Пӯшиши карбидии силикон,пӯшиши SiC, ки маъмулан бо номи пӯшиши SiC маъруф аст, ба раванди молидани қабати карбиди кремний ба сатҳҳо тавассути усулҳо ба монанди ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ (CVD), ҷойгиркунии буғи физикӣ (PVD) ё пошидани гармӣ ишора мекунад. Ин пӯшиши керамикии карбиди кремний хосиятҳои рӯизаминии субстратҳои гуногунро тавассути додани муқовимати истисноии фарсудашавӣ, устувории гармӣ ва муҳофизат аз зангзанӣ беҳтар мекунад. SiC бо хосиятҳои барҷастаи физикӣ ва химиявии худ, аз ҷумла нуқтаи обшавии баланд (тақрибан 2700℃), сахтии шадид (миқёси Моҳс 9), муқовимати аълои зангзанӣ ва оксидшавӣ ва иҷрои истисноии аблятсия машҳур аст.
Бартариҳои асосии пӯшиши карбидии кремний дар истифодаҳои саноатӣ
Аз сабаби ин хусусиятҳо, пӯшиши карбиди кремний дар соҳаҳо ба монанди аэрокосмос, таҷҳизоти силоҳ ва коркарди нимноқилҳо васеъ истифода мешавад. Дар муҳитҳои шадид, махсусан дар диапазони 1800-2000℃, пӯшиши SiC устувории гармии назаррас ва муқовимати аблятивиро нишон медиҳад, ки онро барои барномаҳои ҳарорати баланд беҳтарин мегардонад. Аммо, танҳо карбиди кремний якпорчагии сохтории заруриро барои бисёр барномаҳо надорад, аз ин рӯ усулҳои пӯшиш барои истифодаи хосиятҳои беназири он бидуни коҳиш додани қуввати ҷузъҳо истифода мешаванд. Дар истеҳсоли нимноқилҳо, унсурҳои пӯшонидашудаи карбиди кремний дар дохили таҷҳизоте, ки дар равандҳои MOCVD истифода мешаванд, муҳофизати боэътимод ва устувории кориро таъмин мекунанд.
Усулҳои маъмулии тайёр кардани рӯйпӯши карбидии кремний
Ⅰ● Рӯйпӯши карбиди кремний бо буғҳои кимиёвӣ (CVD)
Дар ин усул, рӯйпӯшҳои SiC бо роҳи ҷойгир кардани субстратҳо дар камераи реаксия, ки дар он метилтрихлорсилан (MTS) ҳамчун пешгузашта амал мекунад, ташкил карда мешаванд. Дар шароити назоратшаванда - одатан 950-1300°C ва фишори манфӣ - MTS таҷзия мешавад ва карбиди кремний ба рӯи он гузошта мешавад. Ин раванди рӯйпӯшкунии CVD SiC рӯйпӯши зич ва якхеларо бо часпиши аъло таъмин мекунад, ки барои истифода дар бахшҳои нимноқилҳо ва аэрокосмос беҳтарин аст.
Ⅱ● Усули табдили прекурсор (Импрегнатсияи полимер ва пиролиз - PIP)
Як равиши дигари муассири рӯйпӯшкунии пошидани карбиди кремний усули табдили прекурсор мебошад, ки ғӯтонидани намунаи пешакӣ коркардшударо дар маҳлули прекурсори сафолӣ дар бар мегирад. Пас аз чангкашак кардани зарфи импрегнатсия ва фишор додани рӯйпӯш, намуна гарм карда мешавад, ки боиси пайдоиши рӯйпӯши карбиди кремний ҳангоми хунуккунӣ мегардад. Ин усул барои ҷузъҳое, ки ғафсии якхелаи рӯйпӯш ва муқовимати фарсудашавии беҳтарро талаб мекунанд, бартарӣ дорад.
Хусусиятҳои физикии рӯйпӯши карбидии кремний
Рӯйпӯшҳои карбидии силикон хосиятҳоеро нишон медиҳанд, ки онҳоро барои истифодаҳои саноатии серталаб беҳтарин мегардонанд. Ин хосиятҳо инҳоянд:
Гузаронидани гармӣ: 120-270 Вт/м·К
Коэффитсиенти васеъшавии гармӣ: 4.3 × 10^(-6)/K (дар 20~800℃)
Муқовимати барқӣ: 10^5– 10^6Ω·см
Сахтӣ: миқёси Моҳс 9
Истифодаи рӯйпӯши карбидии кремний
Дар истеҳсоли нимноқилҳо, пӯшиши карбидии силикон барои MOCVD ва дигар равандҳои ҳарорати баланд таҷҳизоти муҳимро, ба монанди реакторҳо ва суссепторҳоро, бо пешниҳоди муқовимат ва устувории ҳарорати баланд, муҳофизат мекунад. Дар соҳаи кайҳонӣ ва мудофиа, пӯшишҳои керамикии карбидии силикон ба ҷузъҳое истифода мешаванд, ки бояд ба таъсирҳои баландсуръат ва муҳитҳои зангзананда тоб оваранд. Ғайр аз ин, ранг ё пӯшишҳои карбидии силикон инчунин метавонанд дар дастгоҳҳои тиббӣ истифода шаванд, ки дар доираи расмиёти стерилизатсия устуворӣ талаб мекунанд.
Чаро рӯйпӯши карбидии силиконро интихоб кунед?
Бо сабти исботшуда дар дароз кардани мӯҳлати истифодаи қисмҳо, рӯйпӯшҳои карбидии силикон устувории беҳамто ва устувории ҳароратро таъмин мекунанд, ки онҳоро барои истифодаи дарозмуддат аз ҷиҳати хароҷот самаранок мегардонад. Бо интихоби сатҳи бо рӯйпӯши карбидии силикон, саноат аз коҳиши хароҷоти нигоҳдорӣ, баланд бардоштани эътимоднокии таҷҳизот ва беҳтар шудани самаранокии амалиётӣ баҳра мебарад.
Чаро VET ENERGY-ро интихоб кунед?
VET ENERGY як истеҳсолкунанда ва корхонаи касбии маҳсулоти рӯйпӯшкунии карбиди силикон дар Чин мебошад. Маҳсулоти асосии рӯйпӯшкунии SiC инҳоянд: гармкунаки рӯйпӯшкунии керамикӣ бо карбиди силикон,Қабати силиконии CVD, ки MOCVD Susceptor-ро пӯшонад, Интиқолдиҳандаи графити MOCVD бо пӯшиши CVD SiC, Интиқолдиҳандаҳои асосии графитии бо пӯшонидашудаи SiC, Субстрати графити бо пӯшонидашудаи карбиди кремний барои нимноқилҳо,Пӯшиши SiC/Субстрат/Табақаи графитӣ бо рӯйпӯш барои нимноқилҳо, Қолаби қаиқи CFC бо пӯшонидашудаи карбон-карбон аз CVD SiCШиркати VET ENERGY барои пешниҳоди технологияҳои пешрафта ва роҳҳои ҳалли маҳсулот барои саноати нимноқилҳо саъй мекунад. Мо самимона умедворем, ки шарики дарозмуддати шумо дар Чин бошем.
Вақти нашр: 02 сентябри соли 2023