулашынан пайда көрүшөт.
Эмне үчүн VET ENERGY компаниясын тандашыңыз керек?
VET ENERGY - Кытайдагы кремний карбидинин каптоо продукцияларын кесипкөй өндүрүүчү жана завод. Негизги SiC каптоо продукцияларына кремний карбидинин керамикалык каптоо жылыткычтары кирет,CVD кремний карбидинин каптоосу MOCVD Susceptor, CVD SiC каптамасы бар MOCVD графит ташуучусу, SiC менен капталган графит негизинин алып жүрүүчүлөрүЖарым өткөргүч үчүн кремний карбиди менен капталган графит субстраты,Жарым өткөргүч үчүн SiC каптоо/капталган графит субстраты/лоток, CVD SiC менен капталган көмүртек-көмүртектүү композиттик CFC кайык калыпVET ENERGY жарым өткөргүчтөр өнөр жайы үчүн алдыңкы технологияларды жана продукт чечимдерин камсыз кылууга умтулат. Биз чын жүрөктөн Кытайдагы сиздин узак мөөнөттүү өнөктөшүңүз болууга үмүттөнөбүз.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 2-сентябры