Silikon karbid qoplamasi,SiC qoplamasi sifatida tanilgan bu qoplama kimyoviy bug'lanishni cho'ktirish (CVD), fizik bug'lanishni cho'ktirish (PVD) yoki termik purkash kabi usullar orqali sirtlarga kremniy karbid qatlamini qo'llash jarayonini anglatadi. Ushbu kremniy karbidli keramik qoplama turli substratlarning sirt xususiyatlarini ajoyib aşınma qarshiligi, termal barqarorlik va korroziyadan himoya qilish orqali yaxshilaydi. SiC yuqori erish nuqtasi (taxminan 2700℃), o'ta qattiqlik (Mohs shkalasi 9), ajoyib korroziya va oksidlanishga chidamliligi va ajoyib ablasyon ko'rsatkichlari kabi ajoyib fizik va kimyoviy xususiyatlari bilan mashhur.
Sanoat qo'llanmalarida kremniy karbid qoplamasining asosiy afzalliklari
Ushbu xususiyatlar tufayli kremniy karbid qoplamasi aerokosmik, qurol-yarog' uskunalari va yarimo'tkazgichlarni qayta ishlash kabi sohalarda keng qo'llaniladi. Ekstremal muhitlarda, ayniqsa 1800-2000℃ oralig'ida, SiC qoplamasi ajoyib issiqlik barqarorligi va ablativ qarshilikni namoyon etadi, bu esa uni yuqori haroratli dasturlar uchun ideal qiladi. Biroq, faqat kremniy karbidi ko'plab dasturlar uchun zarur bo'lgan strukturaviy yaxlitlikka ega emas, shuning uchun qoplama usullari komponentlar mustahkamligiga putur yetkazmasdan uning noyob xususiyatlaridan foydalanish uchun qo'llaniladi. Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda kremniy karbid bilan qoplangan elementlar MOCVD jarayonlarida ishlatiladigan uskunalarda ishonchli himoya va ishlash barqarorligini ta'minlaydi.
Silikon karbid qoplamasini tayyorlashning keng tarqalgan usullari
Ⅰ● Kimyoviy bug' cho'kmasi (CVD) kremniy karbid qoplamasi
Ushbu usulda SiC qoplamalari substratlarni reaksiya kamerasiga joylashtirish orqali hosil qilinadi, bu yerda metiltrixlorosilan (MTS) prekursor vazifasini bajaradi. Nazorat ostidagi sharoitlarda — odatda 950-1300°C va salbiy bosimda — MTS parchalanadi va kremniy karbidi sirtga cho'kadi. Ushbu CVD SiC qoplama jarayoni yarimo'tkazgichlar va aerokosmik sohalarda yuqori aniqlikdagi qo'llanmalar uchun ideal bo'lgan zich, bir xil qoplamani ta'minlaydi.
Ⅱ● Prekursorni konvertatsiya qilish usuli (Polimer singdirish va piroliz – PIP)
Yana bir samarali kremniy karbid purkagich qoplamasi usuli - bu oldindan ishlov berilgan namunani keramik prekursor eritmasiga botirishni o'z ichiga olgan prekursor konvertatsiya usuli. Empregnatsiya idishini changyutgich bilan tozalash va qoplamani bosim ostida ushlab turishdan so'ng, namuna isitiladi, bu esa sovutilganda kremniy karbid qoplamasining hosil bo'lishiga olib keladi. Bu usul bir xil qoplama qalinligi va aşınmaya bardoshliligini talab qiladigan komponentlar uchun afzalroqdir.
Silikon karbid qoplamasining fizik xususiyatlari
Silikon karbid qoplamalari ularni talabchan sanoat qo'llanmalari uchun ideal qiladigan xususiyatlarga ega. Bu xususiyatlarga quyidagilar kiradi:
Issiqlik o'tkazuvchanligi: 120-270 Vt/m·K
Issiqlik kengayish koeffitsienti: 4.3 × 10^(-6)/K (20 ~ 800℃ da)
Elektr qarshiligi: 10^5– 10^6Ω·sm
Qattiqligi: Mohs shkalasi 9
Silikon karbid qoplamasining qo'llanilishi
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda MOCVD va boshqa yuqori haroratli jarayonlar uchun kremniy karbid qoplamasi reaktorlar va susseptorlar kabi muhim uskunalarni yuqori haroratga chidamlilik va barqarorlikni ta'minlash orqali himoya qiladi. Aerokosmik va mudofaa sohasida kremniy karbidli keramik qoplamalar yuqori tezlikdagi zarbalarga va korroziy muhitlarga bardosh berishi kerak bo'lgan komponentlarga qo'llaniladi. Bundan tashqari, kremniy karbidli bo'yoq yoki qoplamalar sterilizatsiya protseduralari ostida chidamlilikni talab qiladigan tibbiy asboblarda ham qo'llanilishi mumkin.
Nima uchun silikon karbid qoplamasini tanlash kerak?
Komponentlarning ishlash muddatini uzaytirishda tasdiqlangan natijalarga ega bo'lgan kremniy karbid qoplamalari mislsiz chidamlilik va harorat barqarorligini ta'minlaydi, bu ularni uzoq muddatli foydalanish uchun tejamkor qiladi. Kremniy karbid bilan qoplangan sirtni tanlash orqali sanoat korxonalari texnik xizmat ko'rsatish xarajatlarining kamayishi, uskunalarning ishonchliligining oshishi va operatsion samaradorlikning yaxshilanishidan foyda ko'radilar.
Nima uchun VET ENERGY ni tanlash kerak?
VET ENERGY - Xitoyda kremniy karbid qoplama mahsulotlarini ishlab chiqaruvchi va ishlab chiqaruvchi professional zavod. Asosiy SiC qoplama mahsulotlari qatoriga kremniy karbidli keramik qoplama isitgichi kiradi.CVD kremniy karbid qoplamasi MOCVD Susceptor, CVD SiC qoplamali MOCVD grafit tashuvchisi, SiC bilan qoplangan grafit asosli tashuvchilarYarimo'tkazgichlar uchun kremniy karbid bilan qoplangan grafit substrati,Yarimo'tkazgichlar uchun SiC qoplamasi/qoplangan grafit substrati/laganda, CVD SiC bilan qoplangan uglerod-uglerod kompozit CFC qayiq qolipiVET ENERGY yarimo'tkazgichlar sanoati uchun ilg'or texnologiyalar va mahsulot yechimlarini taqdim etishga sodiqdir. Biz Xitoyda sizning uzoq muddatli hamkoringiz bo'lishga chin dildan umid qilamiz.
Joylashtirilgan vaqt: 2023-yil 2-sentabr