సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత,సాధారణంగా SiC కోటింగ్ అని పిలువబడే ఈ ప్రక్రియ, కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ (CVD), ఫిజికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ (PVD), లేదా థర్మల్ స్ప్రేయింగ్ వంటి పద్ధతుల ద్వారా ఉపరితలాలపై సిలికాన్ కార్బైడ్ పొరను పూయడాన్ని సూచిస్తుంది. ఈ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్, అసాధారణమైన అరుగుదల నిరోధకత, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు తుప్పు నుండి రక్షణను అందించడం ద్వారా వివిధ ఉపరితలాల యొక్క లక్షణాలను మెరుగుపరుస్తుంది. SiC దాని అత్యుత్తమ భౌతిక మరియు రసాయన లక్షణాలకు ప్రసిద్ధి చెందింది, వాటిలో అధిక ద్రవీభవన స్థానం (సుమారు 2700℃), అత్యంత కఠినత్వం (మోహ్స్ స్కేల్ 9), అద్భుతమైన తుప్పు మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకత, మరియు అసాధారణమైన అబ్లేషన్ పనితీరు ఉన్నాయి.
పారిశ్రామిక అనువర్తనాలలో సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత యొక్క ముఖ్య ప్రయోజనాలు
ఈ లక్షణాల కారణంగా, సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత ఏరోస్పేస్, ఆయుధ పరికరాలు మరియు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ వంటి రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. తీవ్రమైన వాతావరణాలలో, ముఖ్యంగా 1800-2000℃ పరిధిలో, SiC పూత అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు అబ్లేటివ్ నిరోధకతను ప్రదర్శిస్తుంది, ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాలకు అనువైనదిగా చేస్తుంది. అయితే, అనేక అనువర్తనాలకు అవసరమైన నిర్మాణ సమగ్రత కేవలం సిలికాన్ కార్బైడ్లో ఉండదు, కాబట్టి భాగం యొక్క బలానికి రాజీ పడకుండా దాని ప్రత్యేక లక్షణాలను ఉపయోగించుకోవడానికి పూత పద్ధతులు ఉపయోగించబడతాయి. సెమీకండక్టర్ తయారీలో, సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత పూసిన భాగాలు MOCVD ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే పరికరాలలో నమ్మకమైన రక్షణ మరియు పనితీరు స్థిరత్వాన్ని అందిస్తాయి.
సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత తయారీకి సాధారణ పద్ధతులు
Ⅰ● రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత
ఈ పద్ధతిలో, సబ్స్ట్రేట్లను ఒక రియాక్షన్ ఛాంబర్లో ఉంచడం ద్వారా SiC పూతలు ఏర్పడతాయి, ఇక్కడ మిథైల్ట్రైక్లోరోసిలేన్ (MTS) ఒక ప్రికర్సర్గా పనిచేస్తుంది. నియంత్రిత పరిస్థితులలో—సాధారణంగా 950-1300°C మరియు నెగటివ్ ప్రెజర్ వద్ద—MTS వియోగం చెంది, సిలికాన్ కార్బైడ్ ఉపరితలంపై నిక్షిప్తం అవుతుంది. ఈ CVD SiC పూత ప్రక్రియ, అద్భుతమైన అంటుకునే గుణంతో కూడిన దట్టమైన, ఏకరీతి పూతను అందిస్తుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ మరియు ఏరోస్పేస్ రంగాలలో అధిక-ఖచ్చితత్వ అనువర్తనాలకు ఆదర్శంగా ఉంటుంది.
Ⅱ● పూర్వగామి మార్పిడి పద్ధతి (పాలిమర్ ఇంప్రెగ్నేషన్ మరియు పైరోలిసిస్ – PIP)
సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ప్రే కోటింగ్ కోసం మరొక సమర్థవంతమైన పద్ధతి ప్రికర్సర్ కన్వర్షన్ విధానం. ఇందులో, ముందుగా శుద్ధి చేసిన నమూనాను ఒక సిరామిక్ ప్రికర్సర్ ద్రావణంలో ముంచుతారు. ఇంప్రెగ్నేషన్ ట్యాంక్ను వాక్యూమ్ చేసి, కోటింగ్పై ఒత్తిడిని ప్రయోగించిన తర్వాత, నమూనాను వేడి చేస్తారు. ఇది చల్లారినప్పుడు సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఏర్పడటానికి దారితీస్తుంది. ఏకరీతి కోటింగ్ మందం మరియు మెరుగైన అరుగుదల నిరోధకత అవసరమయ్యే భాగాల కోసం ఈ పద్ధతిని ఇష్టపడతారు.
సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు
సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలు క్లిష్టమైన పారిశ్రామిక అనువర్తనాలకు అనువైన లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి. ఈ లక్షణాలలో ఇవి ఉన్నాయి:
ఉష్ణ వాహకత: 120-270 W/m·K
ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం: 4.3 × 10^(-6)/K (20~800℃ వద్ద)
విద్యుత్ నిరోధకత: 10^5– 10^6Ω·cm
కఠినత్వం: మోహ్స్ స్కేల్ 9
సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత యొక్క అనువర్తనాలు
సెమీకండక్టర్ తయారీలో, MOCVD మరియు ఇతర అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియల కోసం ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత, అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు స్థిరత్వం రెండింటినీ అందించడం ద్వారా రియాక్టర్లు మరియు ససెప్టర్ల వంటి కీలకమైన పరికరాలను రక్షిస్తుంది. ఏరోస్పేస్ మరియు రక్షణ రంగాలలో, అధిక వేగంతో కూడిన తాకిడులను మరియు క్షయకారక వాతావరణాలను తట్టుకోవలసిన భాగాలపై సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పూతలను పూస్తారు. అంతేకాకుండా, స్టెరిలైజేషన్ ప్రక్రియల కింద మన్నిక అవసరమయ్యే వైద్య పరికరాలపై కూడా సిలికాన్ కార్బైడ్ పెయింట్ లేదా పూతలను ఉపయోగించవచ్చు.
సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ను ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?
భాగాల జీవితకాలాన్ని పొడిగించడంలో నిరూపితమైన రికార్డుతో, సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలు సాటిలేని మన్నికను మరియు ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వాన్ని అందిస్తాయి, తద్వారా అవి దీర్ఘకాలిక ఉపయోగం కోసం ఖర్చుకు అనుకూలమైనవిగా మారతాయి. సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత పూసిన ఉపరితలాన్ని ఎంచుకోవడం ద్వారా, పరిశ్రమలు తగ్గిన నిర్వహణ ఖర్చులు, మెరుగైన పరికరాల విశ్వసనీయత మరియు మెరుగైన కార్యాచరణ సామర్థ్యం వంటి ప్రయోజనాలను పొందుతాయి.
వెట్ ఎనర్జీని ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?
వెట్ ఎనర్జీ అనేది చైనాలో సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తుల యొక్క ఒక ప్రొఫెషనల్ తయారీదారు మరియు ఫ్యాక్టరీ. ప్రధాన SiC కోటింగ్ ఉత్పత్తులలో సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్,సివిడి సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఎంఓసివిడి ససెప్టర్, MOCVD గ్రాఫైట్ క్యారియర్తో CVD SiC కోటింగ్, SiC పూత పూసిన గ్రాఫైట్ బేస్ క్యారియర్లుసెమీకండక్టర్ కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత పూసిన గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్,సెమీకండక్టర్ కోసం SiC పూత/పూత పూసిన గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్/ట్రే, CVD SiC పూత పూసిన కార్బన్-కార్బన్ కాంపోజిట్ CFC బోట్ అచ్చుVET ఎనర్జీ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమకు అధునాతన సాంకేతికత మరియు ఉత్పత్తి పరిష్కారాలను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారాలని మేము మనస్ఫూర్తిగా ఆశిస్తున్నాము.
పోస్ట్ సమయం: సెప్టెంబర్-02-2023
