Kaj je premaz iz silicijevega karbida?

Premaz iz silicijevega karbida,Splošno znana kot prevleka SiC, se nanaša na postopek nanašanja plasti silicijevega karbida na površine z metodami, kot so kemično nanašanje iz pare (CVD), fizikalno nanašanje iz pare (PVD) ali termično brizganje. Ta keramična prevleka iz silicijevega karbida izboljša površinske lastnosti različnih substratov, saj jim daje izjemno odpornost proti obrabi, toplotno stabilnost in zaščito pred korozijo. SiC je znan po svojih izjemnih fizikalnih in kemijskih lastnostih, vključno z visokim tališčem (približno 2700 ℃), izjemno trdoto (Mohsova lestvica 9), odlično odpornostjo proti koroziji in oksidaciji ter izjemno zmogljivostjo ablacije.

Ključne prednosti prevleke iz silicijevega karbida v industrijskih aplikacijah

Zaradi teh lastnosti se prevleka silicijevega karbida pogosto uporablja na področjih, kot so vesoljska industrija, orožna oprema in obdelava polprevodnikov. V ekstremnih okoljih, zlasti v območju 1800–2000 ℃, prevleka SiC kaže izjemno toplotno stabilnost in ablativno odpornost, zaradi česar je idealna za uporabo pri visokih temperaturah. Vendar pa silicijev karbid sam po sebi nima strukturne celovitosti, ki je potrebna za številne aplikacije, zato se uporabljajo metode nanašanja, ki izkoriščajo njegove edinstvene lastnosti, ne da bi pri tem ogrozili trdnost komponent. V proizvodnji polprevodnikov elementi, prevlečeni s silicijevim karbidom, zagotavljajo zanesljivo zaščito in stabilnost delovanja znotraj opreme, ki se uporablja v postopkih MOCVD.

Pogoste metode za pripravo prevleke iz silicijevega karbida

Ⅰ● Premaz s silicijevim karbidom s kemičnim nanašanjem s parno tekočino (CVD)

Pri tej metodi se prevleke SiC oblikujejo tako, da se substrati namestijo v reakcijsko komoro, kjer metiltriklorosilan (MTS) deluje kot predhodnik. V nadzorovanih pogojih – običajno pri 950–1300 °C in negativnem tlaku – se MTS razgradi, silicijev karbid pa se nanese na površino. Ta postopek CVD nanosa SiC zagotavlja gosto, enakomerno prevleko z odličnim oprijemom, idealno za visoko natančne aplikacije v polprevodniškem in vesoljskem sektorju.

Ⅱ● Metoda pretvorbe predhodnikov (impregnacija in piroliza polimerov – PIP)

Drug učinkovit pristop k nanašanju prevleke s silicijevim karbidom s pršenjem je metoda pretvorbe prekurzorja, ki vključuje potopitev predhodno obdelanega vzorca v raztopino keramičnega prekurzorja. Po vakuumiranju impregnacijske posode in ustvarjanju tlaka v prevleki se vzorec segreje, kar po ohlajanju povzroči nastanek prevleke iz silicijevega karbida. Ta metoda je prednostna za komponente, ki zahtevajo enakomerno debelino prevleke in večjo odpornost proti obrabi.

Fizikalne lastnosti prevleke iz silicijevega karbida

Premazi silicijevega karbida kažejo lastnosti, zaradi katerih so idealni za zahtevne industrijske aplikacije. Te lastnosti vključujejo:

Toplotna prevodnost: 120–270 W/m·K
Koeficient toplotnega raztezanja: 4,3 × 10^^(-6)/K (pri 20~800℃)
Električna upornost: 10^⁵– 10^⁶Ω·cm
Trdota: Mohsova lestvica 9

Uporaba prevleke iz silicijevega karbida

V proizvodnji polprevodnikov premaz iz silicijevega karbida za MOCVD in druge visokotemperaturne procese ščiti kritično opremo, kot so reaktorji in susceptorji, saj zagotavlja odpornost na visoke temperature in stabilnost. V letalstvu in obrambi se keramični premazi iz silicijevega karbida nanašajo na komponente, ki morajo prenesti udarce z veliko hitrostjo in korozivna okolja. Poleg tega se lahko barve ali premazi iz silicijevega karbida uporabljajo tudi na medicinskih pripomočkih, ki zahtevajo vzdržljivost pri postopkih sterilizacije.

Zakaj izbrati premaz iz silicijevega karbida?

Z dokazano podaljševanjem življenjske dobe komponent, silicijev karbidni premazi zagotavljajo neprekosljivo vzdržljivost in temperaturno stabilnost, zaradi česar so stroškovno učinkoviti za dolgoročno uporabo. Z izbiro površine, prevlečene s silicijevim karbidom, imajo industrije koristi od nižjih stroškov vzdrževanja, večje zanesljivosti opreme in izboljšane operativne učinkovitosti.

Zakaj izbrati VET ENERGY?

VET ENERGY je profesionalni proizvajalec in tovarna izdelkov za premaze iz silicijevega karbida na Kitajskem. Glavni izdelki za premaze SiC vključujejo grelnike s keramičnim premazom iz silicijevega karbida,CVD silicijev karbidni premaz MOCVD susceptor, MOCVD grafitni nosilec s CVD SiC prevleko, Nosilci osnovnega materiala s prevleko iz grafita SiC, Grafitna podlaga s prevleko iz silicijevega karbida za polprevodnike,SiC premaz/prevlečen grafitni substrat/pladenj za polprevodnike, Kalup za čolne iz ogljikovo-ogljikovega kompozita CFC s prevleko iz CVD SiCVET ENERGY je zavezan k zagotavljanju naprednih tehnoloških in proizvodnih rešitev za polprevodniško industrijo. Iskreno upamo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.